基于光纖聲波傳感的光聲光譜微量氣體分析儀
發(fā)布時(shí)間:2021-01-24 09:45
隨著國民經(jīng)濟(jì)的持續(xù)高速發(fā)展,各行業(yè)對(duì)電力的需求量不斷增加,電力系統(tǒng)正在向大容量、超高壓和智能化的方向發(fā)展。對(duì)電氣設(shè)備進(jìn)行連續(xù)的在線監(jiān)測(cè),可以及時(shí)掌握變壓器設(shè)備內(nèi)部絕緣狀況并發(fā)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行中的事故隱患,盡早地防止變壓器潛伏性故障的發(fā)展。光聲光譜技術(shù)是一種高靈敏度、高分辨率的檢測(cè)技術(shù),近年來成為電力系統(tǒng)變壓器在線監(jiān)測(cè)的首選技術(shù)方案。針對(duì)在光聲光譜檢測(cè)系統(tǒng)中,傳統(tǒng)的電容式微音器頻率響應(yīng)與光聲池不匹配、易受電磁干擾等缺點(diǎn),本文重點(diǎn)研究了基于光纖聲波傳感的光聲光譜微量氣體分析系統(tǒng)。在對(duì)光纖法布里-珀羅(Fabry-Perot,F-P)聲波傳感器的相關(guān)理論研究的基礎(chǔ)上,針對(duì)共振式光聲檢測(cè)系統(tǒng),制作了懸臂梁結(jié)構(gòu)的光纖F-P聲波傳感器。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在1400Hz的聲波頻率下,該傳感器的靈敏度達(dá)到256.7mV/Pa,最低聲波檢測(cè)極限為8.5μPa/Hz1/2。針對(duì)非共振式光聲檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)高靈敏度低頻聲波傳感器的需求,利用聚一氯對(duì)二甲苯(Parylene-C)薄膜致密性好和楊氏模量小的特點(diǎn),研究制備了 Parylene-C膜光纖F-P低頻聲波傳感器,在30Hz的聲波頻率下,該傳感器的...
【文章來源】:大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁數(shù)】:124 頁
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【部分圖文】:
圖1.3全石英膜片式光纖F-P壓力傳感器的結(jié)構(gòu)??Fi.?1.3?Structure?of?all-silica?diahram-based?F-Pressure?sensor??
Z?篇z--?substrate??圖1.5石墨烯膜光纖F-P壓力傳感器的結(jié)構(gòu)t1G5l??Fig.?1.5?Structure?of?graphene-diaphragm-based?fiber-optic?F-P?pressure?sensor??1.4.2基于光纖聲波傳感的光聲光譜氣體檢測(cè)技術(shù)研究進(jìn)展??根據(jù)光聲光譜學(xué)的原理,光聲測(cè)量的靈敏度正比于聲波探測(cè)器的靈敏度,因此高性??能的聲波探測(cè)是科研工作者不斷追求的目標(biāo)。由于傳統(tǒng)光聲系統(tǒng)采用的通用電容式微音??器[111]的幾何尺寸和頻率響應(yīng)與部分光聲池不匹配,靈敏度較低,抗電磁干擾能力差,因??此研制新的光聲探測(cè)方法代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電容式微音器成為光聲光譜檢測(cè)技術(shù)的一個(gè)重要??方向。??DETECTORS?BEAM?SPLITTER??LASER?_??mils?豐參十"——n?MIRROR??optJI?r? ̄[:杉??source?QI?.?y./xh.?y;:?\kF7 ̄z^:,:??Wmm\?)^CANT;LEVERS〇:?PA?CELL??/〇?f?........■■?:?m?-?■?......二^"??MODULATED?v?''?A?y??IRBEAM?1?VM?Q?1?Q?VM?i??H?丨"?L??琴轉(zhuǎn)灣?.《丨,::.::。海?。?.........?MIRROR??LASER??DETECTORS?BEAM?SPLITTER??圖1.6雙懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜系統(tǒng)t116]??Fig.?1.6?Dual-cantil
利用光纖放大器使光能量達(dá)到600mW,對(duì)二氧化碳?xì)怏w的檢測(cè)極限靈敏度提高到了??0.23ppm。為提高系統(tǒng)抗外界振動(dòng)干擾能力,2009年Fonsen[U6]采用雙懸臂梁聲波探測(cè)方??法,如圖1.6所示。該系統(tǒng)采用雙懸臂梁增強(qiáng)的方法,使用小功率電調(diào)制紅外光源對(duì)CH4??氣體進(jìn)行了測(cè)量,檢測(cè)靈敏度高達(dá)〇.5ppm。2013年,Hirschmann等人將量子級(jí)聯(lián)激光??器與懸臂梁微音器結(jié)合對(duì)CH20氣體進(jìn)行檢測(cè),檢測(cè)靈敏度為0.6ppb[11'2015年,Peltola??等人采用10.5W的532nm激光器作為激勵(lì)光源,利用懸臂梁結(jié)構(gòu)光纖聲波傳感器對(duì)N〇2??氣體進(jìn)行測(cè)量,檢測(cè)靈敏度高達(dá)50ppt[us]。2018年,Tomberg等人結(jié)合高功率光參量振??蕩器(OPO)對(duì)HF氣體實(shí)現(xiàn)了亞ppt量級(jí)的檢測(cè)[119]?傮w來說,CEPAS系統(tǒng)中光學(xué)懸臂??梁聲波傳感器具有較高的靈敏度,但因?yàn)槠洳捎眠~克遜干涉儀結(jié)構(gòu),使其存在體積較大、??系統(tǒng)復(fù)雜和不便于與光聲池匹配等缺點(diǎn)。????3-dB?3hIB?/77-\?optical??->???、coupler?coupler?^?J?fiber??r ̄:一>?/?>?sensor?? ̄^ ̄?/head??
