紫外照明系統(tǒng)是光刻系統(tǒng)或固化系統(tǒng)的重要組成部分之一。紫外照明系統(tǒng)的目的是為光刻系統(tǒng)或固化系統(tǒng)提供照明,為整個(gè)系統(tǒng)提供光源。目前,紫外LED照明系統(tǒng)因?yàn)榻?jīng)濟(jì)環(huán)保的特性,逐漸成為光刻系統(tǒng)或固化系統(tǒng)中的主流照明方式。紫外LED照明系統(tǒng)的均勻性,直接影響了光刻以及固化的優(yōu)劣。本論文對(duì)紫外LED照明系統(tǒng)均勻性檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行了研究,開發(fā)出一套實(shí)時(shí)檢測(cè)的檢測(cè)系統(tǒng)。本文首先介紹了課題研究的目的和意義,闡述了紫外照明系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域以及LED紫外照明系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)以及發(fā)展的趨勢(shì),介紹了照明系統(tǒng)均勻性檢測(cè)研究現(xiàn)狀。結(jié)合提出的多點(diǎn)實(shí)時(shí)檢測(cè)技術(shù),結(jié)合修正算法,設(shè)計(jì)了紫外LED照明系統(tǒng)均勻性實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)。系統(tǒng)由探測(cè)器單元,數(shù)據(jù)處理單元和人機(jī)交互及顯示單元。探測(cè)器單元選擇了紫外增強(qiáng)型PIN光電二極管,并設(shè)計(jì)了復(fù)合電流—電壓放大電路完成對(duì)紫外增強(qiáng)型PIN光電二極管輸出信號(hào)的轉(zhuǎn)換與放大。選用高速低功耗MSP430單片機(jī)作為數(shù)據(jù)處理單元核心處理部件,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)處理功能。并設(shè)計(jì)了人機(jī)交互與顯示界面,實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的校準(zhǔn)功能和檢測(cè)結(jié)果顯示功能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明針對(duì)提出的多點(diǎn)實(shí)時(shí)檢測(cè)技術(shù)設(shè)計(jì)的LED紫外照明系統(tǒng)均勻性實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)符合實(shí)際預(yù)期。 

【文章來(lái)源】：長(zhǎng)春理工大學(xué)吉林省

【文章頁(yè)數(shù)】：64 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

光刻機(jī)

圖 1.2 紫外固化設(shè)備圖 1.3 紫外固化過(guò)程料的應(yīng)用領(lǐng)域非常寬。在木器制品的應(yīng)用中，紫外固常見的木制板材，家具等，都是紫外固化涂料的重要光纖涂料也是非常重要的應(yīng)用，同時(shí)其也已成為整個(gè)用之一。該應(yīng)用是在光纖拉直成型后利用紫外固化技證光纖工作的穩(wěn)定性和高性能。紫外固化涂料是光纖造的重要構(gòu)成。除了光纖通信以外，紫外固化涂料也

5圖 1.3 紫外固化過(guò)程固化中涂料的應(yīng)用領(lǐng)域非常寬。在木器制品的應(yīng)用中，紫外固化涂料廣的，比如常見的木制板材，家具等，都是紫外固化涂料的重要應(yīng)用場(chǎng)景。中，固化光纖涂料也是非常重要的應(yīng)用，同時(shí)其也已成為整個(gè)涂料固化表性的應(yīng)用之一。該應(yīng)用是在光纖拉直成型后利用紫外固化技術(shù)將涂料面，以保證光纖工作的穩(wěn)定性和高性能。紫外固化涂料是光纖制作中不，是光纖制造的重要構(gòu)成。除了光纖通信以外，紫外固化涂料也因?yàn)橥繉拥膬?yōu)勢(shì)，在塑料制品，金屬材料物品中也常有應(yīng)用。除此之外，涂料的應(yīng)光盤、石材、皮革等[26; 27]。

【參考文獻(xiàn)】：
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博士論文
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本文編號(hào)：3123916