本文關(guān)鍵詞：雙蘭杰文振子縱彎復(fù)合模態(tài)驅(qū)動(dòng)的壓電平面電機(jī)

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【摘要】：提出利用具有雙蘭杰文振子的H定子驅(qū)動(dòng)的壓電平面電機(jī),選定H定子兩縱桿沿x Oy面的一縱、二彎模態(tài),及沿z Oy面的二彎模態(tài)為工作模態(tài),將兩縱桿設(shè)計(jì)成夾心變截面結(jié)構(gòu)并以其上端為驅(qū)動(dòng)足。一縱模態(tài)分別與兩相二彎模態(tài)進(jìn)行振動(dòng)耦合,使兩驅(qū)動(dòng)足沿x Oy、z Oy面作橢圓運(yùn)動(dòng)而交替地推動(dòng)動(dòng)子作平面運(yùn)動(dòng)。闡釋了電機(jī)工作原理及其驅(qū)動(dòng)足做橢圓運(yùn)動(dòng)條件�；诠ぷ髂B(tài)頻率一致性目標(biāo)建立定子優(yōu)化模型,解得定子優(yōu)化尺寸。建立定子機(jī)電耦合有限元模型,求取電機(jī)的諧響應(yīng)及模態(tài)干擾特性。設(shè)計(jì)出電機(jī)裝配模型,獲取其調(diào)頻、調(diào)壓、調(diào)相工作特性。仿真了定子運(yùn)行狀態(tài),模擬出驅(qū)動(dòng)足兩相橢圓軌跡且當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓為250 V時(shí),驅(qū)動(dòng)足x、y、z向振幅為1.5μm、2.5μm和4.7μm。該電機(jī)有望輸出較大推力與速度。
【作者單位】： 南昌航空大學(xué)航空制造工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 蘭杰文振子 平面電機(jī) 驅(qū)動(dòng)機(jī)理 分析模型 動(dòng)力學(xué)特性
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51665040,51265040) 江西自然科學(xué)基金(20151BAB206036) 江西省教育廳科技項(xiàng)目(GJJ14517)
【分類號(hào)】：TM35
【正文快照】： 0引言隨著現(xiàn)代科技發(fā)展,對于高速、高精、快響應(yīng)平面驅(qū)動(dòng)裝置需求愈發(fā)迫切。平面電機(jī)能實(shí)現(xiàn)二維或三維運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng),在二維定位加工裝置如半導(dǎo)體微細(xì)加工裝備中具有廣闊應(yīng)用前景,廣受學(xué)界、業(yè)界關(guān)注。平面電機(jī)多為電磁電機(jī)如有變磁阻式、感應(yīng)式、永磁同步式多種型式[1]。囿于電磁

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