發(fā)布時(shí)間：2017-11-05 19:13

  本文關(guān)鍵詞：Gd靶激光等離子體6.7nm光源的實(shí)驗(yàn)研究

  更多相關(guān)文章： 極紫外光刻 極紫外光源 激光Gd等離子體 光源碎屑

【摘要】：本文對(duì)Gd靶激光等離子體極紫外光源進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,在6.7 nm附近獲得了較強(qiáng)的輻射,并研究了6.7nm附近光輻射隨打靶激光功率密度變化的規(guī)律以及收集角度對(duì)極紫外輻射的影響.同時(shí),對(duì)平面Gd靶激光等離子光源的離子碎屑角分布進(jìn)行了測(cè)量,發(fā)現(xiàn)從靶面的法線到沿著靶面平行方向上Gd離子數(shù)量依次減少.進(jìn)一步研究結(jié)果表明采用0.9 T外加磁場(chǎng)的條件下可取得較好的Gd離子碎屑阻擋效果.
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)理學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):61178022) 長(zhǎng)春市科技局項(xiàng)目(批準(zhǔn)號(hào):14KP007)資助的課題~~
【分類號(hào)】：TM923.01
【正文快照】： 1引言隨著13.5 nm極紫外光刻研發(fā)工作進(jìn)入尾聲[1 4],世界眾多的研究機(jī)構(gòu)又開始了新一輪的更短工作波長(zhǎng)、分辨率可優(yōu)于8 nm的下一代極紫外光刻的研究工作.在這方面,當(dāng)前采用工作波長(zhǎng)為6.7 nm極紫外光刻光源為該領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)[5].類似于13.5 nm極紫外光刻的情形[6],亞-10 nm極

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 李K;激光等離子體軟X線光源的研究[J];光學(xué)精密工程;1993年05期

2 王笑琴;激光等離子體物理實(shí)驗(yàn)裝置的改進(jìn)[J];大連理工大學(xué)學(xué)報(bào);1997年S2期

3 尼啟良,齊立紅,陳波;使用氣體靶激光等離子體光源的軟X射線反射率計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2004年06期

4 李杰;王曉龍;馮文輝;鄭志遠(yuǎn);;激光等離子體推進(jìn)中靶動(dòng)量測(cè)量方法的改進(jìn)[J];物理實(shí)驗(yàn);2012年08期

5 尼啟良;納秒激光等離子體光源的光譜測(cè)量技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2005年02期

6 夏新仁;尹成友;;激光等離子體通道天線的電磁散射特性分析[J];核聚變與等離子體物理;2008年03期

7 陳時(shí)勝;畢無(wú)忌;;多路激光等離子體裝置光學(xué)性能的綜合檢測(cè)技術(shù)[J];長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械學(xué)院學(xué)報(bào);1982年02期

8 鄒彪,陳建平,沈中華,卞保民,陸建,倪曉武,潘永東;激光等離子體的聲學(xué)診斷研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1998年02期

9 張楊;金星;王廣宇;葉繼飛;;基于激光等離子體實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)重建三維溫度場(chǎng)的方法研究[J];裝備指揮技術(shù)學(xué)院學(xué)報(bào);2010年01期

10 江少恩,劉忠禮,李楠,鄭志堅(jiān),唐道源,丁永坤;激光等離子體三維重建迭代方法研究[J];光學(xué)精密工程;1997年05期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 謝柏松;吳海城;;激光等離子體空泡加速的一些研究[A];第十四屆全國(guó)核物理大會(huì)暨第十屆會(huì)員代表大會(huì)論文集[C];2010年

2 李巧麗;李云霞;趙尚弘;蒙文;郝婕;;基于激光等離子體的反導(dǎo)技術(shù)研究[A];2008年激光探測(cè)、制導(dǎo)與對(duì)抗技術(shù)研討會(huì)論文集[C];2008年

3 王洪建;張?zhí)煊?;激光等離子體三維成像方法研究[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2011年學(xué)術(shù)大會(huì)摘要集[C];2011年

4 楊國(guó)洪;丁永坤;張繼彥;黃天暄;李軍;;腔內(nèi)等離子體冕區(qū)電子溫度和金激光等離子體的平均離化度診斷方法探索[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)（2001）[C];2001年

