高溫熱生長氧化鋁相變機理研究
【圖文】:
圖1821逡逑Figure邋1.1邋Schematic邋diagram邋of邋thermal邋growth邋of邋alumina邋film1821.逡逑2逡逑
5邋6邋6.5邋7邋7,5邋8邋8-5邋9邋9.5邋10邋10,,5逡逑reciprocal邋terrperatire邋[104/^]逡逑圖1.2邋NiAl氧化的阿侖尼烏斯圖1191逡逑Figure邋1.2邋Arrhenius邋plot邋of邋the邋parabolic邋rate邋constants邋kp邋of邋NiAl邋oxidation119'.逡逑類似的,G.邋C.邋Rybicki邋和邋J.邋L.邋Smialek[17]研宄邋NiAl邋(0.05at.%Zr)的氧化時逡逑(圖1.3)發(fā)現(xiàn)e-到a-Al203的轉(zhuǎn)變過程將顯著影響NiAl氧化鋁膜生長動力學。逡逑NiAl邋(0.05at.%Zr)氧化初期的拋物線速率常數(shù)比穩(wěn)定階段的拋物線速率常數(shù)高逡逑了兩個數(shù)量級。也就意味著a-Al203的熱生長速率相對于0-Al2O3的熱生長速率降逡逑低了兩個數(shù)量級。并且通過180同位素最終分析表明,e-Ai2o3膜的熱生長是以逡逑A1陽離子向外擴散為主,而a-Al203膜的熱生長是以O陰離子向內(nèi)擴散為主。這逡逑些氧化鋁膜形成合金在低于1200°C氧化時,氧化初期將會優(yōu)先生長亞穩(wěn)態(tài)氧化逡逑鋁膜。亞穩(wěn)態(tài)氧化鋁的生長速度比a-Al203的生長速度快。亞穩(wěn)態(tài)氧化鋁之所以逡逑具有較高的氧化速率也是歸咎于他們不同的晶體結(jié)構。Y立方晶體,0單斜晶體,逡逑5四方或正交晶體相對于01-八1203的密排六方結(jié)構,他們的堆垛較為疏松,A1離逡逑子和0離子在其中的擴散相對較為容易。不同的氧化速率也造成了氧化鋁膜的逡逑不同形貌:a-Al203膜是一個致密的氧化層,而亞穩(wěn)態(tài)氧化鋁則傾向于形成針狀逡逑結(jié)構。逡逑4逡
【學位授予單位】:中國科學技術大學
【學位級別】:博士
【學位授予年份】:2019
【分類號】:TQ133.1;TB383.2
【相似文獻】
相關期刊論文 前10條
1 周玉重;;證明鋁表面上有氧化鋁薄膜的實驗[J];化學通報;1956年01期
2 李德貴;陳千律;;陽極氧化法制備透明氧化鋁薄膜的研究[J];廣州化工;2014年07期
3 馮利邦;強小虎;張紅霞;葉姣鳳;王子龍;;超疏水性氧化鋁薄膜的制備與防粘附行為[J];材料熱處理學報;2013年05期
4 趙登濤,朱炎,狄國慶;反應RF磁控濺射法制備氧化鋁薄膜及其介電損耗[J];真空科學與技術;2000年04期
5 ;飯鍋的學問[J];健身科學;2009年06期
6 任雪潭;劉艷春;侯來廣;周瑞龍;;溶膠-凝膠法制備氧化鋁薄膜[J];陶瓷;2013年02期
7 廖國進;巴德純;聞立時;劉斯明;閻紹峰;;氧化鋁薄膜在發(fā)光方面的研究進展[J];材料導報;2006年05期
8 桑利軍;張躍飛;陳強;李興存;;電子回旋共振等離子體輔助脈沖式沉積氧化鋁薄膜的研究[J];真空科學與技術學報;2010年03期
9 黃志榮;李攀瑜;;常壓下用金屬有機化學氣相沉積法在HP40鋼表面制備納米氧化鋁薄膜及表征[J];機械工程材料;2011年07期
