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高溫下Mn對(duì)SiC/Cu界面反應(yīng)和無壓熔滲的影響

發(fā)布時(shí)間:2020-12-07 08:13
  研究了SiC/Mn二元體系反應(yīng)和SiC/Cu/Mn三元體系反應(yīng)。評(píng)價(jià)了利用無壓熔滲工藝構(gòu)建SiC/Cu復(fù)合材料的可能性及其利弊。通過XRD和SEM分析,研究了反應(yīng)過程中的生成物相及其微觀形貌。結(jié)果表明:Mn和SiC在N2中發(fā)生反應(yīng),在SiC表面生成了MnSiN2。SiC的分解隨溫度的升高而加劇。在1250℃生成的Si3N4和石墨C的量很少,而隨溫度升至1350℃而大幅增加。SiC/Cu/Mn三元體系在1250℃N2氣氛中反應(yīng)相組成除SiC和Cu外,主要為MnSiN2和少量Si3N4、Cu3Si以及石墨C。當(dāng)溫度升高至1350℃時(shí),SiC分解嚴(yán)重,Si3N4和石墨C大幅增加。純Cu粉在Mn助滲劑作用下在1350℃實(shí)現(xiàn)對(duì)SiC骨架的無壓熔滲。 

【文章來源】:熱加工工藝. 2016年12期 第99-101頁 北大核心

【文章頁數(shù)】:3 頁

【部分圖文】:

高溫下Mn對(duì)SiC/Cu界面反應(yīng)和無壓熔滲的影響


圖1?SiC/Mn和SiC/Cu/Mn試樣在乂氣氛中不同溫度下反應(yīng)后的XRD圖??Fig.?1?XRD?patterns?of?SiC/?

照片,氣氛,試樣,照片


《熱加工工藝》2016年6月第45卷第12期??圖2?SiC/Mn和SiC/Cu/Mn試樣在N2氣氛中不同溫度下反應(yīng)后的SEM照片??Fig.2?SEM?images?of?SiC/Mn?and?SiC/Cu/Mn?samples?reacted?at?different?temperatures?in?N2??SiC保持原有SiC顆粒形狀。圖2(d)中1350°Cxlh?譜?煽闯,試樣的主要成分是Cu、SiC、Si3N4、Cu3Si、C??試樣的SiC嚴(yán)重分解,生成物MnSiN2和Si3N4較?和Cu20。SiC峰較強(qiáng),此時(shí)試樣中SiC分解較為輕微,??多,比1250°Cxlh試樣反應(yīng)更加充分。?與金相圖中觀察到的SiC現(xiàn)象一致。Cu衍射峰較強(qiáng),此??2.2純Cu粉無壓熔滲SiC骨架?時(shí)試樣中Cu含量較多,且結(jié)晶度較高,現(xiàn)了較明顯的??圖3是純Cu粉在1350°Cxlh熔滲試樣的金相?3講4和(:113&的峰,說明SiC分解成游離Si會(huì)在乂氣??照片。可看出,利用本文設(shè)計(jì)的工藝方法,純Cu粉?氛中反應(yīng)生成Si3N4和Cu3Si。少量Cu20的出現(xiàn)是SiC??在Mn助滲劑的作用下實(shí)現(xiàn)了對(duì)SiC骨架的無壓熔?預(yù)氧化后表面存在的5丨02氧化膜與Cu反應(yīng)生成。此結(jié)??滲。還可看出,SiC顆粒明顯且數(shù)量很多,分布均勻,?果與SiC/Cu/Mn三元體系的研究結(jié)果相一致。??但也有SiC顆粒脫落的痕跡,說明純Cu粉熔滲試??樣中sic顆粒與基體金屬的界面結(jié)合強(qiáng)度較低。圖?j??3中SiC顆粒大小接近原始顆粒,說明此時(shí)SiC顆?(1)?Mn促使SiC反應(yīng)分解,在較低溫度生成??粒的分解量較少。圖中出現(xiàn)較大的黑色孔洞,是因?yàn)?MnSiN

金相,Cu粉,金相,試樣


《熱加工工藝》2016年6月第45卷第12期??圖2?SiC/Mn和SiC/Cu/Mn試樣在N2氣氛中不同溫度下反應(yīng)后的SEM照片??Fig.2?SEM?images?of?SiC/Mn?and?SiC/Cu/Mn?samples?reacted?at?different?temperatures?in?N2??SiC保持原有SiC顆粒形狀。圖2(d)中1350°Cxlh?譜?煽闯,試樣的主要成分是Cu、SiC、Si3N4、Cu3Si、C??試樣的SiC嚴(yán)重分解,生成物MnSiN2和Si3N4較?和Cu20。SiC峰較強(qiáng),此時(shí)試樣中SiC分解較為輕微,??多,比1250°Cxlh試樣反應(yīng)更加充分。?與金相圖中觀察到的SiC現(xiàn)象一致。Cu衍射峰較強(qiáng),此??2.2純Cu粉無壓熔滲SiC骨架?時(shí)試樣中Cu含量較多,且結(jié)晶度較高,現(xiàn)了較明顯的??圖3是純Cu粉在1350°Cxlh熔滲試樣的金相?3講4和(:113&的峰,說明SiC分解成游離Si會(huì)在乂氣??照片?煽闯,利用本文設(shè)計(jì)的工藝方法,純Cu粉?氛中反應(yīng)生成Si3N4和Cu3Si。少量Cu20的出現(xiàn)是SiC??在Mn助滲劑的作用下實(shí)現(xiàn)了對(duì)SiC骨架的無壓熔?預(yù)氧化后表面存在的5丨02氧化膜與Cu反應(yīng)生成。此結(jié)??滲。還可看出,SiC顆粒明顯且數(shù)量很多,分布均勻,?果與SiC/Cu/Mn三元體系的研究結(jié)果相一致。??但也有SiC顆粒脫落的痕跡,說明純Cu粉熔滲試??樣中sic顆粒與基體金屬的界面結(jié)合強(qiáng)度較低。圖?j??3中SiC顆粒大小接近原始顆粒,說明此時(shí)SiC顆?(1)?Mn促使SiC反應(yīng)分解,在較低溫度生成??粒的分解量較少。圖中出現(xiàn)較大的黑色孔洞,是因?yàn)?MnSiN

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]高體積分?jǐn)?shù)β-SiCP/Cu復(fù)合材料的制備及性能研究[J]. 唐麗麗,單琳,丁佩嶺,胡明.  熱加工工藝. 2015(08)
[2]SiC_p/Cu電子封裝材料研究進(jìn)展[J]. 劉猛,李順,白書欣,趙恂,熊德贛.  材料導(dǎo)報(bào). 2013(19)
[3]金屬基復(fù)合材料的現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)[J]. 張荻,張國(guó)定,李志強(qiáng).  中國(guó)材料進(jìn)展. 2010(04)
[4]銅基封裝材料的研究進(jìn)展[J]. 蔡輝,王亞平,宋曉平,丁秉鈞.  材料導(dǎo)報(bào). 2009(15)
[5]金屬基電子封裝復(fù)合材料的研究現(xiàn)狀及發(fā)展[J]. 喻學(xué)斌,吳人潔,張國(guó)定.  材料導(dǎo)報(bào). 1994(03)

碩士論文
[1]無壓滲透法制備SiCp/Cu復(fù)合材料[D]. 張小明.南昌大學(xué) 2008



本文編號(hào):2902931

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