發(fā)布時間：2017-09-02 11:19

  本文關(guān)鍵詞：退火溫度對W-DLC薄膜結(jié)構(gòu)與摩擦學(xué)性能的影響

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【摘要】：采用矩形氣體離子源復(fù)合磁控濺射技術(shù)制備W摻雜的類金剛石薄膜,研究了大氣下室溫到500℃對薄膜結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性及摩擦學(xué)性能的影響。利用掃描電鏡、X射線衍射儀、拉曼光譜儀、三維表面輪廓儀分析了薄膜的微觀結(jié)構(gòu),采用摩擦磨損試驗儀分析了薄膜的摩擦學(xué)性能。結(jié)果表明,室溫下薄膜結(jié)構(gòu)致密,主要由非晶碳中彌散分布納米晶WC1-x相組成,薄膜具有良好的耐磨性能。當退火溫度達到300℃以上時薄膜發(fā)生了氧化,并發(fā)生石墨化轉(zhuǎn)變,磨損率增加。隨著退火溫度進一步升高,薄膜氧化嚴重,摩擦系數(shù)升高,耐磨性能降低,500℃時薄膜已完全失效。
【作者單位】： 華南理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;廣東省新材料研究所現(xiàn)代材料表面工程技術(shù)國家工程實驗室廣東省現(xiàn)代表面工程技術(shù)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： W摻雜的類金剛石薄膜 退火溫度 氧化 摩擦磨損
【基金】：廣東省科技計劃項目(No.2014B050503005;No.2013B091602002;No.2014B050502008;No.2014B070706026;No.2013B061800053) 廣東省科學(xué)院平臺建設(shè)項目(No.2016GDASPT-0206;No.2016GDASPT-0317)
【分類號】：TB383.2;TG156.2
【正文快照】： 類金剛石(DLC)薄膜由于具有優(yōu)良的性能,如硬度高、摩擦系數(shù)低以及耐磨性能優(yōu)異等,目前已被廣泛應(yīng)用于耐磨減摩領(lǐng)域[1-2]。DLC薄膜主要是以sp3雜化鍵和sp2雜化鍵混合的三維網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成的非晶態(tài)或非晶-納米晶復(fù)合結(jié)構(gòu)。在大氣下類金剛石膜結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,然而隨著溫度升高,其結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性變

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1 王玉華;韓春杰;阮玲慧;黃琴艷;吳建波;;退火溫度對銅納米顆粒復(fù)合材料的三階非線性光學(xué)性質(zhì)的影響[J];武漢科技大學(xué)學(xué)報;2010年03期

2 陳艷平;帥茂兵;鮮曉斌;吉祥波;謝東華;;退火溫度對聚氯代對二甲苯膜性能的影響[J];化工新型材料;2008年05期

3 吳桂芳,宋學(xué)萍,楊成浩,江兵,孫兆奇;退火溫度對硅基濺射銀膜微結(jié)構(gòu)和應(yīng)力的影響[J];功能材料;2003年06期

4 傅樹人;王海琳;譚群;費文昌;梁鋒;;退火溫度和時間對PET高卷速拉伸變形絲熔化與結(jié)晶行為的影響[J];化學(xué)通訊;1987年01期

5 薛鈺芝;管玉鑫;;退火溫度對化學(xué)水浴沉積CdS薄膜性能的影響[J];大連交通大學(xué)學(xué)報;2012年02期

6 雒向東;羅崇泰;;退火溫度對Cu膜微結(jié)構(gòu)與應(yīng)力的影響[J];桂林工學(xué)院學(xué)報;2009年03期

7 湯乃云,葉春暖,吳雪梅,諸葛蘭劍,俞躍輝,姚偉國;退火溫度對Ge-SiO_2薄膜結(jié)構(gòu)的影響[J];功能材料;2002年03期

8 勞振花;姜兆波;王殿生;;退火溫度對MgB_2超導(dǎo)薄膜的影響[J];青島大學(xué)學(xué)報(工程技術(shù)版);2007年04期

9 黃俊毅;范廣涵;章勇;;退火溫度對Ta摻雜ITO薄膜性能的影響[J];材料熱處理學(xué)報;2010年07期

10 李雪勇;崔麗玲;嚴欽云;;退火溫度對Al摻雜ZnO薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響[J];湖南工業(yè)大學(xué)學(xué)報;2011年05期

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1 班春燕;巴啟先;曾華林;曾桂儀;王宇波;;Fe_(72.5)Cu_1Nb_2V_2Si_(13.5)B_9合金的磁性及結(jié)構(gòu)隨退火溫度的變化[A];第四屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集[C];2001年

2 劉麗麗;賀淑莉;彭印;姜宏偉;;退火溫度對FePt薄膜結(jié)構(gòu)和磁性的影響[A];2006年全國功能材料學(xué)術(shù)年會專輯[C];2006年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 吳雄利;退火溫度對BENT薄膜鐵電性能和殘余應(yīng)力的影響[D];湘潭大學(xué);2011年

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本文編號：778245