本文關(guān)鍵詞：微型電磁繼電器的仿真與加工工藝研究　出處：《電子器件》2014年06期 　論文類(lèi)型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 電磁繼電器 電磁驅(qū)動(dòng) UV-LIGA 電鍍

【摘要】：設(shè)計(jì)了一種新型的MEMS微型繼電器,該繼電器采用電磁驅(qū)動(dòng)方式,繼電器大小約為1.2 mm×1 mm×1 mm,驅(qū)動(dòng)力大、體積小、便于集成。用ANSYS和MATLAB仿真分析各參數(shù)對(duì)微繼電器性能的影響,對(duì)其進(jìn)行優(yōu)化分析和理論驗(yàn)證。該微型繼電器能產(chǎn)生最大60 m N左右的驅(qū)動(dòng)力,實(shí)現(xiàn)30μm的驅(qū)動(dòng)行程,滿(mǎn)足性能要求。運(yùn)用UV-LIGA技術(shù),完成工藝的流程設(shè)計(jì)。通過(guò)反復(fù)實(shí)驗(yàn),提出了增強(qiáng)金屬與基底的粘附性的有效方法。
[Abstract]:A new type of MEMS miniature relay is designed. The relay adopts electromagnetic driving mode. The size of the relay is about 1.2 mm 脳 1 mm 脳 1 mm, the driving force is large and the volume is small. ANSYS and MATLAB are used to simulate and analyze the effect of each parameter on the performance of microrelay. Optimization analysis and theoretical verification are carried out. The micro relay can produce a driving force of about 60 mn, achieve a drive stroke of 30 渭 m, and meet the performance requirements. UV-LIGA technology is used. Through repeated experiments, an effective method to enhance the adhesion between metal and substrate is proposed.
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61401405,51475438) 山西省基礎(chǔ)研究項(xiàng)目(2014011021-4) 新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃資助項(xiàng)目(130951862)
【分類(lèi)號(hào)】：TM58
【正文快照】： 繼電器作為一種重要的機(jī)電元件廣泛地應(yīng)用于各種通信、航空航天和工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)中[1]。傳統(tǒng)繼電器體積大、響應(yīng)速度慢等缺點(diǎn),已經(jīng)不再能夠滿(mǎn)足我們的需要。相比于傳統(tǒng)機(jī)械繼電器,微型繼電器具有體積小、響應(yīng)快、插入損耗低、功耗低等優(yōu)點(diǎn)[2]。微電子機(jī)械系統(tǒng)MEMS(Micro-Ele

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前3條

1 胡志軍;陳迪;黃闖;陳翔;朱軍;劉景全;;一種新型的電熱驅(qū)動(dòng)MEMS微繼電器的研制[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2009年12期

2 劉亮;趙小林;戴旭涵;魯李樂(lè);丁桂甫;;一種新型MEMS電磁繼電器的研究[J];電子器件;2008年05期

3 魯李樂(lè);趙小林;戴旭涵;劉亮;丁桂甫;;MEMS微電磁驅(qū)動(dòng)器的分段磁路模型及實(shí)驗(yàn)研究[J];電子器件;2008年05期

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前5條

1 龍亮;鐘少龍;徐靜;吳亞明;;微型光纖磁傳感器的設(shè)計(jì)與制作[J];光學(xué)精密工程;2013年09期

2 楊潞霞;毛靜;王春水;張斌珍;王萬(wàn)軍;;主光軸平行于基底的微透鏡陣列設(shè)計(jì)與制作[J];光電子.激光;2014年05期

3 南雪莉;張斌珍;張少華;韓帥;毛靜;;基于UV-LIGA工藝的酸性電鑄銅溶液最優(yōu)化配比[J];科學(xué)技術(shù)與工程;2014年29期

4 趙安;種銀保;;基于MEMS的微泵研究現(xiàn)狀與進(jìn)展[J];醫(yī)療衛(wèi)生裝備;2010年02期

5 成杰;李寒松;朱荻;;基于超聲輔助的UV-LIGA光柵制備技術(shù)研究[J];機(jī)械制造與自動(dòng)化;2014年02期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前5條

