本文選題：激光加工 + 電化學(xué)加工��； 參考：《應(yīng)用激光》2015年06期

【摘要】：針對(duì)多晶硅太陽(yáng)能電池表面反射率高的問(wèn)題,提出了激光電化學(xué)復(fù)合絨面制備方法,采用倍頻YAG激光結(jié)合NaOH溶液,在多晶硅表面進(jìn)行織構(gòu)化處理,獲得分布均勻的光陷阱結(jié)構(gòu)。通過(guò)掃描電鏡、超景深三維顯微鏡和分光光度計(jì)分析了織構(gòu)化后多晶硅片的表面形貌和反射率。結(jié)果表明,激光電化學(xué)復(fù)合絨面處理后的多晶硅表面對(duì)波長(zhǎng)400~760nm可見(jiàn)光的反射率整體降低至10%以下。試驗(yàn)證實(shí)了多晶硅表面激光電化學(xué)復(fù)合絨面的可行性和有效性,為多晶硅的減反射絨面處理提供了一種新的技術(shù)途徑。
[Abstract]:Aiming at the problem of high surface reflectivity of polycrystalline silicon solar cells, a laser electrochemical composite flannel preparation method was proposed. The polysilicon surface was textured by frequency-doubled YAG laser combined with NaOH solution, and a well-distributed optical trap structure was obtained. The surface morphology and reflectivity of textured polysilicon wafer were analyzed by scanning electron microscope, hyperfield three-dimensional microscope and spectrophotometer. The results show that the reflectivity of the polysilicon surface treated by laser electrochemical composite suede to the visible light of wavelength 400~760nm is reduced to less than 10%. The feasibility and effectiveness of the laser electrochemical composite flannel surface on polycrystalline silicon surface is confirmed, which provides a new technical approach for the antireflective flannel surface treatment of polycrystalline silicon.
【作者單位】： 南通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)青年基金資助項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào):51205212) 江蘇省自然科學(xué)青年基金資助項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào):BK2012233) 2014年度江蘇省青藍(lán)工程資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TM914.41

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