具有大尺度無(wú)缺陷垂直孔道的介孔二氧化硅薄膜在生物材料、電化學(xué)和光學(xué)傳感器中具有重要應(yīng)用價(jià)值。本文采用電化學(xué)輔助自組裝（EASA）工藝制備大面積（5×5 cm~2）孔道垂直定向的介孔二氧化硅薄膜,利用循環(huán)伏安曲線（CV）,掃描電子顯微鏡（SEM）、原子力顯微鏡（AFM）、高分辨透射電子顯微鏡（HRTEM）、二維掠入射小角X射線散射（2D-GISAXS）等手段對(duì)薄膜滲透性、表面宏觀形貌,及介孔孔道的結(jié)構(gòu)等進(jìn)行了表征,并通過(guò)同步輻射反射率計(jì)測(cè)試了該薄膜在極紫外波段的光學(xué)性能。結(jié)果表明,采用EASA法在大面積基底上成功制備出了具有垂直取向孔道且滲透性良好的介孔二氧化硅薄膜,其孔徑和晶胞參數(shù)大小分別為2.83 nm和4.1 nm,且其在極紫外波段（5～11 nm）的反射率最高可達(dá)75%。 

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【文章目錄】：
0 引 言
1 實(shí) 驗(yàn)
    1.1 實(shí)驗(yàn)原料
    1.2 實(shí)驗(yàn)過(guò)程
    1.3 分析測(cè)試
2 結(jié)果與討論
    2.1 薄膜滲透性表征
    2.2 薄膜的形貌及結(jié)構(gòu)表征
        2.2.1 薄膜的掃描電子顯微鏡與原子力顯微鏡觀察
        2.2.2 薄膜的透射電子顯微鏡與二維掠入射小角X射線散射分析
    2.3 薄膜反射光譜
3 結(jié) 論



本文編號(hào)：3694342