本文選題：黑硅 + 減反射　； 參考：《功能材料》2017年01期

【摘要】：采用一步銀銅雙原子金屬輔助化學(xué)腐蝕(MACE)法,于室溫下在多晶硅表面制備納米陷光結(jié)構(gòu),研究了腐蝕時(shí)間及銀銅摩爾比對多晶硅表面反射率和形貌的影響。用分光光度計(jì)測量了多晶硅表面的反射率,用掃描電鏡觀察了表面形貌。發(fā)現(xiàn)銀銅雙原子MACE法所形成的結(jié)構(gòu)比銀單原子或銅單原子MACE法所形成的結(jié)構(gòu)更加平整且具有更低的表面反射率室溫下經(jīng)過銀銅兩種金屬原子協(xié)同催化腐蝕后,在銀銅原子摩爾比低于1/10時(shí)多晶硅表面形成了納米多孔狀與槽狀結(jié)構(gòu)共存的復(fù)合結(jié)構(gòu),在銀銅原子摩爾比高于1/5時(shí)多晶硅表面形成密集的納米線結(jié)構(gòu)。研究結(jié)果表明,孔狀與槽狀的復(fù)合結(jié)構(gòu)具有良好的陷光效果,當(dāng)銀銅原子摩爾比為1/10,腐蝕時(shí)間為180s時(shí),多晶硅的反射率達(dá)到最低,僅為6.23%。
[Abstract]:A one-step silver copper diatomic metal assisted chemical etching (MACEE) method was used to prepare nano-trapping structure on polysilicon surface at room temperature. The effects of corrosion time and Ag / Cu molar ratio on the surface reflectivity and morphology of polysilicon were studied.The reflectivity of polysilicon surface was measured by spectrophotometer and the surface morphology was observed by scanning electron microscope.It is found that the structure of silver copper diatomic MACE method is more flat and has lower surface reflectivity than that of silver monatomic or copper monatomic MACE method.When the molar ratio of silver to copper is less than 1 / 10, the composite structure of nano-porous and grooved structure is formed on the surface of polysilicon, and the dense nanowire structure is formed on the surface of polysilicon when the molar ratio of silver to copper is higher than 1 / 5.The results show that the composite structure of pore and groove has good trapping effect. When the molar ratio of silver and copper is 1 / 10 and the corrosion time is 180s, the reflectivity of polysilicon is the lowest, which is only 6.23.
【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)材料科學(xué)與技術(shù)學(xué)院江蘇省能量轉(zhuǎn)換材料與技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;南京航空航天大學(xué)納米智能材料器件教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;江蘇輝倫太陽能科技有限公司;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61176062) 江蘇省前瞻性聯(lián)合創(chuàng)新資助項(xiàng)目(BY2013003-08) 研究生創(chuàng)新基地(實(shí)驗(yàn)室)開放基金資助項(xiàng)目(KFJJ20160605)
【分類號】：TQ127.2;TB383.1

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本文編號：1740136