<正>目前普遍用于外延薄膜生長(zhǎng)的物理氣相沉積技術(shù)在復(fù)雜氧化物外延薄膜制備工藝,存在工藝探索周期長(zhǎng)、生長(zhǎng)窗口窄、參數(shù)穩(wěn)定性低等困難。為此,中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院李江宇教授課題組,發(fā)展了適用于（1-x）BiTi（1-y）/2FeyMg（1-y）/2O3-（x）CaTiO3 （BTFM-CTO）體系室溫多鐵固溶體的溶液法大面積外延薄膜制備工藝。該工作充分體現(xiàn)了溶膠凝膠法簡(jiǎn)單快速、成本低廉、成分調(diào)控均勻靈活等特點(diǎn),在復(fù)雜氧化物外延薄膜研究及應(yīng)用 

【文章來源】：潤滑與密封. 2020,45(03)北大核心CSCD

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本文編號(hào)：3537632