貴金屬-氧化鋅核殼顆粒的氣敏傳感機制探究與摻雜改性研究
【文章頁數(shù)】:135 頁
【學(xué)位級別】:博士
【部分圖文】:
圖1.1電阻型氣敏傳感器的分類??Fig.?1.1?The?classification?of?the?semiconductor?gas?sensors??
通過測定傳感器件的電阻變化與所處的氣氛中目標(biāo)氣體含量的關(guān)系,來獲取目標(biāo)??氣體的信息。電阻型氣敏傳感器是當(dāng)下應(yīng)用最為廣泛、研宄最多、最成熟的一種??氣敏傳感器,按照測試方式和傳感器件結(jié)構(gòu)可以分為不同的類型,如圖1.1所示。????f—|?surface-control?type?....
圖1.3?Cdlii204氣相薄膜型氣敏傳感器的測試示意圖Ml??..1421??
在測試過程中容易出現(xiàn)濃度不準(zhǔn)確的現(xiàn)象,不利于測試低濃度目標(biāo)氣體。??An?deitrwdes??圖1.2燒結(jié)型氣敏傳感器的測試電路示意圖(a)及傳感器件結(jié)構(gòu)圖(b)?Ml??Fig.?1.2?The?theoretical?diagram?of?the?test?circuit?....
圖1.2燒結(jié)型氣敏傳感器的測試電路示意圖(a)及傳感器件結(jié)構(gòu)圖(b)?Ml??
???I ̄??圖1.3?Cdlii204氣相薄膜型氣敏傳感器的測試示意圖Ml??Fig.?1.3?Schematic?diagram?of?testing?principle?for?CdIn2〇4?thin?film?gas?sensing?device1421??7??
圖1.5通過紅外分析(IR)、程序升溫脫附法(TPD)和電子順磁共振(EPR)分析得到??的,不同溫度下在Sn02表面上的氧離子的不同存在形式^??
(b)?5二?Rum??圖1.6?n型半導(dǎo)體氧化物的氣敏反應(yīng)機理示意圖(a)以及等效電路(b)?W??Fig.?1.6?Gas-sensing?mechanism?and?equivalent?circuit?of?n-type?oxide?semiconductors1471?....
本文編號:3983202
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