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聚酰亞胺復(fù)合材料在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用研究

發(fā)布時間:2021-01-09 17:55
  聚酰亞胺作為一種超高性能工程塑料,在微電子領(lǐng)域起著十分重要的作用。文章就聚酰亞胺材料在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用,從聚酰亞胺的性能、國內(nèi)外主要生產(chǎn)廠家和代表性產(chǎn)品以及在微電子領(lǐng)域的典型應(yīng)用等方面進(jìn)行了闡述,著重介紹了聚酰亞胺復(fù)合材料的研究進(jìn)展,并就微電子領(lǐng)域中聚酰亞胺材料的發(fā)展方向進(jìn)行了展望。 

【文章來源】:塑料科技. 2020,48(06)北大核心

【文章頁數(shù)】:4 頁

【部分圖文】:

聚酰亞胺復(fù)合材料在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用研究


各類塑料的性能對比@Ee

示意圖,聚酰亞胺,典型結(jié)構(gòu),示意圖


作為目前微電子領(lǐng)域應(yīng)用的關(guān)鍵性材料,聚酰亞胺(PI)是一種分子結(jié)構(gòu)中含有環(huán)狀酰亞胺基團(tuán)(—CO—NH—CO—)的芳雜環(huán)高分子化合物,主鏈以芳環(huán)和雜環(huán)為主要結(jié)構(gòu)單元[2],是一種性能優(yōu)異的特種工程塑料。聚酰亞胺典型結(jié)構(gòu)如圖1所示。聚酰亞胺按化學(xué)組成可分為芳香族聚酰亞胺和脂肪族聚酰亞胺[3],按加工特性可分為熱塑性聚酰亞胺和熱固性聚酰亞胺[4]。聚酰亞胺在很寬的溫度范圍內(nèi)(-269~400℃)具有優(yōu)異的耐熱性、耐低溫性、耐化學(xué)腐蝕性、耐輻射性、絕緣性能、介電性能、阻燃性能和力學(xué)性能,以及較低的熱膨脹系數(shù)和無毒環(huán)境友好性[5],處于材料金字塔的頂端(各類塑料的性能對比如圖2所示),是目前實際應(yīng)用中耐高溫的高分子材料,廣泛應(yīng)用于航空航天、軍事、軌道交通、微電子、燃源電力、機(jī)械、消防、汽車、新能源、液晶顯示等領(lǐng)域[6],被認(rèn)為是制約高技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸性關(guān)鍵高分材料之一。隨著航空航天、微電子液晶等行業(yè)的不斷發(fā)展,對聚酰亞胺的需求量也將不斷增加。圖2 各類塑料的性能對比@Ee

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]微電子技術(shù)的現(xiàn)狀及其發(fā)展趨勢[J]. 黃勁風(fēng).  電子世界. 2019(05)
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[5]可溶性透明聚酰亞胺研究進(jìn)展[J]. 顏善銀,陳文求,楊小進(jìn),陳川,徐祖順,易昌鳳.  合成技術(shù)及應(yīng)用. 2009(02)
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博士論文
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[3]聚酰亞胺取向納米復(fù)合膜的制備、結(jié)構(gòu)與性能研究[D]. 陳丹.復(fù)旦大學(xué) 2012
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碩士論文
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[2]涂層與聚酰亞胺基體界面粘附及增強(qiáng)機(jī)制研究[D]. 田曉娟.煙臺大學(xué) 2019
[3]低溫固化聚酰亞胺樹脂的研究[D]. 仝浩.長春理工大學(xué) 2014
[4]晶圓制造過程中光敏型聚酰亞胺的應(yīng)用及制程改良[D]. 花海常.復(fù)旦大學(xué) 2008
[5]熱塑性聚酰亞胺及其改性材料的熱性能研究[D]. 來育梅.南京工業(yè)大學(xué) 2006



本文編號:2967129

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