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于光聲光譜的變壓器油中溶解氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)[J]. 李洋流,趙學(xué)增. 傳感器與微系統(tǒng). 2011(06)
[2]Parylene涂覆材料及其應(yīng)用[J]. 韓建棟,徐愛東. 半導(dǎo)體技術(shù). 2011(06)
[3]非故障變壓器油中出現(xiàn)乙炔原因分析[J]. 應(yīng)高亮,徐康健. 電工技術(shù). 2011(04)
[4]采用激光共振光聲光譜技術(shù)檢測(cè)乙炔氣體[J]. 云玉新,趙笑笑,陳偉根,李立生,趙富強(qiáng). 高電壓技術(shù). 2009(09)
[5]變壓器油中甲烷氣體的光聲光譜檢測(cè)方法[J]. 云玉新,陳偉根,孫才新,潘翀. 中國電機(jī)工程學(xué)報(bào). 2008(34)
[6]光聲光譜變壓器油中溶解氣體在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)在小浪底水電廠的應(yīng)用[J]. 李憲棟,肖明,劉定友,唐新文,徐力明. 變壓器. 2008(03)
[7]TransFix變壓器油在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)在小浪底水電廠的應(yīng)用[J]. 唐新文,李憲棟. 水電自動(dòng)化與大壩監(jiān)測(cè). 2007(06)
[8]光聲光譜氣體探測(cè)器的新發(fā)展[J]. 陳樂君,劉玉玲,余飛鴻. 光學(xué)儀器. 2006(05)
[9]變壓器油中溶解氣體在線監(jiān)測(cè)技術(shù)發(fā)展與展望[J]. 許坤,周建華,茹秋實(shí),周茁. 高電壓技術(shù). 2005(08)
[10]2004年國家電網(wǎng)安全運(yùn)行情況分析[J]. 胡超凡,陳剛,趙玉柱. 中國電力. 2005(05)
博士論文
[1]光聲光譜微量氣體檢測(cè)技術(shù)及其應(yīng)用研究[D]. 張望.大連理工大學(xué) 2010
[2]光纖法布里—珀羅聲波傳感器及其應(yīng)用研究[D]. 王巧云.大連理工大學(xué) 2010
[3]基于共振光聲光譜的變壓器油中溶解氣體在線監(jiān)測(cè)原理及方法[D]. 云玉新.重慶大學(xué) 2008
碩士論文
[1]基于光聲光譜技術(shù)的多組分氣體檢測(cè)系統(tǒng)研究[D]. 李洪艷.燕山大學(xué) 2010
[2]基于光聲光譜技術(shù)的甲烷氣體檢測(cè)系統(tǒng)的研究[D]. 王敏.吉林大學(xué) 2006
本文編號(hào):2997031
【文章來源】:大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁數(shù)】:124 頁
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【部分圖文】:
圖1.3全石英膜片式光纖F-P壓力傳感器的結(jié)構(gòu)??Fi.?1.3?Structure?of?all-silica?diahram-based?F-Pressure?sensor??
