磁控濺射MoS₂薄膜被廣泛應用于空間飛行器活動部件,但目前關于低能質(zhì)子輻照對磁控濺射MoS₂薄膜微觀組織結構的影響機制的研究相對較少。本文分別借助掃描電子顯微鏡（SEM）、X射線衍射儀（XRD）、X射線光電子能譜儀（XPS）、透射電子顯微鏡（TEM）等多種手段對低能質(zhì)子輻照后磁控濺射MoS₂薄膜的微觀組織結構進行分析;利用輪廓儀和銷盤式摩擦磨損試驗機對輻照前后薄膜的粗糙度以及摩擦磨損性能進行測試。研究結果表明,經(jīng)質(zhì)子輻照后,磁控濺射MoS₂薄膜內(nèi)會產(chǎn)大量的缺陷,隨著輻照注量的增大MoS₂薄膜內(nèi)晶體結構的有序化程度逐漸降低,產(chǎn)生大量空位和位移等缺陷,而這些缺陷在輻照作用下傾向于發(fā)生團聚,使晶格發(fā)生畸變發(fā)生層片卷曲收縮形成的納米微球;同時,質(zhì)子輻照除了對MoS₂薄膜內(nèi)部的組織結構產(chǎn)生較大的影響以外,同時也會產(chǎn)生較強的濺射作用,隨著輻照注量的增大濺射程度也略有增大,使得輻照前后MoS₂表面粗糙度產(chǎn)生較大變化。經(jīng)質(zhì)子輻照后,摩擦學性能出現(xiàn)了規(guī)... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：64 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

不同晶體結構MoS2的示意圖

MoS2晶體的滑移面

富勒烯結構MoS2生長機理示意圖

【參考文獻】：
期刊論文
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博士論文
[1]2Cr13鋼滲氮層在真空干滑動與脂潤滑條件下摩擦學行為[D]. 楊劍群.哈爾濱工業(yè)大學 2010



本文編號：3393744