本文選題：聲學(xué) + 梳譜信號�。� 參考：《壓電與聲光》2015年06期

【摘要】：介紹了工作頻率在約為10GHz的UHF頻段,可產(chǎn)生梳譜信號的高次諧波聲體波諧振器(HBAR)的原理、設(shè)計(jì)和制作工藝方法。設(shè)計(jì)了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au雙端結(jié)構(gòu)的諧振器,試驗(yàn)樣品在諧振頻率2.240 137GHz的品質(zhì)因數(shù)(Q)值達(dá)到23 000。進(jìn)一步開展氧化鋅成膜工藝技術(shù)的研究,實(shí)現(xiàn)對HBAR設(shè)計(jì)修正,提升器件的Q值。
[Abstract]:This paper introduces the principle, design and fabrication method of the high order harmonic bulk acoustic wave resonator which can generate comb spectrum signal in the UHF frequency band of about 10GHz. The resonator with Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au dual-terminal structure is designed. The quality factor of the sample at the resonant frequency of 2.240 137GHz is up to 23000. Further research on zinc oxide film forming technology is carried out to realize the modification of HBAR design and raise the Q value of the device.
【作者單位】： 中國電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所;
【分類號】：TM935

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 林仲茂,房福全,蘇敦珍;大功率工作狀態(tài)下壓電換能器效率的實(shí)驗(yàn)研究[J];應(yīng)用聲學(xué);1985年04期

2 林仲茂,李萌;高振幅夾心式壓電換能器[J];聲學(xué)學(xué)報(bào);1988年04期

3 劉獻(xiàn)鐸;向空氣中輻射超聲波的環(huán)形壓電換能器[J];應(yīng)用聲學(xué);1990年04期

4 李全祿;;壓電換能器材料的研制及使用[J];陜西師大學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1992年02期

5 倪以發(fā),吳文虬,章德;壓電換能器的聲非線性[J];聲學(xué)技術(shù);1997年03期

6 鮑善惠;壓電換能器與匹配電感的耦合振蕩[J];陜西師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1998年03期

7 鮑善惠;壓電換能器的動態(tài)匹配[J];應(yīng)用聲學(xué);1998年02期

8 朱武,張佳民,金長善,蔡鶴皋;基于數(shù)字電感的壓電換能器動態(tài)匹配的研究[J];應(yīng)用聲學(xué);2000年02期

9 法林,Jens　M.Hovem,董大群,陳文輝;薄球殼壓電換能器機(jī)電特性的數(shù)值模擬[J];石油儀器;2000年04期

10 彭太江,常穎,楊志剛,吳博達(dá);超聲減摩用壓電換能器阻抗匹配的試驗(yàn)研究[J];壓電與聲光;2004年01期

相關(guān)會議論文 前10條

1 林廣義;汪煒;董歧;劉正塤;;液體壓力激波壓電換能器的諧振特性研究[A];第十屆全國特種加工學(xué)術(shù)會議論文集[C];2003年

2 鮑善惠;王艷東;;壓電換能器在并聯(lián)諧振頻率附近特性的研究[A];中國聲學(xué)學(xué)會功率超聲分會2005年學(xué)術(shù)會議論文集[C];2005年

3 陳濤;王曉_g;章德;高懷;;壓電換能式超聲波霧化噴嘴的研究進(jìn)展[A];2010’中國西部聲學(xué)學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2010年

4 咸壽榮;楊書玲;;超聲霧化壓電換能器生產(chǎn)工藝及其電極制作的新技術(shù)[A];94'全國結(jié)構(gòu)陶瓷、功能陶瓷、金屬/陶瓷封接學(xué)術(shù)會議論文集[C];1994年

5 張?jiān)齐?余芳;;壓電換能器和超聲聚能器諧振頻率數(shù)控修正方法[A];第九屆全國振動理論及應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2007年

6 張?jiān)齐?余芳;;壓電換能器和超聲聚能器諧振頻率數(shù)控修正方法[A];第九屆全國振動理論及應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集[C];2007年

7 李建;韓慶邦;朱昌平;;壓電換能器的電阻抗匹配實(shí)驗(yàn)研究[A];中國聲學(xué)學(xué)會2007年青年學(xué)術(shù)會議論文集（下）[C];2007年

8 張德俊;程建政;魏志剛;;單晶壓電換能器與純凈波技術(shù)[A];2005年全國超聲醫(yī)學(xué)工程學(xué)術(shù)會議論文集[C];2005年

9 張智;呂偉國;崔志文;儲昭坦;;一種壓電換能器的共振特性研究[A];融合與創(chuàng)新：新世紀(jì)物理聲學(xué)的發(fā)展——二零一二年度全國物理聲學(xué)會議論文集[C];2012年

10 楊康;陳超;;超聲波/聲波鉆探器的動力學(xué)分析與設(shè)計(jì)[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前3條

1 田豐君;基于夾心式壓電換能器的超聲波近場聲懸浮支撐技術(shù)研究[D];吉林大學(xué);2010年

2 劉家郡;超聲懸浮/氣浮的混合懸浮及其行波驅(qū)動機(jī)理及實(shí)驗(yàn)研究[D];吉林大學(xué);2013年

3 張宏杰;熱超聲鍵合高頻換能系統(tǒng)設(shè)計(jì)與控制[D];天津大學(xué);2012年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 孔權(quán);壓電換能器自動阻抗匹配系統(tǒng)的設(shè)計(jì)[D];重慶醫(yī)科大學(xué);2009年

2 張利燕;基于光學(xué)應(yīng)用的壓電換能器的研究[D];電子科技大學(xué);2011年

3 符家和;兩端輻射雙頻壓電換能器的設(shè)計(jì)與研究[D];廣西大學(xué);2013年

4 李萬崇;基于傳輸線理論的壓電換能器電阻抗匹配研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

5 徐夢華;梁式壓電換能器的力電耦合分析[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

6 鐘勇;用于路面機(jī)械能量回收的壓電換能器研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

7 張強(qiáng);夾心式彎振壓電換能器有效機(jī)電耦合系數(shù)的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

8 崔爽;超聲波軸承用壓電換能器技術(shù)研究[D];大連交通大學(xué);2014年

9 孫磊;匹配層壓電換能器的制作及其機(jī)電性能研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

10 張智;基于有限元法的壓電換能器的仿真與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[D];吉林大學(xué);2012年

，

本文編號：1941686