1 陳禎;同平面軸等直徑鉤桿空間螺旋線(xiàn)齒輪設(shè)計(jì)理論研究[D];華南理工大學(xué);2013年

2 何恩義;空間曲線(xiàn)嚙合輪精密傳動(dòng)技術(shù)的研究[D];華南理工大學(xué);2013年

3 江春冬;基于有限元方法的電磁結(jié)構(gòu)拓?fù)鋬?yōu)化[D];河北工業(yè)大學(xué);2012年

4 孫鳳鳴;基于MEMS的陣列式掃描探針顯微鏡測(cè)頭理論與技術(shù)研究[D];天津大學(xué);2013年

5 謝睿;精細(xì)結(jié)構(gòu)PZT陶瓷陣列的新型凝膠注模成型研究[D];中南大學(xué);2014年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前5條

1 趙姍姍;超聲處理對(duì)SU-8膠與金屬基底粘附性的影響[D];大連理工大學(xué);2013年

2 馬日紅;基于SU-8紫外光刻工藝的直流微電鑄技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

3 徐新瑞;電磁驅(qū)動(dòng)微流體芯片閥門(mén)設(shè)計(jì)[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

4 杜裕杰;新型電化學(xué)三維微納米結(jié)構(gòu)加工研究[D];南昌航空大學(xué);2013年

5 單云沖;THz光柵結(jié)構(gòu)UV-LIGA光刻工藝研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2014年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前9條

1 張永華,丁桂甫,蔡炳初,蔣振新;發(fā)展中的RF MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)[J];微納電子技術(shù);2003年05期

2 楊昊宇;趙小林;戴旭涵;邵國(guó)成;丁桂甫;;平面線(xiàn)圈型MEMS微電磁驅(qū)動(dòng)器的理論分析與實(shí)驗(yàn)研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2006年05期

3 黃繼偉;王志功;;熱驅(qū)動(dòng)式RF MEMS開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì)(英文)[J];Journal of Southeast University(English Edition);2007年04期

4 褚金奎;郝秀春;王立鼎;;電熱驅(qū)動(dòng)鎳微夾鉗的設(shè)計(jì)及制作[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2007年05期

5 黃正;;國(guó)外MEMS繼電器的發(fā)展[J];中國(guó)電子科學(xué)研究院學(xué)報(bào);2008年05期

6 章彬,黃慶安;無(wú)線(xiàn)通信領(lǐng)域MEMS器件的研究進(jìn)展[J];微電子學(xué);2001年03期

7 南敬昌;劉元安;黎淑蘭;;RF MEMS器件驅(qū)動(dòng)機(jī)制理論與分析[J];微電子學(xué);2006年04期

8 姜政,丁桂甫,張永華,倪志萍,毛海平,王志明;疊層光刻膠犧牲層工藝研究[J];微細(xì)加工技術(shù);2005年03期

9 孫馳,余仲興,周邦娜,陳世t/;銅氨水系中一價(jià)銅氨絡(luò)離子的氧化[J];中國(guó)有色金屬學(xué)報(bào);1999年04期

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 高鴻斌;;電磁繼電器的故障檢查與處理[J];科技經(jīng)濟(jì)市場(chǎng);2007年10期

2 董繼文;任萬(wàn)濱;;安裝方式對(duì)航天用電磁繼電器振動(dòng)特性的影響[J];機(jī)電元件;2009年01期

3 孫光耀;張國(guó)峰;余舜;;電磁繼電器工藝及常見(jiàn)問(wèn)題分析[J];家電科技;2012年08期

4 黃姣英;胡振益;高成;武榮榮;;軍用電磁繼電器失效分析研究[J];現(xiàn)代電子技術(shù);2013年10期

5 陳德桂,李二平;電磁繼電器動(dòng)態(tài)特性的數(shù)值分析[J];低壓電器;1986年05期

6 劉石如;一種測(cè)試電磁繼電器壽命的新方法[J];機(jī)電元件;1992年03期

7 鄭天丕;電磁繼電器會(huì)消失嗎?[J];機(jī)電元件;1996年Z1期

8 錢(qián)忠平;小型電磁繼電器動(dòng)態(tài)特性測(cè)試系統(tǒng)[J];繼電器;1999年05期

9 BILL TRAVIS;;固態(tài)繼電器與電磁繼電器試比高低[J];電子設(shè)計(jì)技術(shù);1999年02期

10 劉輝;;電磁繼電器[J];新課程學(xué)習(xí)(基礎(chǔ)教育);2009年05期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 楊劍;;電磁繼電器常用清洗方法[A];中國(guó)電子學(xué)會(huì)第十五屆電子元件學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2008年

