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基于Hammerstein-like模型的壓電陶瓷微定位平臺控制方法

發(fā)布時(shí)間:2021-07-08 05:45
  近現(xiàn)代以來,精密驅(qū)動定位技術(shù)在很多高新科技領(lǐng)域得到發(fā)展,如微電子技術(shù)、流體機(jī)械、超精密加工制造、微納操作及微納裝配、生物技術(shù)與現(xiàn)代醫(yī)療等。實(shí)現(xiàn)精密驅(qū)動定位技術(shù)的器件中,以壓電陶瓷執(zhí)行器為驅(qū)動元件的微定位平臺由于具有響應(yīng)速度快、位移分辨率高、剛度好、頻率特性好和定位精度高等優(yōu)點(diǎn),具有獨(dú)特的優(yōu)勢,成為研究熱點(diǎn)。然而在精密定位的應(yīng)用中,由于壓電陶瓷材料具有一定的遲滯特性,這種非線性特性會影響壓電陶瓷微定位平臺的定位精度,使控制精度變差。為了保證平臺的定位精度不被影響或減小被影響程度,本文以壓電陶瓷微定位平臺為研究對象,從建模與控制兩方面對遲滯特性進(jìn)行了研究與補(bǔ)償。首先介紹了壓電陶瓷微定位平臺的組成與原理,并總結(jié)歸納了國內(nèi)外學(xué)者在遲滯模型與遲滯補(bǔ)償控制方面的研究。然后,建立Hammerstein-like模型來精確描述壓電陶瓷微位移定位平臺的輸入輸出關(guān)系。最后在建立的模型的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了基于兩步法的廣義預(yù)測控制器與考慮系統(tǒng)約束的廣義預(yù)測控制器以實(shí)現(xiàn)精密定位控制。對傳統(tǒng)靜態(tài)遲滯模型如KP模型無法描述壓電陶瓷微定位平臺率相關(guān)遲滯特性的情況,設(shè)計(jì)了Hammerstein-like模型實(shí)現(xiàn)對遲滯非線性與... 

【文章來源】:吉林大學(xué)吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】:81 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【部分圖文】:

基于Hammerstein-like模型的壓電陶瓷微定位平臺控制方法


實(shí)驗(yàn)裝置圖

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]一種精密平臺的柔性鉸鏈設(shè)計(jì)和有限元驗(yàn)證[J]. 常旭,高思田,李東升,李琪,施玉書,錢曉力.  機(jī)械傳動. 2017(10)
[2]基于改進(jìn)PI模型的壓電陶瓷遲滯特性補(bǔ)償控制[J]. 于志亮,劉楊,王巖,李松,譚久彬.  儀器儀表學(xué)報(bào). 2017(01)
[3]基于徑向基神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的壓電作動器建模與控制[J]. 范家華,馬磊,周攀,劉佳彬,周克敏.  控制理論與應(yīng)用. 2016(07)
[4]柔性鉸鏈微定位平臺的設(shè)計(jì)[J]. 馬立,謝煒,劉波,孫立寧.  光學(xué)精密工程. 2014(02)
[5]超磁致伸縮作動器的率相關(guān)Hammerstein模型與H∞魯棒跟蹤控制[J]. 郭詠新,張臻,毛劍琴,周克敏.  自動化學(xué)報(bào). 2014(02)

博士論文
[1]大行程柔性鉸鏈建模及其在平面柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)的應(yīng)用[D]. 楊淼.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2018
[2]非線性模型預(yù)測控制理論及應(yīng)用研究[D]. 孫峻.西北工業(yè)大學(xué) 2002

碩士論文
[1]壓電陶瓷微定位平臺遲滯建模及自適應(yīng)控制方法研究[D]. 張雁南.吉林大學(xué) 2019
[2]壓電陶瓷微定位平臺魯棒自適應(yīng)控制方法研究[D]. 羅祎靈.吉林大學(xué) 2018
[3]壓電陶瓷微定位平臺的遲滯非線性補(bǔ)償方法研究[D]. 劉瑩.吉林大學(xué) 2017
[4]最小二乘支持向量機(jī)的研究和應(yīng)用[D]. 程然.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2013



本文編號:3270977

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