CrN和CrSiN薄膜在不同介質(zhì)下的摩擦學(xué)性能
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【摘要】:采用中頻非平衡反應(yīng)磁控濺射法在單晶硅P(111)和不銹鋼(304SS)基材上制備CrN和CrSiN薄膜;利用球-盤式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)(CSM)考察2種薄膜在不同介質(zhì)(空氣、去離子水、質(zhì)量分?jǐn)?shù)3.5%NaCl溶液)中和WC/Co球?qū)δΦ哪Σ翆W(xué)性能。結(jié)果表明:大氣環(huán)境下,CrN與CrSiN薄膜的磨損機(jī)制主要是磨粒磨損;水潤(rùn)滑下,CrN薄膜主要因機(jī)械拋光作用,CrSiN薄膜主要因摩擦化學(xué)反應(yīng),使得摩擦因數(shù)減小;在3.5%NaCl溶液中CrN薄膜易被腐蝕,由于NaCl顆粒析出以及涂層接觸區(qū)域的腐蝕和磨損產(chǎn)物,作為第三體的潤(rùn)滑作用,導(dǎo)致摩擦磨損發(fā)生明顯變化,而CrSiN薄膜不易被腐蝕,主要因摩擦化學(xué)反應(yīng),使得摩擦磨損性能發(fā)生顯著變化。
【作者單位】: 上海航天設(shè)備制造總廠;中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所中國(guó)科學(xué)院海洋新材料與應(yīng)用技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室浙江省海洋材料與防護(hù)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院蘭州物理化學(xué)研究所;
【關(guān)鍵詞】: CrN薄膜 CrSiN薄膜 摩擦磨損 磁控濺射
【基金】:國(guó)防基礎(chǔ)科研重點(diǎn)項(xiàng)目(A0320132009)
【分類號(hào)】:TB306
【正文快照】: 材料的摩擦磨損性能不僅取決于本身的組織和性能,也與所處的工作環(huán)境密切相關(guān)[1-2]。在許多應(yīng)用領(lǐng)域,表面涂敷硬質(zhì)薄膜的零件可能長(zhǎng)時(shí)間或頻繁地浸泡、暴露于有腐蝕性介質(zhì)的工作環(huán)境中(例如含Cl-的腐蝕環(huán)境中),磨損往往與腐蝕并存,發(fā)生腐蝕磨損[3-4],因此,人們期望薄膜能夠?qū)?
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,本文編號(hào):755778
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