隨著科技的發(fā)展,透明導(dǎo)電材料在平板顯示、太陽能電池、氣體傳感器及防霧車窗的作用日益凸顯。目前應(yīng)用較為廣泛的是氧化銦錫（ITO）材料,但是銦資源稀缺,價格昂貴,因此開發(fā)具有導(dǎo)電、透光特性的“非銦”材料已成為研究的熱點之一。由于氧化鋅基透明導(dǎo)電材料,資源豐富、無毒對環(huán)境友好及在氫等離子體中穩(wěn)定性好,在發(fā)展上具有相當(dāng)?shù)膬?yōu)異性。因此對于以氧化鋅為母體的摻雜材料的綜合性能研究工作越發(fā)顯的重要。目前國內(nèi)外學(xué)者對氧化鋅基透明導(dǎo)電薄膜的研究具有濃厚的興趣,而對氧化鋅基陶瓷靶材的研究較少,高質(zhì)量的氧化鋅陶瓷靶材是制備高品質(zhì)薄膜的關(guān)鍵。本文以Nb₂O₅摻雜氧化鋅制備氧化鋅鈮（NZO）靶材,在此基礎(chǔ)上進一步摻雜氧化鋁,制備鈮鋁共摻雜氧化鋅（NAZO）靶材,分別研究了燒結(jié)溫度、摻雜量、燒結(jié)氣氛對氧化鋅靶材的影響,最后對NZO及NAZO薄膜進行初步研究,得到的結(jié)果如下:（1）Nb₂O₅對降低氧化鋅陶瓷靶材的燒結(jié)溫度,提高密度及電導(dǎo)率有較好的促進作用,在1200℃燒結(jié)時,未摻雜的ZnO靶材相對密度為94.88%,摻雜0.05 ... 

【文章來源】：深圳大學(xué)廣東省

【文章頁數(shù)】：84 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【圖文】：

氧化鋅的結(jié)構(gòu)

8圖 1.2 氧化鋅生坯脫膠過程示意圖[44](a) 初期階，(b) 中期階段，(c) 末期階段主要發(fā)生軟化、熔融、擴散、滲透和蒸發(fā)組元的熱分解溫度時，該組元發(fā)生熱分解產(chǎn)生的氣體會優(yōu)先擴散，這樣就在坯體(c)

Nb 摻雜及 Nb-Al 共摻雜氧化鋅靶材的制備與性能研究(3) 末期在燒結(jié)末期，當(dāng)晶界的擴散速率快于氣孔的排出速率時，氣孔被包裹在材料內(nèi)溫度，內(nèi)部氣孔也很難排出，這一階段主要發(fā)生晶粒的長大，及晶界數(shù)量的減密度有微略的提高，繼續(xù)升高溫度，會導(dǎo)致孔洞的粗化及密度的下降。 氧化鋅薄膜制備方法本實驗采用脈沖激光沉積技術(shù)(PLD)制備摻雜氧化鋅薄膜。PLD 是近年來發(fā)展空薄膜沉積技術(shù)，其原理[47-48]就是高功率脈沖激光束照射在氧化鋅靶材上，被料表面快速熔化，氣化成等離子體，等離子體再傳輸?shù)揭r底上，經(jīng)過凝聚，成最終形成薄膜。圖 1.3 為 PLD 工作示意圖，采用 PLD 方式制備薄膜可分為三(1) 第一部分激光作用于靶材

【參考文獻】：
期刊論文
[1]我國電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究[J]. 張鎮(zhèn),宋濤,王本力.  新材料產(chǎn)業(yè). 2016(05)
[2]W-Ti共摻雜ZnO靶材的燒結(jié)及其特性[J]. 喬薇,陳新亮,張存善,張德坤,魏長春,張曉丹,趙穎.  材料科學(xué)與工程學(xué)報. 2012(04)
[3]高純致密氧化鎢陶瓷靶材的氧氣氣氛燒結(jié)研究[J]. 尚福亮,張忠健,楊海濤.  中國陶瓷. 2012(01)
[4]國內(nèi)外磁控濺射靶材的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢[J]. 儲志強.  金屬材料與冶金工程. 2011(04)
[5]粉末冶金靶材的制備與應(yīng)用[J]. 羅俊鋒.  中國金屬通報. 2011(31)
[6]薄膜厚度對Mn-W共摻雜ZnO透明導(dǎo)電薄膜性能的影響[J]. 張化福,劉瑞金,劉漢法.  人工晶體學(xué)報. 2011(01)
[7]襯底溫度對磁控濺射法制備的ZnO∶In薄膜光電性能的影響[J]. 楊小飛,方亮,彭麗萍,黃秋柳,周科,孔春陽.  半導(dǎo)體光電. 2009(05)
[8]聚乙二醇表面改性SiC粉體的物性表征[J]. 郭興忠,楊輝,王建武,曹明.  材料工程. 2004(03)
[9]脈沖激光氣相沉積技術(shù)現(xiàn)狀與進展[J]. 張超,吳衛(wèi)東,陳正豪,周岳亮,孫衛(wèi)國,唐永建,程新路.  材料導(dǎo)報. 2003(12)
[10]脈沖激光沉積薄膜技術(shù)研究新進展[J]. 敖育紅,胡少六,龍華,徐業(yè)斌,王又青.  激光技術(shù). 2003(05)

博士論文
[1]CuO-ZnO異質(zhì)結(jié)構(gòu)納米材料的制備與氣體傳感特性研究[D]. 劉瀟.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2017

碩士論文
[1]Nb2O5摻雜TiO2靶材的制備及性能的研究[D]. 凌奇.深圳大學(xué) 2017
[2]MgZnO靶材的制備與性能研究[D]. 高慶慶.深圳大學(xué) 2015
[3]Al摻雜ZnO透明導(dǎo)電紅外反射薄膜的制備與性能研究[D]. 葉靜.浙江大學(xué) 2015
[4]V、Nb摻雜ZnO物性的理論研究[D]. 郭俊甫.天津大學(xué) 2013
[5]氧化鋅鋁（AZO）粉體與陶瓷靶材的制備[D]. 王志勇.中南大學(xué) 2013



本文編號：3334530