(BNT)是目前研究者比較熱衷的一種鐵電材料。因?yàn)槠溆休^大的剩余極化值,良好的抗疲勞特性,無Pb,被廣泛應(yīng)用于非揮發(fā)性鐵電隨機(jī)存儲器的制造。LaNiO3 （LNO）導(dǎo)電氧化物有著和BNT薄膜鈣鈦礦結(jié)構(gòu)非常相似的贗鈣鈦礦結(jié)構(gòu),能與BNT鐵電薄膜實(shí)現(xiàn)匹配生長。導(dǎo)電性能又好,將LNO薄膜作為底電極有著廣闊的空間。BNT鐵電薄膜的熱處理工藝,底電極的選擇等對其鐵電性能、抗疲勞性能、漏電流性能影響很大,本文將以BNT鐵電薄膜和LNO導(dǎo)電氧化電極為研究對象,研究和探討了熱處理工藝,摻雜等對Au/BNT/LNO/Si （100）結(jié)構(gòu)薄膜結(jié)晶情況,表面形貌,鐵電性能,抗疲勞性能,漏電流密度的影響,并比較了以LNO為底電極和以Pt為底電極時BNT鐵電薄膜性能的優(yōu)劣。論文的探討的內(nèi)容及結(jié)果有以下幾點(diǎn)：（1）以Ni（CH3COO）2·4H2O、La（NO3）3 · 6H2O為原材料,CH3COOH為溶劑,采用Sol-Gel工藝能成功制備出性能穩(wěn)定的LaNiO3溶膠。在Si（100）襯底上采用旋轉(zhuǎn)涂膜的方法來制備LNO導(dǎo)電氧化物薄膜,構(gòu)成LNO/Si （100）結(jié)構(gòu)。分別分析了不同熱處理溫度,不同熱處理時間對... 

【文章來源】：廣西大學(xué)廣西壯族自治區(qū) 211工程院校

【文章頁數(shù)】：78 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第1章 緒論
    1.1 鐵電材料及其基本特性
    1.2 鐵電材料的類別
    1.3 鐵電薄膜材料的發(fā)展現(xiàn)狀及應(yīng)用
        1.3.1 鐵電薄膜材料的發(fā)展現(xiàn)狀
        1.3.2 鐵電薄膜材料的應(yīng)用
    1.4 BIT薄膜的改性研究
    1.5 鐵電薄膜的重要性能及機(jī)理
    1.6 LNO電極的研究進(jìn)展
    1.7 鈣鈦礦薄膜的制備方法
    1.8 本課題研究的內(nèi)容及意義
        1.8.1 本課題的依據(jù)及意義
        1.8.2 本課題研究的內(nèi)容
第2章 薄膜樣品的制備工藝、性能的測試及表征
    2.1 實(shí)驗(yàn)材料
    2.2 實(shí)驗(yàn)設(shè)備
    2.3 Sol-Gel法制備薄膜的工藝
        2.3.1 襯底的清洗工藝
        2.3.2 LaNiO_3薄膜的制備工藝
        2.3.3 Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)鐵電薄膜的制備工藝
    2.4 LNO導(dǎo)電氧化物薄膜和BNT鐵電薄膜的表征方法
        2.4.1 薄膜的微觀結(jié)構(gòu)表征
        2.4.2 薄膜的電性能表征
第3章 Sol-Gel法制備LNO薄膜結(jié)果與分析
    3.1 不同退火溫度對LNO薄膜晶體結(jié)構(gòu)和電阻率的影響
        3.1.1 LNO薄膜結(jié)晶性能分析
        3.1.2 LNO薄膜電阻率分析
    3.2 不同退火時間對LNO薄膜晶體結(jié)構(gòu)和電阻率的影響
        3.2.1 對LNO薄膜結(jié)晶性能的影響
        3.2.2 對LNO薄膜電阻率的影響
    3.3 LNO薄膜的表面形貌和粗糙度分析
    3.4 本章小結(jié)
第4章 Sol-Gel法制備BNT/LNO/Si(100)鐵電薄膜的結(jié)果與分析
    4.1 退火溫度對BNT/LNO/Si結(jié)構(gòu)鐵電薄膜性能的影響
        4.1.1 對晶體結(jié)構(gòu)的影響
        4.1.2 對表面形貌和粗糙度的影響
        4.1.3 對鐵電性能的影響
        4.1.4 對漏電流的影響
        4.1.5 對抗疲勞性能的影響
    4.2 退火方式對BNT/LNO/Si結(jié)構(gòu)鐵電薄膜性能的影響
        4.2.1 對晶體結(jié)構(gòu)的影響
        4.2.2 對表面形貌的影響
        4.2.3 對電學(xué)性能的影響
    4.3 BNT/Pt/Si(100)電容結(jié)構(gòu)與BNT/LNO/Si(100)電容結(jié)構(gòu)性能分析
        4.3.1 襯底Pt/Si(100)的制備
        4.3.2 BNT/Pt/Si(100)與BNT/LNO/Si(100)結(jié)構(gòu)鐵電薄膜結(jié)晶性能分析
        4.3.3 BNT/Pt/Si(100)與BNT/LNO/Si(100)結(jié)構(gòu)鐵電薄膜表面形貌分析
        4.3.4 BNT/Pt/Si(100)與BNT/LNO/Si(100)結(jié)構(gòu)鐵電薄膜鐵電性能分析
        4.3.5 BNT/Pt/Si(100)與BNT/LNO/Si(100)結(jié)構(gòu)鐵電薄膜抗疲勞性能分析
        4.3.6 BNT/Pt/Si(100)與BNT/LNO/Si(100)結(jié)構(gòu)鐵電薄膜漏電流特性分析
    4.4 本章小結(jié)
第5章 Ni摻雜對Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)鐵電薄膜電性能的影響
    5.1 Ni摻雜Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)鐵電薄膜的制備
        5.1.1 Ni摻雜Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)溶膠的制備
        5.1.2 BNN_xT鐵電薄膜的制備
    5.2 Ni摻雜Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)鐵電薄膜的結(jié)構(gòu)及性能分析
        5.2.1 不同Ni含量對BNN_xT/LNO/Si(100)薄膜結(jié)構(gòu)的影響
        5.2.2 不同Ni含量對BNN_xT/LNO/Si(100)薄膜表面形貌的影響
        5.2.3 不同Ni含量對BNN_xT/LNO/Si(100)薄膜鐵電性能的影響
        5.2.4 不同Ni含量對BNN_xT/LNO/Si(100)薄膜漏電流的影響
        5.2.5 不同Ni含量對BNN_xT/LNO/Si(100)薄膜疲勞性能的影響
    5.3 本章小結(jié)
第6章 結(jié)論
參考文獻(xiàn)
致謝
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表論文情況


【參考文獻(xiàn)】：
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碩士論文
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本文編號：3504816