本文關(guān)鍵詞：柔性襯底CZTSSe薄膜材料的研究

  更多相關(guān)文章： 銅鋅錫硫 熱蒸發(fā) 柔性襯底 生長條件

【摘要】：銅鋅錫硫(Cu2Zn Sn S4)半導(dǎo)體材料因其原材料儲量豐富,成本低,無污染,吸收系數(shù)高,帶隙可調(diào),轉(zhuǎn)換效率高等優(yōu)點,成為最有前景的薄膜太陽電池之一。本論文采用熱蒸發(fā)法,在柔性襯底上使用不同工藝方法沉積CZTSSe薄膜,并對薄膜的形貌、晶體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了對比分析,確定了制備CZTSSe薄膜合適的工藝方法。探索了CZTSSe薄膜最佳的生長條件,在此基礎(chǔ)上制備出適合CZTSSe薄膜太陽電池應(yīng)用的CZTSSe薄膜。論文主要得到以下結(jié)果:(1)探索了柔性襯底的CZTSSe薄膜的沉積方法。采用低溫一步法、兩步沉積法和高溫一步法沉積CZTSSe薄膜,對三種工藝條件制備的薄膜形貌、晶體結(jié)構(gòu)進(jìn)行對比分析,最終確定高溫一步法為最佳制備方法。(2)探索了Cu蒸發(fā)源和Zn S蒸發(fā)源的最佳蒸發(fā)溫度。采用高溫一步法制備薄膜,改變Cu源和Zn S源的蒸發(fā)溫度,分析在不同蒸發(fā)溫度下薄膜的形貌、晶體結(jié)構(gòu),最終確定Cu源的最佳蒸發(fā)溫度為1160℃,Zn S源的最佳蒸發(fā)溫度為730℃。(3)通過工藝的改進(jìn),制備出適合器件應(yīng)用的CZTSSe薄膜。分析了薄膜的形貌、晶體結(jié)構(gòu),將薄膜的拉曼光譜與單相化合物的拉曼光譜進(jìn)行了比對,除CZTSSe相外未發(fā)現(xiàn)其他二元相和三元相。
【學(xué)位授予單位】：天津理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TM914.42

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 常艷;陳官壁;汪雷;楊德仁;;利用HWCVD在柔性襯底上制備多晶硅薄膜[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2007年06期

2 李素敏;趙玉濤;何維鳳;戴起勛;張釗;;磁控濺射制備柔性襯底ZnO:Ga透明導(dǎo)電膜研究[J];半導(dǎo)體技術(shù);2006年02期

3 李勝林,馮凱,劉浩然,劉國華,張德賢;用電子束蒸發(fā)法低溫?zé)o損情況下在有機(jī)柔性襯底上制作ITO膜及其性能研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2004年04期

4 吳澄;陳迪;胡銳軍;陳景東;陳翔;王曉椺;呂寶糧;;柔性襯底MEMS技術(shù)制備腦電圖干電極陣列研究[J];上海交通大學(xué)學(xué)報;2011年07期

5 楊志偉,韓圣浩,楊田林,葉麗娜,馬洪磊,韓錫貴;柔性襯底ITO膜的性質(zhì)與制備參數(shù)關(guān)系的研究[J];太陽能學(xué)報;2001年03期

6 李曉妮;方鉉;陳新穎;方芳;魏志鵬;李金華;楚學(xué)影;;柔性襯底上AZO薄膜的生長及表征[J];長春理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2013年Z1期

7 孫裔;刁訓(xùn)剛;楊盟;武哲;舒遠(yuǎn)杰;;柔性襯底ITO透明導(dǎo)電薄膜的光電性能研究[J];稀有金屬材料與工程;2007年01期

8 張化福;類成新;劉漢法;袁玉珍;袁長坤;;在柔性襯底上制備透明導(dǎo)電薄膜ZnO:Zr(英文)[J];半導(dǎo)體技術(shù);2009年02期

9 王雅欣;裴志軍;王爽;李彤;張軍;徐建萍;蔡宏琨;張德賢;;柔性襯底硅基太陽電池ZAO透明導(dǎo)電膜的研究[J];光電子.激光;2012年05期

10 楊田林,張德恒,李滋然,馬洪磊,馬瑾;射頻磁控濺射制備的柔性襯底ZnO∶Al透明導(dǎo)電薄膜的研究[J];太陽能學(xué)報;1999年02期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 隋妍萍;張德賢;席強(qiáng);陶科;薛穎;蔡宏琨;姜元建;王林申;趙敬芳;;基于柔性襯底的P型微晶硅薄膜生長工藝的研究[A];第十屆中國太陽能光伏會議論文集：迎接光伏發(fā)電新時代[C];2008年

2 楊恢東;;柔性襯底上a-SiNx:H絕緣介質(zhì)薄膜的制備與特性研究[A];第十屆中國太陽能光伏會議論文集：迎接光伏發(fā)電新時代[C];2008年

3 董林;馬瑩;李豪;賈曉林;;柔性襯底電化學(xué)沉積制備Cu_2O納米柱陣列[A];第11屆全國發(fā)光學(xué)學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2007年

4 倪牮;薛俊明;趙鵬;袁育杰;張建軍;侯國付;孫建;趙穎;耿新華;;PET塑料襯底上柔性硅基薄膜電池研究[A];第十屆中國太陽能光伏會議論文集：迎接光伏發(fā)電新時代[C];2008年

5 丁迪;張貴鋒;馮煜東;侯曉多;;HWCVD法在柔性襯底上制備無定形硅薄膜[A];TFC’09全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會論文摘要集[C];2009年

6 薛俊明;侯國付;袁育杰;倪牮;趙鵬;孫建;張建軍;趙穎;耿新華;;柔性襯底硅基薄膜太陽電池的研究[A];第十屆中國太陽能光伏會議論文集：迎接光伏發(fā)電新時代[C];2008年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 金鵬;Dimatix公司成功開發(fā)出硅MEMS技術(shù)[N];中國包裝報;2006年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 岳紅云;柔性襯底薄膜光伏電池相關(guān)材料制備及性能[D];大連理工大學(xué);2011年

2 孫佳胤;GaN外延生長中的SOI柔性襯底技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所）;2007年

3 葛良進(jìn);基于柔性襯底的微納結(jié)構(gòu)圖形復(fù)制技術(shù)及其應(yīng)用[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 劉浩;柔性襯底CZTSSe薄膜材料的研究[D];天津理工大學(xué);2015年

2 趙鴻憲;基于a-IGZO薄膜材料的柔性半導(dǎo)體器件[D];山東大學(xué);2015年

3 常艷;在柔性襯底上制備多晶硅薄膜的研究[D];浙江大學(xué);2007年

4 張延生;柔性襯底上非晶硅薄膜太陽電池的材料研究[D];河北工業(yè)大學(xué);2002年

5 崔勇;基于柔性襯底納米ZnO酶電極制備及其生物傳感特性研究[D];長春理工大學(xué);2011年

6 王艷;基于柔性襯底的微型換能器技術(shù)[D];西北工業(yè)大學(xué);2007年

，

本文編號：1139167