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SiO 2 /Si襯底上熱化學(xué)氣相沉積法直接生長石墨烯

發(fā)布時間:2022-01-27 23:33
  采用化學(xué)氣相沉積法,以Si O2/Si為襯底、鎳膜為催化層,研究不同催化層厚度對石墨烯生長的影響。選擇拉曼光譜,透射電子顯微鏡等手段對石墨烯的層數(shù)和質(zhì)量進行表征。結(jié)果表明,隨著Ni膜厚度的增加,石墨烯的缺陷減小,而且層數(shù)也減少,當Ni膜厚度為300 nm時,可以在Si O2/Si基板上獲得高質(zhì)量的單層石墨烯。 

【文章來源】:材料熱處理學(xué)報. 2016,37(01)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】:4 頁

【文章目錄】:
1 實驗材料及方法
2 結(jié)果與討論
3 結(jié)論



本文編號:3613278

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