【摘要】：將碳納米管有效地集成到微納器件上實現(xiàn)組裝是碳納米管在眾多領(lǐng)域得以應用的先決條件,組裝后較高的接觸電阻成為影響碳納米管器件性能的重要因素,為了降低碳納米管與電極之間的接觸電阻,采用高溫退火法對組裝后的碳納米管進行處理.首先,通過介電電泳法組裝碳納米管;其次,利用正交試驗設(shè)計和方差分析研究高溫退火過程中退火溫度、保溫時間和升溫速率對降低碳納米管接觸電阻的影響,并獲得了降低接觸電阻的最優(yōu)參數(shù)組合;最后,對退火前后碳納米管的I-V特性進行測量、分析.結(jié)果表明:高溫退火可以簡單、高效地降低碳納米管的接觸電阻,退火溫度是影響降阻效果的主要因素,退火處理后接觸電阻的下降幅度最高可達91.59%,組裝的碳納米管退火前后的I-V特性曲線均呈現(xiàn)良好的線性.
[Abstract]:The effective integration of carbon nanotubes into micro / nano devices is a prerequisite for the application of carbon nanotubes in many fields. The high contact resistance after assembly has become an important factor affecting the performance of carbon nanotubes devices. In order to reduce the contact resistance between carbon nanotubes and electrodes, the assembled carbon nanotubes were treated by high temperature annealing. Firstly, carbon nanotubes were assembled by dielectric electrophoresis. Secondly, the effects of annealing temperature, holding time and heating rate on the reduction of contact resistance of carbon nanotubes during high temperature annealing were studied by orthogonal test design and variance analysis, and the optimal parameter combination of reducing contact resistance was obtained. Finally, I-V characteristics of carbon nanotubes before and after annealing were measured and analyzed. The results show that high temperature annealing can reduce the contact resistance of carbon nanotubes easily and efficiently. The annealing temperature is the main factor that affects the resistance reduction. The maximum decrease of contact resistance can reach 91.59 after annealing. The I-V characteristic curves of the assembled CNTs show good linearity before and after annealing.
【作者單位】： 華北理工大學機械工程學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51172062,51472074) 河北省“百人計劃”資助項目(E2012100005)
【分類號】：O613.71;TB383.1

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本文編號：2319365