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壓電式雙驅(qū)微進給系統(tǒng)設(shè)計及定位精度研究

發(fā)布時間:2018-05-09 07:37

  本文選題:雙驅(qū)控制 + Preisach模型; 參考:《機械設(shè)計與制造》2015年12期


【摘要】:針對壓電陶瓷存在的遲滯特性,為提高微動臺定位精度,提出一種基于雙驅(qū)控制技術(shù)的雙壓電驅(qū)動的微進給系統(tǒng)。系統(tǒng)采用運動控制器作為控制部分,雙壓電陶瓷以推拉形式同時驅(qū)動微動臺,配置多個位移傳感器構(gòu)成閉環(huán)控制系統(tǒng)。為驗證系統(tǒng)定位精度,針對壓電陶瓷的遲滯特性,采用Preisach-Mayergoyz模型分別進行系統(tǒng)開/閉環(huán)控制定位誤差對比實驗。實驗結(jié)果表明,相比于單個壓電陶瓷驅(qū)動,雙壓電陶瓷同時驅(qū)動的情況下系統(tǒng)最大定位誤差更小,閉環(huán)狀態(tài)下雙壓電驅(qū)動微動臺系統(tǒng)定位精度更高,最大定位誤差明顯減小,系統(tǒng)穩(wěn)定性更高。
[Abstract]:Aiming at the hysteresis characteristics of piezoelectric ceramics, in order to improve the positioning accuracy of the micro-moving platform, a kind of micro-feed system based on double-drive control technology is proposed. The motion controller is used as the control part, and the piezoelectric ceramic actuates the fretting platform simultaneously in the form of push and pull, and several displacement sensors are arranged to form the closed loop control system. In order to verify the positioning accuracy of the system, the Preisach-Mayergoyz model was used to compare the positioning errors of the open and closed loop control system in view of the hysteresis characteristics of piezoelectric ceramics. The experimental results show that the maximum positioning error of the system is smaller than that of the single piezoelectric ceramic drive system, and the positioning accuracy is higher and the maximum positioning error is obviously reduced under the closed loop condition. The system is more stable.
【作者單位】: 武漢理工大學機電工程學院;
【基金】:湖北省自然科學基金(2014CFB184)
【分類號】:TM282

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