本文關(guān)鍵詞：壓電陶瓷電機(jī)驅(qū)動(dòng)的三維微動(dòng)定位平臺(tái)及驗(yàn)證

  更多相關(guān)文章： 壓電陶瓷電機(jī) 微細(xì)加工 三維微定位 最小步進(jìn) 大行程

【摘要】：壓電陶瓷電機(jī)具有高分辨率和壓電驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)態(tài)特性,具有體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、成本低、輸出力大、響應(yīng)快、精度高、無(wú)電磁干擾等特點(diǎn),但存在滯后誤差、垂向位移誤差,行程短的問(wèn)題,尤其在電極損耗后,補(bǔ)償量增大,嚴(yán)重影響了定位精度和難以滿(mǎn)足三維加工的工作要求。該文通過(guò)對(duì)壓電陶瓷電機(jī)驅(qū)動(dòng)的百毫米以上超精密加工三維結(jié)構(gòu)平臺(tái)的性能研究,采用宏微雙驅(qū)動(dòng)協(xié)調(diào)控制,實(shí)現(xiàn)大行程和小步距的有機(jī)結(jié)合,對(duì)微動(dòng)精密工作臺(tái)性能進(jìn)行實(shí)驗(yàn),得到了平臺(tái)運(yùn)行的特性曲線(xiàn)。結(jié)果表明該機(jī)構(gòu)的動(dòng)態(tài)性和穩(wěn)態(tài)性能良好,實(shí)現(xiàn)超低速、響應(yīng)快、超高分辨率、高精度的雙向步進(jìn)運(yùn)動(dòng),可以達(dá)到亞微米至納米量級(jí)的定位精度,滿(mǎn)足極微細(xì)電火花加工的高精度要求,為進(jìn)一步研究壓電陶瓷電機(jī)在超精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的應(yīng)用、提高系統(tǒng)的定位精度,提供科學(xué)依據(jù)。
【作者單位】： 臺(tái)州職業(yè)技術(shù)學(xué)院機(jī)電工程學(xué)院;沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 壓電陶瓷電機(jī) 微細(xì)加工 三維微定位 最小步進(jìn) 大行程
【基金】：浙江省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(LY14E050001) 浙江省2014年高等學(xué)校訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者專(zhuān)業(yè)發(fā)展基金資助項(xiàng)目(FX2014173) 2013年度浙江省高職高專(zhuān)院校專(zhuān)業(yè)帶頭人專(zhuān)業(yè)領(lǐng)軍基金資助項(xiàng)目(lj2013140)
【分類(lèi)號(hào)】：TM32
【正文快照】： 0引言隨著現(xiàn)代制造技術(shù)的發(fā)展,學(xué)科交叉、復(fù)合加工技術(shù)的特點(diǎn)日益突出,而現(xiàn)代的智能控制自動(dòng)化制作和現(xiàn)代的超精密加工及納米加工,代表了當(dāng)前先進(jìn)制造技術(shù)發(fā)展的重要方向。超精密加工技術(shù)是機(jī)械制造業(yè)的重要發(fā)展方向,其科學(xué)技術(shù)水平已成為衡量一個(gè)國(guó)際綜合實(shí)力的重要標(biāo)志。微

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本文編號(hào)：1085989