5 王殿愷;李倩;;激光等離子體控制高超聲速波系結(jié)構(gòu)特性研究[A];中國(guó)力學(xué)大會(huì)——2013論文摘要集[C];2013年

6 成金秀;鄭志堅(jiān);溫天舒;楊存榜;曹磊峰;;激光等離子體時(shí)、空、能三維分辨測(cè)試系統(tǒng)[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)（1998）[C];1998年

7 紀(jì)運(yùn)景;王春勇;童朝霞;卞保民;陸建;;空氣中激光等離子體誘導(dǎo)電信號(hào)探測(cè)[A];第十四屆全國(guó)原子與分子物理學(xué)術(shù)會(huì)議論文專輯[C];2007年

8 紀(jì)運(yùn)景;卞保民;陸建;劉素梅;;激光等離子體誘導(dǎo)靶上電勢(shì)信號(hào)的振蕩特性[A];2007年先進(jìn)激光技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用研討會(huì)論文集[C];2007年

9 謝柏松;吳海城;;激光等離子體空泡加速研究[A];第十五屆全國(guó)等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議會(huì)議摘要集[C];2011年

10 ;基于球面晶體成像技術(shù)的激光等離子體體成像研究(英文)[A];第十五屆全國(guó)等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議會(huì)議摘要集[C];2011年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 吳瑩;激光等離子體的微波干擾和診斷研究[D];南京理工大學(xué);2009年

2 紀(jì)運(yùn)景;基于靶探針?lè)ǖ募す獾入x子體弱荷電效應(yīng)的研究[D];南京理工大學(xué);2009年

3 楊雁南;激光等離子體對(duì)固體界面力學(xué)作用機(jī)理和數(shù)值模擬研究[D];南京理工大學(xué);2007年

4 王洪建;激光等離子體極化光譜診斷研究[D];重慶大學(xué);2010年

5 齊立紅;液體微流噴射靶激光等離子體軟X射線—極紫外光源研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2006年

6 尼啟良;液體微滴噴射靶激光等離子體軟X射線源研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2003年

7 程濤;平板靶X射線激光等離子體的二維流體力學(xué)研究[D];中國(guó)礦業(yè)大學(xué)（北京）;2009年

8 李玉同;飛秒激光等離子體光學(xué)診斷和自生磁場(chǎng)實(shí)驗(yàn)研究[D];中國(guó)工程物理研究院;2001年

9 楊小松;激光等離子體中有質(zhì)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)磁重聯(lián)與引力等離子體中磁調(diào)制不穩(wěn)定性的研究[D];南昌大學(xué);2012年

10 張紅;激光等離子體M帶細(xì)致結(jié)構(gòu)以及電離度的理論研究[D];四川大學(xué);2004年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 白順波;微波法診斷激光等離子體研究[D];南京理工大學(xué);2006年

2 郝達(dá)福;激光等離子體點(diǎn)燃機(jī)理分析與閾值測(cè)試研究[D];南京理工大學(xué);2006年

3 葉太兵;激光等離子體屏蔽現(xiàn)象的實(shí)驗(yàn)研究[D];南京理工大學(xué);2007年

4 周軍;納秒激光等離子體和沖擊波初始階段的光學(xué)診斷實(shí)驗(yàn)研究[D];南京理工大學(xué);2009年

5 刁翠英;激光等離子體中原子的激發(fā)和輻射過(guò)程研究[D];山東師范大學(xué);2011年

6 付有龍;基于激光等離子體輻射光譜方法的靶材成分與含量分析研究[D];南京理工大學(xué);2008年

7 王濤;水中激光等離子體空泡形成及沖擊波傳播特性的實(shí)驗(yàn)研究[D];南京理工大學(xué);2012年

8 趙家瑞;激光等離子體中的電子行為研究[D];山東師范大學(xué);2013年

9 路飛飛;激光等離子體中強(qiáng)朗繆爾激元對(duì)粒子的加速[D];南昌大學(xué);2008年

10 蘆宇;泵浦光參量變化對(duì)激光等離子體燒蝕壓力的影響[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

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本文編號(hào)：1145485