本文選題：薄膜　切入點(diǎn)：硫系玻璃　出處：《中國激光》2017年09期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：以硫系玻璃為基底,根據(jù)膜系設(shè)計理論,結(jié)合軟件完成了短中波紅外減反膜的設(shè)計。通過對材料熱應(yīng)力的計算分析,研制了一種混合材料M-11作為連接層,優(yōu)化了沉積工藝參數(shù),并根據(jù)其力學(xué)特性修正膜系結(jié)構(gòu),解決了硫系玻璃的脫膜問題。光譜測試結(jié)果表明,該膜層在1.4~2.5μm和3.5~4.5μm波段透過率分別為95.8%、96.7%,滿足紅外成像系統(tǒng)的使用要求。
[Abstract]:Based on the theory of film system design and the theory of film system design, the short and medium wave infrared antireflection film is designed. Through the calculation and analysis of the thermal stress of the material, a mixed material M-11 is developed as the joining layer, and the deposition process parameters are optimized. According to its mechanical properties, the structure of the film system was modified to solve the problem of defilm removal of sulfur-based glass. The spectral test results show that the transmittance of the film is 95.8and 96.7in the band of 1.4 ~ 2.5 渭 m and 3.5 ~ 4.5 渭 m, respectively, which meets the requirements of infrared imaging system.
【作者單位】： 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】：吉林省重大科技攻關(guān)專項(20140203002GX)
【分類號】：TB383.2;TQ171.7

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本文編號：1636976