【摘要】：采用閉合場非平衡磁控濺射離子鍍(CFUMSIP)技術(shù)在M2工具鋼和Si片表面沉積CrN和CrMoN梯度涂層,利用SEM、EDS、XRD、納米壓痕儀和摩擦磨損試驗儀研究了薄膜組織、成分、相結(jié)構(gòu)、硬度和摩擦磨損性能。結(jié)果表明,CrMoN涂層和CrN涂層呈現(xiàn)出fcc結(jié)構(gòu),CrMoN涂層的表面比CrN涂層更為緊湊致密。CrMoN涂層的納米硬度和彈性模量高于CrN涂層,CrMoN涂層的摩擦系數(shù)和磨損率均小于CrN涂層。
[Abstract]:CrN and CrMoN gradient coatings were deposited on M2 tool steel and Si by using closed field unbalanced magnetron sputtering ion plating (CFUMSIP) technique. The microstructure, composition and phase structure of the films were investigated by SEM,EDS,XRD, nano-indentation instrument and friction and wear tester. Hardness and friction and wear properties. The results show that the CrMoN coating and CrN coating exhibit fcc structure, the surface of CrMoN coating is more compact than that of CrN coating, the nano-hardness and modulus of elasticity of CrMoN coating are higher than that of CrN coating, and the friction coefficient and wear rate of CrMoN coating are lower than that of CrN coating.
【作者單位】： 衢州職業(yè)技術(shù)學(xué)院機電工程學(xué)院;浙江工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【基金】：浙江省自然科學(xué)基金資助項目(Y15E050060)
【分類號】：TB306

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：2357460