目的研究鐵電效應(yīng)對(duì)鉭酸鋰加工的潛在影響。方法選用3000^#的金剛石粉料制作的金剛石丸片,將其固結(jié)在設(shè)計(jì)的夾具中制成一種新型固結(jié)磨盤,并與游離磨料研磨加工結(jié)果進(jìn)行比較,然后采用恒溫水浴裝置將冷卻液溫度控制在低溫狀態(tài),并添加電解質(zhì)溶液,以材料去除率、表面形貌及粗糙度作為指標(biāo),進(jìn)一步分析鐵電效應(yīng)對(duì)固結(jié)磨盤加工鉭酸鋰的結(jié)果影響。結(jié)果游離磨料加工10 min后,鉭酸鋰晶片表面粗糙度Sa從初始的419.112 nm降至232.319 nm,材料去除率MRR為36.78μm/h,晶片表層存在磨粒嵌入、大量凹坑及深劃痕等缺陷,且研磨過程中易破損。同樣的加工條件下,固結(jié)磨盤研磨鉭酸鋰晶片的表面粗糙度Sa從419.112 nm降到97.004 nm,材料去除率MRR為57.19μm/h,相對(duì)于游離磨料加工結(jié)果,晶片表面磨粒嵌入情況極少,劃痕深度變淺、凹坑數(shù)量減小,表面更光滑。在冷卻液溫度為5℃并添加0.5%（體積分?jǐn)?shù)）的電解質(zhì)溶液時(shí),使用固結(jié)磨盤研磨10 min后,表面粗糙度Sa進(jìn)一步下降到37.943 nm,材料去除率為58.75μm/h。材料表面無磨粒嵌入,無較深溝槽和凹坑,僅存... 

【文章來源】：表面技術(shù). 2020,49(10)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：9 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
[1]基于固結(jié)磨料盤的鉭酸鋰高效研磨加工技術(shù)研究[D]. 張韜杰.浙江工業(yè)大學(xué) 2019
[2]光電子材料鉭酸鋰晶片化學(xué)機(jī)械拋光過程研究[D]. 杜宏偉.廣東工業(yè)大學(xué) 2004



本文編號(hào)：3619037