隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展與社會(huì)的進(jìn)步,高性能氣體傳感器越來越多地用于空氣質(zhì)量測試、工業(yè)生產(chǎn)安全以及非侵入性疾病診斷中。基于金屬氧化物半導(dǎo)體（MOS）的氣體傳感器以其低成本、易于制造和高靈敏度優(yōu)勢成為傳感器領(lǐng)域的熱點(diǎn)。敏感材料是氣體傳感器的核心,研究制備高性能敏感材料是提升氣體傳感器氣敏性能的主要措施之一。本論文以發(fā)展高性能氣體傳感器為目的,利用多種簡便易行的方法合成了一系列具有獨(dú)特形貌和優(yōu)異氣敏性能的MOSs材料,并對(duì)所制備的納米材料進(jìn)行表面修飾來優(yōu)化氣敏性能。主要成果包括:（1）通過水熱法合成了多種形貌的敏感材料,包括W₁₈O₄₉納米線、W₁₈O₄₉納米空心球、SnO₂納米微球和ZnO納米棒。良好的形貌和獨(dú)特的結(jié)構(gòu)使其具有較大的比表面積和較高的電子遷移率,使它們對(duì)三乙胺（TEA）、丙酮和正丁醇等揮發(fā)性有機(jī)化合物表現(xiàn)出良好的選擇性。通過犧牲模板法制備了多孔SnO₂薄膜,實(shí)現(xiàn)了室溫下對(duì)TEA的高性能檢測。通過原子層沉積制備了超薄SnO₂薄膜,... 

【文章來源】：青島大學(xué)山東省

【文章頁數(shù)】：114 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

氣體傳感器的主要工作參數(shù)

青島大學(xué)碩士學(xué)位論文4瓷管型氣體傳感器，它主要是由氧化鋁陶瓷管、金電極、鉑導(dǎo)線、鎳-鉻加熱絲以及表面涂覆的敏感材料組成，如圖1.2b所示[8]。其中與敏感材料直接接觸的金電極是事先印制到陶瓷管表面的，外接四根鉑導(dǎo)線作為測量電極用于連接測試設(shè)備。敏感材料后涂覆于表面：取適量制備好的敏感材料放置在瑪瑙研缽中滴加適量去離子水研磨分散成漿糊狀，用毛筆均勻地將敏感材料涂滿陶瓷管表面上，然后將鎳-鉻加熱絲從陶瓷管中穿過作為加熱電極。最后，把這六根引線按順序分別焊接在傳感器底座上，就得到了可以測試的旁熱式氣體傳感器。這種傳感器巧妙地避免了加熱電極和測試電極之間相互接觸造成干擾，而且成本較低，但存在一個(gè)缺點(diǎn)就是人為涂覆的敏感材料厚薄不一，均勻性難以控制，結(jié)果就會(huì)造成傳感器表現(xiàn)出一致性差和功耗高等問題。圖1.2（a）陶瓷板型氣體傳感器，（b）陶瓷管型氣體傳感器圖1.3（a）煒盛WS-30A傳感器測試設(shè)備，（b）測試用氣體傳感器，（c-e）敏感元件的SEM圖。

青島大學(xué)碩士學(xué)位論文4瓷管型氣體傳感器，它主要是由氧化鋁陶瓷管、金電極、鉑導(dǎo)線、鎳-鉻加熱絲以及表面涂覆的敏感材料組成，如圖1.2b所示[8]。其中與敏感材料直接接觸的金電極是事先印制到陶瓷管表面的，外接四根鉑導(dǎo)線作為測量電極用于連接測試設(shè)備。敏感材料后涂覆于表面：取適量制備好的敏感材料放置在瑪瑙研缽中滴加適量去離子水研磨分散成漿糊狀，用毛筆均勻地將敏感材料涂滿陶瓷管表面上，然后將鎳-鉻加熱絲從陶瓷管中穿過作為加熱電極。最后，把這六根引線按順序分別焊接在傳感器底座上，就得到了可以測試的旁熱式氣體傳感器。這種傳感器巧妙地避免了加熱電極和測試電極之間相互接觸造成干擾，而且成本較低，但存在一個(gè)缺點(diǎn)就是人為涂覆的敏感材料厚薄不一，均勻性難以控制，結(jié)果就會(huì)造成傳感器表現(xiàn)出一致性差和功耗高等問題。圖1.2（a）陶瓷板型氣體傳感器，（b）陶瓷管型氣體傳感器圖1.3（a）煒盛WS-30A傳感器測試設(shè)備，（b）測試用氣體傳感器，（c-e）敏感元件的SEM圖。


本文編號(hào)：3302033