本文選題：VHF-PECVD + 晶化率�。� 參考：《遼寧大學(xué)》2014年碩士論文

【摘要】：隨著人類社會的高速發(fā)展，對能源的需求也日益劇增�，F(xiàn)代社會使用的常規(guī)能源如煤、石油和天然氣等，存在著儲量有限，不可再生，產(chǎn)生環(huán)境污染等問題。鑒于此，開發(fā)太陽能，風(fēng)能，氫能，潮汐能等新能源迫在眉睫。在諸多非石化能源中，太陽能是資源極其廣博的能源，而太陽能電池因?yàn)槟軌蛑苯影烟柟廪D(zhuǎn)變成電能、不受地域限制，并能兼容目前使用的電力設(shè)備，所以受到了各國科研人員的廣泛關(guān)注。而薄膜太陽電池的研究已經(jīng)成為下一代光伏研究的關(guān)鍵,國內(nèi)在這方面的研究也逐步深人。太陽能電池的研究按晶化率可分為單晶太陽能電池、多晶太陽能電池和微晶太陽能電池。其中微晶硅薄膜電池的沉積溫度不高，大約在200℃左右,采用在玻璃表面沉積微晶硅的方法，成本低廉，且不會產(chǎn)生溫室效應(yīng)，不會對環(huán)境造成污染,特別是氫化微晶硅太陽能電池具有良好的電學(xué)特性，克服了非晶硅S—W效應(yīng)，被公認(rèn)為是下一代清潔能源技術(shù)。目前在微晶硅薄膜太陽能電池制備過程中，在P/I界面會產(chǎn)生致密的非晶孵化層，該孵化層將嚴(yán)重影響整個(gè)電池的性能，鑒于此，我們對此問題展開研究。本文主要從組成微晶硅太陽能電池的P、I、N三層薄膜的特性和減小孵化層的影響提高光電轉(zhuǎn)換效率兩方面進(jìn)行研究。在P、I、N三層薄膜的特性研究方面，本文分別針對P、I、N三層薄膜成膜過程中硅烷濃度、輝光功率以及沉底溫度對P、I、N三層薄膜的沉積速率、結(jié)構(gòu)特性以及電學(xué)特性的影響進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究，，研究發(fā)現(xiàn)材料的沉積速率隨著硅烷濃度和輝光功率的增加而增加。材料的暗電導(dǎo)隨著硅烷濃度的減小和輝光功率的增加而增加。材料的光敏性隨著硅烷濃度增加和輝光功率的降低而增加。材料的晶化率隨著硅烷濃度的減小而增加，基于上述研究，并根據(jù)微晶硅太陽能電池對材料特性的要求，最終確定了制備微晶硅太陽能電池各層的硅烷濃度，以及最佳輝光功率和沉底溫度。在提高光電轉(zhuǎn)換效率研究方面，本文對目前廣泛采用的在P/I層之間沉積籽晶層來消除非晶孵化層的的影響的方法進(jìn)行研究，確定了籽晶層的最佳硅烷蒸鍍濃度。并提出了在籽晶層和I層之間沉積一層緩沖層來進(jìn)一步提高微晶硅太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率的方法，經(jīng)過測試表明，具有緩沖層的微晶硅太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率有了較大的提高。
[Abstract]:With the rapid development of human society, the demand for energy is increasing rapidly. The conventional energy sources used in modern society, such as coal, oil and natural gas, have some problems, such as limited reserves, non-renewable, environmental pollution and so on. In view of this, the development of solar, wind, hydrogen, tidal energy and other new energy imminent. Of the many non-fossil energy sources, solar energy is an extremely rich source of energy, and solar cells can convert sunlight directly into electricity, are not subject to geographical restrictions, and are compatible with the power equipment currently in use. So the researchers from all over the world pay close attention to it. The research of thin film solar cells has become the key of the next generation photovoltaic research. The research of solar cells can be divided into single crystal solar cells, polycrystalline solar cells and microcrystalline solar cells according to the crystallization rate. The deposition temperature of microcrystalline silicon thin film battery is not high, about 200 鈩

本文編號：1827860