本文關(guān)鍵詞：熱處理對直接鍍Pd鍵合Cu線性能的影響

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【摘要】：利用掃描電鏡、透射電鏡、聚焦離子束、強度測試儀研究了鍵合Cu線無鹵直接鍍Pd工藝及鍍Pd鍵合Cu線性能,分析了熱處理溫度對直接鍍Pd鍵合Cu線鈀層界面結(jié)合強度、鍍Pd鍵合Cu線拉斷力、伸長率及鈀層厚度的影響。結(jié)果表明:無鹵直接鍍Pd工藝可獲得鍍層均勻的鍍Pd鍵合Cu線;隨熱處理溫度增加,鈀層結(jié)合強度增加,熱處理溫度300℃時,鍍層與基體結(jié)合強度較低;熱處理溫度450℃時,直接鍍Pd鍵合Cu線鈀層與基體Cu之間產(chǎn)生了Pd3Cu5金屬間化合物,鈀層與銅線基體結(jié)合強度較好;熱處理溫度450℃時,直接鍍鈀銅線具有優(yōu)良的力學性能適當?shù)拟Z層厚度,鍍Pd鍵合Cu線拉斷力為0.096 N,伸長率為14.3%,鈀層厚度為78 nm;熱處理溫度500℃時鍍Pd鍵合Cu線晶粒粗大,力學性能降低,拉斷力為0.073 N,伸長率為11.6%。
【作者單位】： 河南理工大學機械與動力工程學院;焦作大學化工與環(huán)境工程學院;
【關(guān)鍵詞】： 直接鍍鈀 熱處理 結(jié)合強度 Pd厚度 力學性能
【基金】：博士基金項目(60407/004)
【分類號】：TB306
【正文快照】： 鍵合銅線由于其成本低廉,在中低端電子產(chǎn)品(分立器件、TIP、SOP等封裝類型)中得到了廣泛的應用,但在高密度(QFN,QFP,BGA等封裝類型)及復雜連接上應用應用受到了限制,影響鍵合銅線廣泛應用的主要原因在于鍵合銅線本身存在常溫大氣條件下極易腐蝕(氧化)導致的鍵合銅線球焊可焊性

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 杭春進;田艷紅;王春青;趙九蓬;;細徑銅絲超聲鍵合焊點高溫存儲可靠性分析[J];焊接學報;2013年02期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 曹軍;范俊玲;高文斌;;鍵合Cu線無鹵直接鍍Pd工藝及性能研究[J];材料科學與工藝;2015年05期

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 姜威;常保華;都東;黃華;周運鴻;;引線鍵合中材料參數(shù)對硅基板應力狀態(tài)的影響[J];焊接學報;2012年03期

2 田艷紅;楊東升;王春青;;細銅絲超聲球焊燒球工藝參數(shù)優(yōu)化及銅球組織分析[J];焊接學報;2011年01期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 陳佩秀,鄭忠;低溫鍍鐵層結(jié)合強度的測試方法[J];材料保護;1983年01期

2 ;鍍層質(zhì)量的檢測方法(續(xù))[J];材料保護;1985年03期

3 張德勝;吳大興;;膜基結(jié)合強度的試驗與研究[J];大型鑄鍛件;1989年03期

4 胡季平,程發(fā)泉;鋁/玻璃鏡膜基結(jié)合強度的測試與研究[J];甘肅科學學報;1991年03期

5 儀潔;歐南發(fā);;低溫鍍鐵層結(jié)合強度的初步探討[J];北京農(nóng)業(yè)機械化學院學報;1982年Z1期

6 李詩卓,柴黎明;利用沖蝕法評價硬質(zhì)膜與底材結(jié)合強度的試驗研究[J];固體潤滑;1990年04期

7 廖義德,李壯云,唐國群;試件預埋法測試涂層剪切結(jié)合強度[J];機械工程材料;2003年06期

8 李健學;張玉梅;吳國鋒;憨勇;馬曉潔;;鈦微弧氧化表面處理對鈦瓷結(jié)合強度的影響[J];稀有金屬材料與工程;2008年03期

9 О.О.Моргунова;楊福英;;并帶膠乳膠絲結(jié)合強度的測定[J];橡膠譯叢;1985年02期

10 閻鵬勛，楊思澤，，陳熙琛;脈沖高能量密度等離子體沉積氮化鈦膜的結(jié)合強度[J];金屬學報;1994年23期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 徐蘊文;傅遠飛;徐侃;;二次鋼含量對金瓷結(jié)合強度的影響[A];第六次全國口腔修復學學術(shù)會議論文摘要匯編[C];2009年