Z?篇z--?substrate??圖1.5石墨烯膜光纖F-P壓力傳感器的結(jié)構(gòu)t1G5l??Fig.?1.5?Structure?of?graphene-diaphragm-based?fiber-optic?F-P?pressure?sensor??1.4.2基于光纖聲波傳感的光聲光譜氣體檢測(cè)技術(shù)研究進(jìn)展??根據(jù)光聲光譜學(xué)的原理,光聲測(cè)量的靈敏度正比于聲波探測(cè)器的靈敏度,因此高性??能的聲波探測(cè)是科研工作者不斷追求的目標(biāo)。由于傳統(tǒng)光聲系統(tǒng)采用的通用電容式微音??器[111]的幾何尺寸和頻率響應(yīng)與部分光聲池不匹配,靈敏度較低,抗電磁干擾能力差,因??此研制新的光聲探測(cè)方法代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電容式微音器成為光聲光譜檢測(cè)技術(shù)的一個(gè)重要??方向。??DETECTORS?BEAM?SPLITTER??LASER?_??mils?豐參十"——n?MIRROR??optJI?r? ̄[:杉??source?QI?.?y./xh.?y;:?\kF7 ̄z^:,:??Wmm\?)^CANT;LEVERS〇:?PA?CELL??/〇?f?........■■?:?m?-?■?......二^"??MODULATED?v?''?A?y??IRBEAM?1?VM?Q?1?Q?VM?i??H?丨"?L??琴轉(zhuǎn)灣?.《丨,::.::。海?。?.........?MIRROR??LASER??DETECTORS?BEAM?SPLITTER??圖1.6雙懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜系統(tǒng)t116]??Fig.?1.6?Dual-cantil
利用光纖放大器使光能量達(dá)到600mW,對(duì)二氧化碳?xì)怏w的檢測(cè)極限靈敏度提高到了??0.23ppm。為提高系統(tǒng)抗外界振動(dòng)干擾能力,2009年Fonsen[U6]采用雙懸臂梁聲波探測(cè)方??法,如圖1.6所示。該系統(tǒng)采用雙懸臂梁增強(qiáng)的方法,使用小功率電調(diào)制紅外光源對(duì)CH4??氣體進(jìn)行了測(cè)量,檢測(cè)靈敏度高達(dá)〇.5ppm。2013年,Hirschmann等人將量子級(jí)聯(lián)激光??器與懸臂梁微音器結(jié)合對(duì)CH20氣體進(jìn)行檢測(cè),檢測(cè)靈敏度為0.6ppb[11'2015年,Peltola??等人采用10.5W的532nm激光器作為激勵(lì)光源,利用懸臂梁結(jié)構(gòu)光纖聲波傳感器對(duì)N〇2??氣體進(jìn)行測(cè)量,檢測(cè)靈敏度高達(dá)50ppt[us]。2018年,Tomberg等人結(jié)合高功率光參量振??蕩器(OPO)對(duì)HF氣體實(shí)現(xiàn)了亞ppt量級(jí)的檢測(cè)[119]?傮w來說,CEPAS系統(tǒng)中光學(xué)懸臂??梁聲波傳感器具有較高的靈敏度,但因?yàn)槠洳捎眠~克遜干涉儀結(jié)構(gòu),使其存在體積較大、??系統(tǒng)復(fù)雜和不便于與光聲池匹配等缺點(diǎn)。????3-dB?3hIB?/77-\?optical??->???、coupler?coupler?^?J?fiber??r ̄:一>?/?>?sensor?? ̄^ ̄?/head??
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于光聲光譜的變壓器油中溶解氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)[J]. 李洋流,趙學(xué)增. 傳感器與微系統(tǒng). 2011(06)
[2]Parylene涂覆材料及其應(yīng)用[J]. 韓建棟,徐愛東. 半導(dǎo)體技術(shù). 2011(06)
[3]非故障變壓器油中出現(xiàn)乙炔原因分析[J]. 應(yīng)高亮,徐康健. 電工技術(shù). 2011(04)
[4]采用激光共振光聲光譜技術(shù)檢測(cè)乙炔氣體[J]. 云玉新,趙笑笑,陳偉根,李立生,趙富強(qiáng). 高電壓技術(shù). 2009(09)
[5]變壓器油中甲烷氣體的光聲光譜檢測(cè)方法[J]. 云玉新,陳偉根,孫才新,潘翀. 中國電機(jī)工程學(xué)報(bào). 2008(34)
[6]光聲光譜變壓器油中溶解氣體在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)在小浪底水電廠的應(yīng)用[J]. 李憲棟,肖明,劉定友,唐新文,徐力明. 變壓器. 2008(03)
[7]TransFix變壓器油在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)在小浪底水電廠的應(yīng)用[J]. 唐新文,李憲棟. 水電自動(dòng)化與大壩監(jiān)測(cè). 2007(06)
[8]光聲光譜氣體探測(cè)器的新發(fā)展[J]. 陳樂君,劉玉玲,余飛鴻. 光學(xué)儀器. 2006(05)
[9]變壓器油中溶解氣體在線監(jiān)測(cè)技術(shù)發(fā)展與展望[J]. 許坤,周建華,茹秋實(shí),周茁. 高電壓技術(shù). 2005(08)
[10]2004年國家電網(wǎng)安全運(yùn)行情況分析[J]. 胡超凡,陳剛,趙玉柱. 中國電力. 2005(05)
博士論文
[1]光聲光譜微量氣體檢測(cè)技術(shù)及其應(yīng)用研究[D]. 張望.大連理工大學(xué) 2010
[2]光纖法布里—珀羅聲波傳感器及其應(yīng)用研究[D]. 王巧云.大連理工大學(xué) 2010
[3]基于共振光聲光譜的變壓器油中溶解氣體在線監(jiān)測(cè)原理及方法[D]. 云玉新.重慶大學(xué) 2008
碩士論文
[1]基于光聲光譜技術(shù)的多組分氣體檢測(cè)系統(tǒng)研究[D]. 李洪艷.燕山大學(xué) 2010
[2]基于光聲光譜技術(shù)的甲烷氣體檢測(cè)系統(tǒng)的研究[D]. 王敏.吉林大學(xué) 2006
本文編號(hào):2997031
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