面向生物傳感的管狀多級結(jié)構(gòu)金屬微納米馬達的研究
【圖文】:
1-1(A)普通 A4 紙在外力作用下卷曲成為管狀結(jié)構(gòu); (B)納米薄膜在內(nèi)應(yīng)力作用下卷成為管狀結(jié)構(gòu)。008 年時候,梅永豐等人使用聚合物作為犧牲層,發(fā)展出了一套成熟的卷曲納米薄膜技術(shù),術(shù)制備出了基于管狀結(jié)構(gòu)的微型馬達(微型噴氣發(fā)動機)[19]。這些結(jié)構(gòu)基于預(yù)應(yīng)力納米薄,[9]從而能夠以確定性的方式制造管狀結(jié)構(gòu),同時這些材料在設(shè)計和組成方面顯示出非凡。原則上,任何類型只要是可以進行光刻的襯底(圖 1-2A)都適用于該技術(shù)。具體過程為牲層上預(yù)設(shè)圖案之后,再以一定的傾斜角度來蒸發(fā)源材料,沉積在擁有犧牲層的基底上形同時產(chǎn)生沒有材料沉積的陰影部分。該部分提供了用于提供犧牲層的選擇性蝕刻的間隙。由含有壓縮應(yīng)變(黃色,圖 1-2B)的第一沉積層和具有拉伸應(yīng)變(藍色,圖 1-2B)的上層部應(yīng)變的差異組成。蝕刻犧牲層釋放多個功能層且允許晶格重新排列,由此上層收縮同時發(fā)生卷曲(圖 1-2B)。當然,我們可以通過調(diào)整沉積角度,厚度和溫度等參數(shù)來制備直徑 1mm 至 30mm 的 MNMs[20]。如圖 1-2C 所示,多個功能層可以構(gòu)成卷起的 MNMs,并且還其他的犧牲層來形成緊湊的管狀器件,這些管狀器件能夠?qū)⒉煌墓δ芗傻絾蝹 MNM水溶性犧牲層的使用是一項值得在未來被深入研究的方向,例如微生物與生物分子的功能
曲納米技術(shù)制備卷曲 MNMs 的原理圖。 A)在基板預(yù)設(shè)圖案化的犧牲層,然屬,,這為確定性卷曲創(chuàng)造了一個預(yù)設(shè)方向[31]。B)卷曲納米技術(shù)制備的雙層卷C)卷曲納米技術(shù)制備的多層卷曲 MNMs[33,34]。D)固定在基底上的氧化物 M的方法,可以很輕易地在犧牲層上將無機納米薄膜卷曲為管狀結(jié)構(gòu)。需要注氣相沉積(PVD)工藝來說,兩個參數(shù)對微米管的形成最為關(guān)鍵,第一個是是材料的沉積速率。改變材料的沉積速率會直接影響材料的管狀直徑,進而里,微米管的直徑能夠很輕易地被納米薄膜的厚度以及薄膜沉積過程的參數(shù)進米馬達卷曲技術(shù)的應(yīng)用薄膜自卷曲技術(shù)制備獲得的MNMs因其簡便的制備方法以及優(yōu)秀的物理化學學、生物學等領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。這種 MNMs 從外界獲取能量,實現(xiàn)了自然界中的生物運動。近幾年卷曲微 MNMs 應(yīng)用于化學[35,36]、生物醫(yī)藥[37]、獲得了顯著的研究成果。[40]
【學位授予單位】:東南大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2018
【分類號】:TB383.1
【相似文獻】
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