流化床-化學(xué)氣相沉積技術(shù)的應(yīng)用及研究進(jìn)展
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更多相關(guān)文章: 流化床-化學(xué)氣相沉積 材料制備 過(guò)程分析 多尺度耦合
【摘要】:流化床-化學(xué)氣相沉積(FB-CVD)技術(shù)是一種多學(xué)科交叉的材料制備技術(shù),兼有流化床傳熱傳質(zhì)性能良好以及化學(xué)氣相沉積均勻、產(chǎn)物單一等優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)生產(chǎn)中有著廣泛的應(yīng)用,但因其屬于交叉學(xué)科,散見(jiàn)于各種研究,沒(méi)有進(jìn)行專(zhuān)門(mén)的進(jìn)展評(píng)述。本文擬對(duì)FB-CVD的工業(yè)應(yīng)用進(jìn)行專(zhuān)題綜述,分析其發(fā)展和研究趨勢(shì)。首先探討了FB-CVD的基本原理,分別綜述了其在顆粒包覆、一維納米材料、多晶硅制備、顆粒表面改性及粉體制備等方面的應(yīng)用,介紹了FB-CVD的過(guò)程模擬及反應(yīng)器結(jié)構(gòu)優(yōu)化方面的研究進(jìn)展。通過(guò)以上討論,梳理了FB-CVD研究的科學(xué)內(nèi)涵?梢钥闯,該過(guò)程具有明顯的多尺度特征,即材料制備的微觀層次、顆粒流化均勻性的介觀層次以及反應(yīng)器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的宏觀尺度?偨Y(jié)得出:FB-CVD技術(shù)的未來(lái)發(fā)展取決于3個(gè)尺度的耦合分析,其研究重點(diǎn)也應(yīng)關(guān)注尺度間的相互影響效應(yīng),如材料制備的均相成核、非均相成核和顆粒流化及運(yùn)動(dòng)規(guī)律的相互耦合等。
【作者單位】: 清華大學(xué)核能與新能源技術(shù)研究院先進(jìn)核能技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新中心;
【關(guān)鍵詞】: 流化床-化學(xué)氣相沉積 材料制備 過(guò)程分析 多尺度耦合
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金(21306097,51302148) 高等學(xué)校博士點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)科研基金(20121010010)項(xiàng)目
【分類(lèi)號(hào)】:TB30;TQ051.13
【正文快照】: 流化床-化學(xué)氣相沉積(fluidized bed-chemicalvapor deposition,FB-CVD)技術(shù)屬于材料制備理論與化工科學(xué)進(jìn)行學(xué)科交叉的典型研究范疇。流化床技術(shù)因其傳熱速度快、混合均勻等特性特別適用于多相共存的反應(yīng)過(guò)程,在化工生產(chǎn)中得到了廣泛的應(yīng)用[1-3];瘜W(xué)氣相沉積是近幾十年來(lái)發(fā)
【相似文獻(xiàn)】
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,本文編號(hào):537036
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