紫外照明系統(tǒng)是光刻系統(tǒng)或固化系統(tǒng)的重要組成部分之一。紫外照明系統(tǒng)的目的是為光刻系統(tǒng)或固化系統(tǒng)提供照明,為整個系統(tǒng)提供光源。目前,紫外LED照明系統(tǒng)因為經(jīng)濟(jì)環(huán)保的特性,逐漸成為光刻系統(tǒng)或固化系統(tǒng)中的主流照明方式。紫外LED照明系統(tǒng)的均勻性,直接影響了光刻以及固化的優(yōu)劣。本論文對紫外LED照明系統(tǒng)均勻性檢測技術(shù)進(jìn)行了研究,開發(fā)出一套實時檢測的檢測系統(tǒng)。本文首先介紹了課題研究的目的和意義,闡述了紫外照明系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域以及LED紫外照明系統(tǒng)的優(yōu)點以及發(fā)展的趨勢,介紹了照明系統(tǒng)均勻性檢測研究現(xiàn)狀。結(jié)合提出的多點實時檢測技術(shù),結(jié)合修正算法,設(shè)計了紫外LED照明系統(tǒng)均勻性實時檢測系統(tǒng)。系統(tǒng)由探測器單元,數(shù)據(jù)處理單元和人機(jī)交互及顯示單元。探測器單元選擇了紫外增強(qiáng)型PIN光電二極管,并設(shè)計了復(fù)合電流—電壓放大電路完成對紫外增強(qiáng)型PIN光電二極管輸出信號的轉(zhuǎn)換與放大。選用高速低功耗MSP430單片機(jī)作為數(shù)據(jù)處理單元核心處理部件,實現(xiàn)數(shù)據(jù)處理功能。并設(shè)計了人機(jī)交互與顯示界面,實現(xiàn)了系統(tǒng)的校準(zhǔn)功能和檢測結(jié)果顯示功能。實驗結(jié)果表明針對提出的多點實時檢測技術(shù)設(shè)計的LED紫外照明系統(tǒng)均勻性實時檢測系統(tǒng)符合實際預(yù)期。 

【文章來源】：長春理工大學(xué)吉林省

【文章頁數(shù)】：64 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

光刻機(jī)

圖 1.2 紫外固化設(shè)備圖 1.3 紫外固化過程料的應(yīng)用領(lǐng)域非常寬。在木器制品的應(yīng)用中，紫外固常見的木制板材，家具等，都是紫外固化涂料的重要光纖涂料也是非常重要的應(yīng)用，同時其也已成為整個用之一。該應(yīng)用是在光纖拉直成型后利用紫外固化技證光纖工作的穩(wěn)定性和高性能。紫外固化涂料是光纖造的重要構(gòu)成。除了光纖通信以外，紫外固化涂料也

5圖 1.3 紫外固化過程固化中涂料的應(yīng)用領(lǐng)域非常寬。在木器制品的應(yīng)用中，紫外固化涂料廣的，比如常見的木制板材，家具等，都是紫外固化涂料的重要應(yīng)用場景。中，固化光纖涂料也是非常重要的應(yīng)用，同時其也已成為整個涂料固化表性的應(yīng)用之一。該應(yīng)用是在光纖拉直成型后利用紫外固化技術(shù)將涂料面，以保證光纖工作的穩(wěn)定性和高性能。紫外固化涂料是光纖制作中不，是光纖制造的重要構(gòu)成。除了光纖通信以外，紫外固化涂料也因為涂層的優(yōu)勢，在塑料制品，金屬材料物品中也常有應(yīng)用。除此之外，涂料的應(yīng)光盤、石材、皮革等[26; 27]。

【參考文獻(xiàn)】：
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博士論文
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本文編號：3123916