發(fā)布時間：2021-08-17 14:24

　　文中從氣體放電過程中微觀粒子的運動特性出發(fā),針對均勻電場中SF₆/CF₄混合氣體的流注放電特性進行數(shù)值模擬。基于兩項近似求解Boltzmann方程的方法,得到不同壓強、混合比下SF₆/CF₄的電子能量分布（electron energy distribution function,EEDF）。根據(jù)EEDF計算折合電離系數(shù)和折合吸附系數(shù),將該放電參數(shù)引入流體模型,以氣體壓強0.1 MPa、間隙距離5 mm為例模擬SF₆/CF₄的流注放電過程,研究放電過程中空間電子數(shù)密度隨時間和空間的變化規(guī)律。結(jié)果表明:混合比一定時α/N隨E/N的增大顯著提高,E/N一定時混合氣體中CF₄體積分數(shù)越高α/N值越大;隨著電子崩向前發(fā)展,崩頭的電子迅速增長,放電5 ns時電子數(shù)密度峰值達到9.7×10¹²m^-3,當間隙完全擊穿,電極間形成等離子體導(dǎo)電通道,此時空間電子數(shù)密度分布基本均勻,電子數(shù)密度達到10^... 

【文章來源】：高壓電器. 2016,52(12)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

SF6/CF4混合氣體的電子能量分布(f)90%CF4/10%SF6電子能量/eV0102030405060電子能量分布10-310-410-52×10-19Vm23×10-19Vm26×10-19Vm25×10-19Vm2

-54×10-19Vm2電子能量分布/eV-3/2電子能量/eV010203040高能區(qū)低能區(qū)2×10-19Vm23×10-19Vm26×10-19Vm25×10-19Vm2(b)30%CF4/70%SF610-110-210-310-410-5圖3折合吸附反應(yīng)系數(shù)η/NFig.3DischargeparametersofSF6/CF4折合電場/(10-21Vm2)折合電離反應(yīng)系數(shù)/m210-1910-2010-2110-2210-23100200300400500CF4SF680%SF620%SF660%SF640%SF6圖2折合電離反應(yīng)系數(shù)α/NFig.2DischargeparametersofSF6/CF4折合電場/(10-21Vm2)折合電離反應(yīng)系數(shù)/m210-1910-2010-2110-2210-23100200300400500CF4SF680%SF620%SF660%SF640%SF6r方向z方向原點陰極板陽極板軸線計算區(qū)域圖4計算區(qū)域示意圖Fig.4Sketchmapofcomputingarea研究與分析李輝，李鑫濤，徐建源，等.均勻電場下SF6/CF4流注放電數(shù)值模擬·125·

25×10-19Vm24×10-19Vm2電子能量分布/eV-3/2電子能量/eV010203040高能區(qū)低能區(qū)2×10-19Vm23×10-19Vm26×10-19Vm25×10-19Vm2(c)50%CF4/50%SF610-110-210-310-410-54×10-19Vm2電子能量分布/eV-3/2電子能量/eV010203040高能區(qū)低能區(qū)2×10-19Vm23×10-19Vm26×10-19Vm25×10-19Vm2(b)30%CF4/70%SF610-110-210-310-410-5圖3折合吸附反應(yīng)系數(shù)η/NFig.3DischargeparametersofSF6/CF4折合電場/(10-21Vm2)折合電離反應(yīng)系數(shù)/m210-1910-2010-2110-2210-23100200300400500CF4SF680%SF620%SF660%SF640%SF6圖2折合電離反應(yīng)系數(shù)α/NFig.2DischargeparametersofSF6/CF4折合電場/(10-21Vm2)折合電離反應(yīng)系數(shù)/m210-1910-2010-2110-2210-23100200300400500CF4SF680%SF620%SF660%SF640%SF6r方向z方向原點陰極板陽極板軸線計算區(qū)域圖4計算區(qū)域示意圖Fig.4Sketchmapofcomputingarea研究與分析李輝，李鑫濤，徐建源，等.均勻電場下SF6/CF4流注放電數(shù)值模擬·125·

【參考文獻】：
期刊論文
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博士論文
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本文編號：3347933