2 李浩群;李德勝;劉本東;尚德廣;;微電磁繼電器銜鐵結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和分析[A];第十二屆全國(guó)非線(xiàn)性振動(dòng)暨第九屆全國(guó)非線(xiàn)性動(dòng)力學(xué)和運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2009年

3 梁慧敏;張玉成;翟國(guó)富;王立忠;羅福彪;崔黎;;小微型電磁繼電器靜態(tài)吸反力特性測(cè)試裝置[A];中國(guó)電子學(xué)會(huì)第十三屆電子元件學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2004年

4 梁飛;;電磁繼電器電磁干擾的負(fù)載特性[A];第十五屆全國(guó)電磁兼容學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

5 周學(xué);翟國(guó)富;李岐新;;恒定干擾磁場(chǎng)對(duì)電磁繼電器靜態(tài)特性影響的研究[A];中國(guó)電子學(xué)會(huì)第十四屆電子元件學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2006年

6 翟國(guó)富;陳英華;任萬(wàn)濱;崔黎;;軍用密封電磁繼電器整機(jī)振動(dòng)特性仿真分析[A];中國(guó)電子學(xué)會(huì)第十四屆電子元件學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2006年

7 黃勉;;密封電磁繼電器“七專(zhuān)”技術(shù)條件探討[A];中國(guó)電子學(xué)會(huì)可靠性分會(huì)第十三屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文選[C];2006年

8 焦玉斌;鄧向輝;;振動(dòng)環(huán)境對(duì)電磁繼電器特性參數(shù)影響的試驗(yàn)研究[A];創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)，，加快戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展——吉林省第七屆科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集（上）[C];2012年

9 姚普糧;勞永浩;;電磁繼電器自適應(yīng)通斷控制裝置的設(shè)計(jì)[A];中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)中南六�。▍^(qū)）2010年第28屆年會(huì)·論文集[C];2010年

10 龔晶;黃朝暉;何敏;;電磁繼電器磁路閉合的快速檢測(cè)[A];2008中國(guó)儀器儀表與測(cè)控技術(shù)進(jìn)展大會(huì)論文集（Ⅲ）[C];2008年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前3條

1 貴州 石健;淺談?dòng)霉虘B(tài)繼電器代替?zhèn)鹘y(tǒng)電磁繼電器時(shí)消除電磁干擾和輻射干擾問(wèn)題[N];電子報(bào);2007年

2 華鋒;電磁繼電器低電平試驗(yàn)臺(tái)制成[N];中國(guó)電子報(bào);2000年

3 王彥勇;電磁繼電器的參數(shù)和選用[N];中國(guó)電力報(bào);2004年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前2條

1 王召斌;航天電磁繼電器貯存可靠性退化試驗(yàn)與評(píng)價(jià)方法的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

2 楊文英;電磁繼電器功能模塊的電磁敏感性研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 王文龍;密封電磁繼電器發(fā)熱特性分析的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

2 肖唐杰;航天電磁繼電器綜合仿真與開(kāi)發(fā)軟件系統(tǒng)的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

3 王稚惠;密封電磁繼電器的可靠性及觸點(diǎn)粘結(jié)失效分析[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

4 尹英姬;航天電磁繼電器動(dòng)態(tài)特性測(cè)試與可靠性評(píng)價(jià)方法的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

5 李昕;電磁繼電器觸頭相關(guān)參數(shù)的測(cè)量研究[D];河北工業(yè)大學(xué);2012年

6 鄧杰;航天電磁繼電器穩(wěn)健性設(shè)計(jì)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

7 孔令飛;一種集成雙穩(wěn)態(tài)微電磁繼電器工藝及其性能的研究[D];上海交通大學(xué);2011年

8 趙尚武;小型電磁繼電器可靠性試驗(yàn)裝置的研究[D];河北工業(yè)大學(xué);2005年

9 徐廣瑞;直流電磁繼電器可靠性測(cè)試系統(tǒng)的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2013年

10 武亞超;交流電磁繼電器動(dòng)態(tài)電性能測(cè)試系統(tǒng)的研究[D];河北工業(yè)大學(xué);2012年

本文編號(hào)：1380269