本文關鍵詞：流化床-化學氣相沉積技術的應用及研究進展

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【摘要】：流化床-化學氣相沉積(FB-CVD)技術是一種多學科交叉的材料制備技術,兼有流化床傳熱傳質性能良好以及化學氣相沉積均勻、產物單一等優(yōu)點,在工業(yè)生產中有著廣泛的應用,但因其屬于交叉學科,散見于各種研究,沒有進行專門的進展評述。本文擬對FB-CVD的工業(yè)應用進行專題綜述,分析其發(fā)展和研究趨勢。首先探討了FB-CVD的基本原理,分別綜述了其在顆粒包覆、一維納米材料、多晶硅制備、顆粒表面改性及粉體制備等方面的應用,介紹了FB-CVD的過程模擬及反應器結構優(yōu)化方面的研究進展。通過以上討論,梳理了FB-CVD研究的科學內涵�？梢钥闯�,該過程具有明顯的多尺度特征,即材料制備的微觀層次、顆粒流化均勻性的介觀層次以及反應器結構設計的宏觀尺度。總結得出:FB-CVD技術的未來發(fā)展取決于3個尺度的耦合分析,其研究重點也應關注尺度間的相互影響效應,如材料制備的均相成核、非均相成核和顆粒流化及運動規(guī)律的相互耦合等。
【作者單位】： 清華大學核能與新能源技術研究院先進核能技術協(xié)同創(chuàng)新中心;
【關鍵詞】： 流化床-化學氣相沉積 材料制備 過程分析 多尺度耦合
【基金】：國家自然科學基金(21306097,51302148) 高等學校博士點專項科研基金(20121010010)項目
【分類號】：TB30;TQ051.13
【正文快照】： 流化床-化學氣相沉積(fluidized bed-chemicalvapor deposition,FB-CVD)技術屬于材料制備理論與化工科學進行學科交叉的典型研究范疇。流化床技術因其傳熱速度快、混合均勻等特性特別適用于多相共存的反應過程,在化工生產中得到了廣泛的應用[1-3]�；瘜W氣相沉積是近幾十年來發(fā)

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本文編號：537036