【摘要】：固態(tài)微納通道,是指孔徑小于幾個(gè)微米的三維孔,當(dāng)孔徑小于100納米時(shí)又被稱為納通道。固態(tài)微納通道用于基因測(cè)序,被認(rèn)為是快速測(cè)序方法中最具競(jìng)爭(zhēng)力的一種方式。課題以固態(tài)微納通道器件為研究對(duì)象,研究三維玻璃毛細(xì)管微納通道工業(yè)化生產(chǎn)的制造方法和工藝,研究其在生物和醫(yī)藥工程領(lǐng)域中的應(yīng)用價(jià)值。本文以玻璃基微納通道的工業(yè)化制造為研究對(duì)象,針對(duì)玻璃毛細(xì)管拉伸過(guò)程中出現(xiàn)的孔內(nèi)徑堵塞的現(xiàn)象,提出對(duì)玻璃基微納通道的切割方法,制造孔徑小于1μm的玻璃基微納通道,以及探索其在微液滴生成領(lǐng)域的應(yīng)用。具體工作如下:首先研究了玻璃基毛細(xì)管微納通道拉制過(guò)程,針對(duì)微納通道出現(xiàn)堵塞的現(xiàn)象,對(duì)前人的基于激光加熱的毛細(xì)管拉伸裝置提出改進(jìn),拉制出尖端堵塞的玻璃基毛細(xì)管且尖端未堵塞區(qū)域的內(nèi)徑小于1μm;其次利用振子的彎振為毛細(xì)管尖端提供位移載荷使其發(fā)生斷裂,制造出微納通道;然后分析了三維玻璃微納米孔尖端斷裂的機(jī)理,為玻璃管尖端切割裝置的設(shè)計(jì)提供技術(shù)參數(shù)和理論可行性分析;搭建測(cè)試電路,對(duì)微納通道的檢測(cè)方法開(kāi)展研究,研究尖端內(nèi)徑與尖端內(nèi)阻值的關(guān)系;最后,在此基礎(chǔ)上建立了微液滴生成裝置,探索玻璃基微納通道在微液滴生成領(lǐng)域的應(yīng)用價(jià)值。該裝置可使液滴克服粘性力落下并且落在可控的范圍內(nèi),生成微米級(jí)尺寸的微液滴。
【圖文】：

圖 1.1 SiN 薄膜芯片制造流程 圖 1.2 SiN 納米孔制作流程一種是利用刻蝕的方法得到納米孔[27]，其原理如圖 1.3 所示。在 5 英寸的 n 型硅晶0.3μm 厚的 Si3N4刻蝕層。通過(guò)光電化學(xué)腐蝕的方法在晶圓上形成孔陣列。不同的蝕出不同的孔形。其中，KOH 溶液能腐蝕出倒金字塔型的納米孔，如題 1.4(a)所

圖 1.1 SiN 薄膜芯片制造流程 圖 1.2 SiN 納米孔制作流程一種是利用刻蝕的方法得到納米孔[27]，其原理如圖 1.3 所示。在 5 英寸的 n 型硅晶0.3μm 厚的 Si3N4刻蝕層。通過(guò)光電化學(xué)腐蝕的方法在晶圓上形成孔陣列。不同的蝕出不同的孔形。其中，，KOH 溶液能腐蝕出倒金字塔型的納米孔，如題 1.4(a)所
【學(xué)位授予單位】：南京航空航天大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2018
【分類號(hào)】：TB383.1

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2691878