本文關(guān)鍵詞：蓬勃發(fā)展的微納米加工前沿技術(shù)——激光微納制備，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：正微納結(jié)構(gòu)化材料是指在功能材料中引入微納米尺度結(jié)構(gòu),以提升功能材料性能和拓展其新功能.功能結(jié)構(gòu)的微納米化不僅意味著能源與原材料的節(jié)省,而且?guī)矶喙δ艿母叨燃珊蜕a(chǎn)成本的大大降低.實(shí)現(xiàn)材料微納結(jié)構(gòu)化的基礎(chǔ)是先進(jìn)的微納米加工技術(shù),從晶體管到集成電路,從微電子到微機(jī)械與微流體,從微米技術(shù)到納米技術(shù),微納米加工技術(shù)獲得
【作者單位】： 吉林大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院集成光電子學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 微納米;微米技術(shù);前沿技術(shù);納米技術(shù);加工技術(shù);材料性能;微流體;微機(jī)械;功能材料;尺度結(jié)構(gòu);
【分類號】：TB383.1;TN249
【正文快照】： 微納結(jié)構(gòu)化材料是指在功能材料中引入微納米尺度結(jié)構(gòu),以提升功能材料性能和拓展其新功能.功能結(jié)構(gòu)的微納米化不僅意味著能源與原材料的節(jié)省,而且?guī)矶喙δ艿母叨燃珊蜕a(chǎn)成本的大大降低.實(shí)現(xiàn)材料微納結(jié)構(gòu)化的基礎(chǔ)是先進(jìn)的微納米加工技術(shù),從晶體管到集成電路,從微電子到微機(jī)

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10 王正直;辜萍;楊

本文編號：443459