發(fā)布時間：2021-12-16 06:11

　　<正>目前普遍用于外延薄膜生長的物理氣相沉積技術在復雜氧化物外延薄膜制備工藝,存在工藝探索周期長、生長窗口窄、參數穩(wěn)定性低等困難。為此,中國科學院深圳先進技術研究院李江宇教授課題組,發(fā)展了適用于（1-x）BiTi（1-y）/2FeyMg（1-y）/2O3-（x）CaTiO3 （BTFM-CTO）體系室溫多鐵固溶體的溶液法大面積外延薄膜制備工藝。該工作充分體現了溶膠凝膠法簡單快速、成本低廉、成分調控均勻靈活等特點,在復雜氧化物外延薄膜研究及應用 

【文章來源】：潤滑與密封. 2020,45(03)北大核心CSCD

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本文編號：3537632