本文關(guān)鍵詞：類金剛石薄膜殘余應(yīng)力的研究進(jìn)展

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【摘要】：類金剛石薄膜由于存在很大的殘余應(yīng)力,在實際應(yīng)用中薄膜易產(chǎn)生裂紋、破裂甚至脫落。這些問題導(dǎo)致類金剛石薄膜在使用過程中過早失效。因此,緩解殘余應(yīng)力是類金剛石薄膜急需解決的問題和實際應(yīng)用的需要。介紹了類金剛石薄膜殘余應(yīng)力的產(chǎn)生,對國內(nèi)外調(diào)控殘余應(yīng)力的途徑以及研究進(jìn)展進(jìn)行綜述。使用有限元分析法模擬薄膜的殘余應(yīng)力可為類金剛石薄膜的制備和工藝設(shè)計提供參考。
【作者單位】： 河南工業(yè)大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： DLC薄膜 殘余應(yīng)力 有限元分析法
【基金】：河南省教育廳自然科學(xué)項目(15A430004)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 0引言類金剛石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜具有很多接近金剛石膜的優(yōu)異性能,如硬度高(最高可達(dá)70~110GPa)、摩擦系數(shù)低(0.1)、電阻率高(1012~1016Ω·cm)、熱導(dǎo)率高以及化學(xué)穩(wěn)定性好、耐高溫、耐腐蝕[1,2]。除此之外,DLC薄膜與金剛石薄膜相比沉積溫度低、沉積面積大、膜光

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本文編號：671019