10 魏海英;郭紅革;秦瑩瑩;周美麗;陳強;;大氣壓介質(zhì)阻擋放電等離子體輔助原子層沉積氧化鋁阻隔膜[J];材料導報;2018年S2期
相關會議論文 前10條
1 石濤;郭興忠;楊輝;;溶膠凝膠法制備透明氧化鋁薄膜及光學性能(英文)[A];中國硅酸鹽學會特種玻璃分會第三屆全國特種玻璃會議論文集[C];2007年
2 趙元鑫;桑利軍;劉忠偉;;熱原子層沉積與等離子體輔助原子層沉積氧化鋁薄膜的比較[A];第十屆全國表面工程大會暨第六屆全國青年表面工程論壇論文摘要集(一)[C];2014年
3 廖國進;巴德純;聞立時;閻紹峰;;氧化鋁薄膜在發(fā)光方面的研究進展[A];2005'全國真空冶金與表面工程學術會議論文集[C];2005年
4 趙小寧;吳俊輝;鄒建平;朱健民;鮑希茂;馮端;;硅基多孔氧化鋁薄膜微結(jié)構的TEM研究[A];第十一次全國電子顯微學會議論文集[C];2000年
5 趙元鑫;桑利軍;劉忠偉;;熱原子層沉積與等離子體輔助原子層沉積氧化鋁薄膜的比較[A];第十屆全國表面工程大會暨第六屆全國青年表面工程論壇論文集(二)[C];2014年
6 彌謙;王昆;劉哲;;直流磁過濾電弧源沉積氧化鋁薄膜的研究[A];中國真空學會2012學術年會論文摘要集[C];2012年
7 濮林;朱健民;吳俊輝;鄒建平;周舜華;鮑希茂;李齊;馮端;;硅基多孔氧化鋁薄膜的解理斷裂特性[A];第十一次全國電子顯微學會議論文集[C];2000年
8 桑利軍;張躍飛;陳強;李興存;;ECR等離子體沉積原子層氧化鋁薄膜的研究[A];第十四屆全國等離子體科學技術會議暨第五屆中國電推進技術學術研討會會議摘要集[C];2009年
9 石亞平;吳宜勇;高燕;;空間用聚酰亞胺表面連續(xù)離子層吸附反應法制備氧化鋁薄膜[A];2011中國材料研討會論文摘要集[C];2011年
10 牟宗信;王振偉;牟曉東;劉升光;;氧化鋁薄膜的中頻脈沖直流磁控濺射沉積和反應毒化現(xiàn)象分析[A];第十四屆全國等離子體科學技術會議暨第五屆中國電推進技術學術研討會會議摘要集[C];2009年
相關博士學位論文 前1條
1 黃淵超;高溫熱生長氧化鋁相變機理研究[D];中國科學技術大學;2019年
相關碩士學位論文 前10條
1 劉宇;原子層沉積氮氧化鋁薄膜及其阻變特性研究[D];廈門大學;2017年
2 夏雯雯;氧化鋁薄膜的溶膠凝膠制備及晶體管應用[D];山東大學;2018年
3 李國棟;納米摻碳氧化鋁薄膜輻射導致的發(fā)光特性的研究[D];新疆大學;2015年
4 全曉彤;MOCVD法制備氧化鋁薄膜及其阻變特性[D];大連理工大學;2015年
5 孫捷;化學液相淀積法制備氧化鋁薄膜[D];大連理工大學;2003年
6 劉哲;電弧源制備氧化鋁薄膜的工藝研究[D];西安工業(yè)大學;2012年
7 李臘;基于氧化鋁薄膜的阻變存儲器特性與亞能帶傳輸機理研究[D];大連理工大學;2016年
8 武剛;酸處理與表面鍍膜對玻璃力學與光學性能的影響[D];武漢理工大學;2014年
9 陳彩洪;直流反應濺射制備氧化鋁薄膜及其遲滯現(xiàn)象研究[D];東北大學;2011年
10 李艷影;氧化鋁薄膜原子層沉積制備及其介電性能研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2017年
本文編號:2673791
本文鏈接:http://sikaile.net/kejilunwen/cailiaohuaxuelunwen/2673791.html