2 何惠明;艾繩前;王寶成;施長溪;郭天文;;預氧化溫度對鈦-瓷結(jié)合強度的影響[A];中華口腔醫(yī)學會第三次全國口腔修復學術(shù)會議論文集[C];1997年

3 張玉梅;張若冰;劉亞京;;鈦表面微弧氧化處理后燒結(jié)參數(shù)對鈦瓷結(jié)合強度影響的研究[A];第六次全國口腔修復學學術(shù)會議論文摘要匯編[C];2009年

4 鄧斌;伊元夫;溫寧;侯康林;馬婷婷;;著色方法對牙科Y-TZP/飾面瓷雙層瓷結(jié)構(gòu)結(jié)合強度的影響[A];美麗人生 和諧世界——中華醫(yī)學會第七次全國醫(yī)學美學與美容學術(shù)年會、中華醫(yī)學會醫(yī)學美學與美容學分會20周年慶典暨第三屆兩岸四地美容醫(yī)學學術(shù)論壇論文匯編[C];2010年

5 艾繩前;何惠明;施長溪;郭天文;王寶成;;溶劑處理對鈦-瓷結(jié)合強度的影響[A];中華口腔醫(yī)學會第三次全國口腔修復學術(shù)會議論文集[C];1997年

6 王舒舒;章非敏;光寒冰;周淑;吳湘君;張文艷;張旭海;;不同氮分壓下磁控濺射的氮化鋯涂層對鈦瓷結(jié)合強度的影響[A];第六次全國口腔修復學學術(shù)會議論文摘要匯編[C];2009年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 韓志誠;提高紙板層間結(jié)合強度的新技術(shù)[N];中國包裝報;2004年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 張子川;純鈦表面制備復合納米薄膜對鈦瓷結(jié)合強度影響的研究[D];第四軍醫(yī)大學;2012年

2 王曉潔;GGW鈦粘結(jié)瓷的研制及鈦表面處理對鈦/瓷結(jié)合強度的影響[D];第四軍醫(yī)大學;2005年

3 朱松;鎳鉻合金表面陽極鈍化預處理對金瓷結(jié)合強度的影響[D];吉林大學;2006年

4 王國偉;純鈦表面磁控濺射氮硅鋯/二氧化鋯納米復合涂層對鈦瓷結(jié)合強度的影響及其生物學性能的研究[D];第四軍醫(yī)大學;2013年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王蘇娟;溶膠—凝膠法在純鈦表面鍍制氧化錫薄膜對鈦塑結(jié)合強度的影響[D];河北聯(lián)合大學;2014年

2 宮琪;不同表面處理方法對氧化鋯基底與飾面瓷結(jié)合強度的影響[D];山東大學;2015年

3 索巖玲;純鈦表面不同的理化處理對鈦—瓷結(jié)合強度的影響[D];山東大學;2015年

4 李健學;微弧氧化能量參數(shù)對鈦瓷結(jié)合強度影響的研究[D];第四軍醫(yī)大學;2007年

5 劉夢桃;金瓷混合涂層對鎳鉻合金基底烤瓷冠金瓷結(jié)合強度影響的研究[D];昆明醫(yī)學院;2004年

6 高婧;自制氧化鋁、氧化鋯玻璃陶瓷與飾瓷結(jié)合強度的研究[D];第四軍醫(yī)大學;2007年

7 顏玲玲;牙科常用非貴烤瓷合金金—瓷結(jié)合強度的研究[D];第四軍醫(yī)大學;2007年

8 祁韶鵬;微弧氧化電解液參數(shù)對鈦—瓷結(jié)合強度影響的研究[D];第四軍醫(yī)大學;2009年

9 孫晟宇;預氧化工藝對鈦瓷結(jié)合強度影響的實驗研究[D];第四軍醫(yī)大學;2009年

10 朱志超;預氧化工藝對鈷鉻烤瓷合金金—瓷結(jié)合強度影響的研究[D];廣西醫(yī)科大學;2010年

本文編號：830379