高壓鈉燈作為一種高性能的電光源,它具有發(fā)光效率高、耗電少和透霧能力強等優(yōu)點,因此被廣泛應用于各類照明場所。但其關鍵部件Al₂O₃透明陶瓷的透光率較低,限制了高壓鈉燈的光效和使用壽命。增透膜是一種能夠有效減少基底表面反射、增加光線透過的薄膜,如果將其鍍制在透明陶瓷上,可以增加陶瓷的透光率,進一步提升高壓鈉燈的光學性能,具有重要的經濟意義和社會意義。在眾多的增透膜材料中,由于ZnO薄膜是一種寬帶隙的半導體材料,在可見光波段內有較高的透過率,具有良好的熱穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性,且制備工藝簡單,適合工業(yè)化生產,因此是Al₂O₃透明陶瓷增透膜的理想材料。本文以制備高透光率的ZnO薄膜為主要目的,研究了多孔ZnO薄膜、Cr摻雜ZnO薄膜的制備及其相應的作用機理,主要的研究內容如下:利用溶膠凝膠法制備了不同濃度的均勻穩(wěn)定的ZnO溶膠,并在Al₂O₃透明陶瓷基底上提拉鍍制了多孔薄膜。研究發(fā)現(xiàn),在相同的成孔劑作用下,通過調節(jié)ZnO的溶膠濃度,可以改變薄膜中晶粒的生長取向和表面的... 

【文章來源】：江蘇大學江蘇省

【文章頁數】：79 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

增透膜的增透原理圖

投射到增透膜上，除了會發(fā)生反射光的干涉相消外，，如圖 1.2 所示。入射光 a 在進入薄膜時，會發(fā)生折薄膜-基底界面時會再次發(fā)生折射和反射，最終獲得線在 C 點產生半波損失但在 B 點卻沒有半波損失，疏介質上發(fā)生的。透射光 b1是入射光線 b 在經過薄在半波損失。因此，兩束透射光的光程差可表示為[1 = 2 214( )代入上式可得： =λ，則滿足透射光干涉相長的 = 2 2 = 0,1,2, 當器件上鍍制的薄膜滿足上式中的條件時，將會發(fā)生涉增強現(xiàn)象，從而可以提高薄膜的透光率，提升器件的

積法(Physical vapor deposition)、化學氣相沉積法(Chemic和溶膠凝膠法（Sol-gel method）等[15-18]。物理氣相沉積法相沉積法是利用濺射或蒸發(fā)等物理方法，將成膜物質在靶源處后粒子在透過真空的空間后逐漸沉積在基底上而形成薄膜鍍層目前，根據對成膜物質蒸發(fā)方式的不同，物理氣相沉積法主要、真空蒸鍍成膜和離子鍍膜等。下面對這些成膜方法進行詳細射：在真空的環(huán)境下，將氬氣通入反應室，并在濺射靶和基片的電場，隨著反應室兩端的電極的不斷變換，氬氣與震蕩的電獲得等離子體。接著，在磁場的洛倫茲力作用下，等離子體以向電極，并連續(xù)轟擊目標。最后，靶材原子受到離子的影響，在基體表面，形成薄膜。圖 1.3 為磁控濺射成膜的原理圖。

【參考文獻】：
期刊論文
[1]乳液模板法構筑聚合物表面有序多孔膜及孔結構功能化[J]. 梁靜,張桂蘭,王更新,李豹,吳立新.  科學通報. 2017(06)
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[7]PEG對SiO2溶膠-凝膠中顆粒度分布和孔結構的影響[J]. 湯加苗,朱從善,夏海平,范文浩,吳東,孫予罕.  材料研究學報. 1998(01)

博士論文
[1]摻雜ZnO薄膜的結構、表面形貌及光學性能的研究[D]. 房東玉.天津大學 2014

碩士論文
[1]溶膠—凝膠法制備ZnO納米薄膜的摻雜研究[D]. 李高增.山東大學 2013
[2]多孔二氧化硅材料的制備與表征[D]. 杜平.蘭州理工大學 2011



本文編號：2933848