應(yīng)變傳感器在生產(chǎn)、生活、科學(xué)研究的各個(gè)領(lǐng)域中都有重要的應(yīng)用,隨著社會(huì)的發(fā)展和科技的進(jìn)步,人們對(duì)成本更低、功耗更小、靈敏度更高、穩(wěn)定性更強(qiáng)的傳感器產(chǎn)生了更強(qiáng)的需求。近年來(lái),納米技術(shù)與納米技術(shù)的發(fā)展,制備出更輕更薄、體積更小、可以彎折適用于可穿戴設(shè)備的柔性應(yīng)變傳感器已成為可能。本文通過(guò)在鍍有銀叉指電極的PET薄膜表面,沉積鈀納子密集點(diǎn)陣來(lái)制備柔性的應(yīng)變傳感器。這種傳感器對(duì)PET薄膜襯底的形變的響應(yīng)是通過(guò)納米粒子點(diǎn)陣的整體電導(dǎo)的改變而體現(xiàn)的,在應(yīng)變測(cè)量中同時(shí)具備高靈敏度和大量程。本文著重探討了納米粒子點(diǎn)陣參數(shù)對(duì)所制備傳感器的應(yīng)變響應(yīng)特性的影響。研究表明,鈀納米粒子密集點(diǎn)陣應(yīng)變傳感器對(duì)應(yīng)變的響應(yīng)特性很大程度上受納米粒子覆蓋率的影響。在達(dá)到滲流閾值之后,納米粒子覆蓋率越低的樣品,量規(guī)系數(shù)越大;在施加中度應(yīng)變（0.1%至0.3%）時(shí),應(yīng)變傳感器保持基本固定的量規(guī)系數(shù),電阻對(duì)于所施加應(yīng)變的響應(yīng)是線性的。對(duì)于低覆蓋率的樣品,即使在施加最小應(yīng)變時(shí),傳感器樣品依然維持著較高的量規(guī)系數(shù)。當(dāng)所施加的應(yīng)變大于0.3%時(shí),應(yīng)變傳感器展現(xiàn)出量規(guī)系數(shù)進(jìn)一步增大的特性。通過(guò)控制納米粒子的沉積過(guò)程,我們制得了一種擁有接近... 

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【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．２用于醫(yī)護(hù)應(yīng)用的大面積柔性應(yīng)變傳感器陣列??

對(duì)于新型柔性應(yīng)變傳感器的研宄大多著眼于提高靈敏度，擴(kuò)大測(cè)量范圍，??簡(jiǎn)化信號(hào)處理過(guò)程，降低制造成本和簡(jiǎn)化制造方法。采用新的納米材料和納米技??術(shù)在某種程度上可以達(dá)到這個(gè)目的［１８－２０］。圖１．２所示為可用于醫(yī)護(hù)應(yīng)用的柔性??傳感器，它彌補(bǔ)了高性能傳感器（硅應(yīng)變傳感器）剛性和平面狀的缺點(diǎn)，可以良??好的貼合皮膚，實(shí)時(shí)檢測(cè)患者的心率、呼吸、血壓、體溫等數(shù)據(jù)。??Ｆｌｅｘｉｂｌｅ，?ｗｅａｒａｂｌｅ?ｓｅｎｓｏｒ??圖１．２用于醫(yī)護(hù)應(yīng)用的大面積柔性應(yīng)變傳感器陣列??目前有很多采用了對(duì)壓力敏感的納米結(jié)構(gòu)制備的應(yīng)變傳感器，包括使用納米??線［２１，?２２］、納米管［２３－２５］、石墨烯［２６－２８］、納米薄膜［２９－３１］以及納米多晶硅薄膜??晶體管［３２］。其微觀結(jié)構(gòu)如圖１．３中所示。它們都表現(xiàn)了基于其納米結(jié)構(gòu)的優(yōu)異的??應(yīng)變傳感特性。??４??

?的靜電能，下一個(gè)電子要到達(dá)此納米??粒子，就必須克服Ｅｃ，即外加的電壓需增加Ｕｆ．＝ｅ／（２Ｃ）才能滿促條件，該過(guò)程??中電流電壓變化如圖１．４中所示。??個(gè)??＾ＲＣ－??２＊’ｒｃ＿??＾２０?＊２＊＾２Ｃ?＂＊’２Ｃ?Ｉ：??—１—１—｜—！—ｉ—ｆ—？????，２Ｃ?？２Ｃ?？２Ｃ?Ｕ??＿％Ｃ??－２８／ｒｃ??圖１．４理想單電子隧穿過(guò)程的ＩＶ曲線??這種情況下，電子不能像在金屬大塊材料中那樣進(jìn)行經(jīng)典的歐姆輸運(yùn)，而是??以單電子傳輸?shù)姆绞揭粋�(gè)一個(gè)輸運(yùn)。利用單電子隧穿和庫(kù)倫阻塞效應(yīng)，可以構(gòu)成??單電子晶體管和量子開(kāi)關(guān)［３３，?３４］，對(duì)新一代微電子器件有著重要的意義。??但是需要注意的是，庫(kù)侖阻塞的發(fā)生必須滿足兩個(gè)前提條件［３５，?３６］：?（１）熱??漲落的影響要小，即溫度要足夠低，電容要足夠小，才能能讓匕發(fā)揮關(guān)鍵作用；??（２）量子漲落能要小，滿足＝ｅ２／２Ｃ?，即隨穿勢(shì)壘的電阻值Ｒｔ？要遠(yuǎn)??大于量子電阻值。??６??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]開(kāi)發(fā)新型合金材料的新工藝——機(jī)械合金化法[J]. 梅本富,吳炳堯.  材料科學(xué)與工程. 1992(04)



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