本實驗利用AlN為原料,針對低溫燒結(jié)溫度范圍750-850℃選擇CaO-Al₂O₃-B₂O₃-SiO₂-CaF2(CABSF)和CaO-Al₂O₃-B₂O₃-SiO₂(CABS)兩種鋁硼硅酸鹽玻璃為燒結(jié)助劑,進行Al N/玻璃復合材料的低溫燒結(jié)及性能研究。采用真空燒結(jié)法系統(tǒng)研究玻璃含量、AlN粒徑、燒結(jié)溫度、Al₂O₃添加劑對燒結(jié)致密行為的影響,分析了復合材料的介電性能和熱學性能變化,并初步探討了AlN/玻璃復合材料的燒結(jié)機理。研究內(nèi)容及結(jié)果如下:(1)以CABSF玻璃為燒結(jié)助劑,低溫燒結(jié)制備CABSF/AlN復合材料。研究了燒結(jié)溫度、CABSF玻璃添加量、AlN粒徑大小對CABSF/AlN復合材料的低溫燒結(jié)影響:在真空條件下800℃燒結(jié),CABSF玻璃/AlN復合材料中CABSF添加60wt%時燒結(jié)最為致密;CABSF添加量...

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【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 低溫共燒陶瓷技術(shù)概述
        1.1.1 低溫共燒陶瓷技術(shù)的定義
        1.1.2 低溫共燒陶瓷技術(shù)的特點
        1.1.3 低溫共燒陶瓷技術(shù)的應(yīng)用
        1.1.4 低溫共燒陶瓷基板材料的分類
        1.1.5 低溫共燒陶瓷的制備要求
    1.2 AlN陶瓷的概述
        1.2.1 AlN陶瓷的發(fā)展
        1.2.2 AlN陶瓷的結(jié)構(gòu)與性能
        1.2.3 AlN陶瓷應(yīng)用
        1.2.4 玻璃/AlN基板材料的研究進展
        1.2.5 AlN低溫燒結(jié)研究存在的問題及研究重點
    1.3 選題的意義及研究內(nèi)容
        1.3.1 選題的意義
        1.3.2 研究內(nèi)容
第二章 實驗方案及測試分析
    2.1 實驗原料及主要設(shè)備
        2.1.1 實驗原料
        2.1.2 主要設(shè)備
    2.2 樣品制備
        2.2.1 低熔點鋁硅酸鹽玻璃的制備
        2.2.2 鋁硼硅酸鹽玻璃/AlN復合材料的制備
        2.2.3 樣品熱處理工藝
        2.2.4 復合材料的低溫燒結(jié)
        2.2.5 測試樣品的處理工藝
    2.3 樣品的結(jié)構(gòu)和性能測試分析
        2.3.1 差熱分析
        2.3.2 X衍射分析
        2.3.3 形貌觀察
        2.3.4 樣品密度和氣孔率測試
        2.3.5 樣品收縮率測試
        2.3.6 樣品介電性能測試
        2.3.7 樣品熱導率測試
        2.3.8 樣品熱膨脹系數(shù)測試
第三章 鋁硼硅酸鹽玻璃/AlN復合材料的結(jié)構(gòu)與性能
    3.1 CABSF玻璃/AlN復合材料的低溫燒結(jié)研究
        3.1.1 氮化鋁和玻璃粉體的性能表征
        3.1.2 不同燒結(jié)溫度和CABSF玻璃/AlN粉比例對復合材料的低溫燒結(jié)影響
        3.1.3 不同粒徑氮化鋁對CABSF玻璃/AlN復合材料的低溫燒結(jié)影響
    3.2 CABS玻璃/AlN復合材料的低溫燒結(jié)研究
        3.2.1 CABS玻璃粉體的性能表征
        3.2.2 CABS玻璃/AlN粉比例對CABS玻璃/AlN復合材料的低溫燒結(jié)影響
    3.3 鋁硼硅酸鹽玻璃/AlN復合材料的性能研究
        3.3.1 介電性能分析
        3.3.2 熱學性能分析
    3.4 小結(jié)
第四章 AlN預(yù)處理和Al₂O₃添加對鋁硼硅酸鹽玻璃/AlN的致密化影響研究
    4.1 引言
    4.2 AlN氧化處理對玻璃/AlN復合材料的燒結(jié)特性影響
    4.3 添加Al₂O₃對CABSF玻璃/AlN復合材料的燒結(jié)致密化影響
        4.3.1 密度和氣孔率分析
        4.3.2 致密度分析
        4.3.3 收縮率分析
        4.3.4 物相分析
        4.3.5 微觀結(jié)構(gòu)分析
        4.3.6 介電性能分析
    4.4 添加Al₂O₃對CABS玻璃/AlN復合材料的燒結(jié)致密化影響
        4.4.1 密度和氣孔率分析
        4.4.2 收縮率分析
        4.4.3 物相分析
        4.4.4 微觀結(jié)構(gòu)分析
        4.4.5 介電性能分析
    4.5 玻璃/AlN復合材料的低溫燒結(jié)機理研究
第五章 結(jié)論
致謝
參考文獻
個人簡歷、在學期間發(fā)表的學術(shù)論文及取得的研究成果



本文編號：3818018