本文選題：FePd薄膜 + 有序化轉(zhuǎn)變��； 參考：《熱加工工藝》2017年06期

【摘要】：采用磁控濺射方法在石英玻璃上制備了FePd(93 nm)單層膜和FePd(46.5 nm)/Ag(10 nm)/FePd(46.5 nm)多層膜,并在600℃退火不同時間,通過XRD、VSM對薄膜樣品的結(jié)構(gòu)和磁性能進行測量。結(jié)果發(fā)現(xiàn):FePd單層膜在600℃退火240 min后有序化轉(zhuǎn)變不明顯,300 min后部分有序化,360 min后基本上完全有序化,形成了有序面心四方結(jié)構(gòu)的L1_0-FePd相;當熱處理時間為420 min時,有最大的面內(nèi)矯頑力,約為1670 Oe;Ag中間層對濺射態(tài)的FePd薄膜衍射峰的形成有抑制作用,Ag中間層的添加可大幅縮短FePd有序化的時間;樣品熱處理5 min后就開始有序化,熱處理15 min后樣品性能即可達到最好,有最大的面內(nèi)矯頑力2660 Oe,但熱處理時間過長會使薄膜磁性能變差。
[Abstract]:The monolayer and FePd(46.5 nm)/Ag(10 nm)/FePd(46.5 nm)/FePd(46.5 multilayer films were prepared on quartz glass by magnetron sputtering method. The structure and magnetic properties of the films were measured by annealing at 600 鈩，

本文編號：1737692