本文選題：硬質(zhì)多元氮化物薄膜　切入點(diǎn)：組織結(jié)構(gòu)　出處：《表面技術(shù)》2017年06期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：綜述了硬質(zhì)多元氮化物薄膜的研究進(jìn)展,主要是從硬質(zhì)薄膜的發(fā)展歷程上,介紹了每一代薄膜的產(chǎn)生及其特點(diǎn)。同時(shí)介紹了硬質(zhì)多元氮化物薄膜的結(jié)構(gòu)及其性能特點(diǎn)。著重從如何提高薄膜硬度和韌性方面進(jìn)行了詳細(xì)介紹,對幾種硬化機(jī)制進(jìn)行了論述,包括晶粒細(xì)化、晶界強(qiáng)化、固溶強(qiáng)化及離子轟擊/應(yīng)力硬化。同時(shí)還介紹了提高薄膜韌性的方法,包括引入一個(gè)韌性相(包括金屬相)、利用相變韌化、引入壓應(yīng)力韌化、優(yōu)化涂層結(jié)構(gòu)等。同時(shí)還指出,硬度和韌性都是硬質(zhì)薄膜獲得實(shí)際應(yīng)用的重要指標(biāo)。單純追求高硬度或高韌性是不可取的,因?yàn)橛操|(zhì)薄膜一般脆性較大,而韌性好的薄膜卻缺乏足夠的硬度。從工程應(yīng)用的角度來說,既要得到較高的硬度,而且韌性不能損失太多。最后指出,今后的發(fā)展方向要將硬化和韌性的研究集中在納米尺度上,即如何在納米尺度上進(jìn)一步理解薄膜的變形。
[Abstract]:The research progress of hard multicomponent nitride films is reviewed, which is mainly based on the development of hard films. The generation and characteristics of each generation of films are introduced. The structure and properties of hard multicomponent nitride films are also introduced. The hardness and toughness of hard multicomponent nitride films are introduced in detail, and several hardening mechanisms are discussed. It includes grain refinement, grain boundary strengthening, solid solution strengthening and ion bombardment / stress hardening. At the same time, the methods to improve the toughness of thin films are introduced, including the introduction of a ductile phase (including metal phase), toughening by phase transformation, and compression stress toughening. At the same time, it is pointed out that both hardness and toughness are important indicators for the practical application of hard films. It is not advisable to pursue high hardness or high toughness simply because hard films are generally more brittle. But the film with good toughness lacks enough hardness. From the point of view of engineering application, it is necessary to obtain higher hardness, and the toughness should not be lost too much. Finally, it is pointed out, In the future, the research on hardening and toughness should be focused on the nanometer scale, that is, how to further understand the deformation of the film on the nanometer scale.
【作者單位】： 中國科學(xué)院金屬研究所;中國石油天然氣股份有限公司吉林石化分公司乙烯廠;深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51401128)~~
【分類號(hào)】：TB383.2

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 楊林生;王君;陳長琦;;硬質(zhì)薄膜技術(shù)的最新發(fā)展[J];真空;2009年06期

2 陳軍;林松盛;代明江;;機(jī)械功能硬質(zhì)薄膜的研究及應(yīng)用[J];材料研究與應(yīng)用;2011年01期

3 胡霞;;硬質(zhì)薄膜材料彈性模量與其微觀摩擦因數(shù)關(guān)聯(lián)性研究[J];潤滑與密封;2006年09期

4 ;復(fù)雜型腔工模具表面硬質(zhì)薄膜材料制備成套設(shè)備及關(guān)鍵工藝技術(shù)[J];中國科技獎(jiǎng)勵(lì);2006年09期

5 趙升升;華偉剛;杜昊;宮駿;孫超;李家寶;;一種測量硬質(zhì)薄膜殘余應(yīng)力的新方法[J];金屬學(xué)報(bào);2008年01期

6 余歷軍,田林海,張秀成,朱曉東,何家文;硬質(zhì)薄膜力學(xué)性能測試技術(shù)的研究[J];云南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2005年S1期

7 晏鮮梅;熊惟皓;;氮化鈦硬質(zhì)薄膜的制備方法[J];材料導(dǎo)報(bào);2006年S1期

8 于玉城;趙廣彬;欒道成;晉勇;劉志遠(yuǎn);;特種硬質(zhì)薄膜的制備[J];西華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2007年01期

9 陳甥怡;趙廣彬;曹曉英;羅德福;張勇;欒道成;;氮化鈦硬質(zhì)薄膜的制備和性能分析[J];新技術(shù)新工藝;2009年02期

10 金聯(lián)明,陳運(yùn)法,謝裕生;溶膠-凝膠法制備透明無機(jī)-有機(jī)納米復(fù)合硬質(zhì)薄膜[J];化工冶金;1998年04期

相關(guān)會(huì)議論文 前6條

1 吳大維;;硬質(zhì)薄膜材料的最新發(fā)展及應(yīng)用[A];TFC’03全國薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會(huì)論文摘要集[C];2003年

2 王廷劍;襲建軍;王黎欽;李文良;;電參數(shù)對微弧氧化硬質(zhì)薄膜的影響研究[A];2011年全國青年摩擦學(xué)與表面工程學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2011年

3 華敏奇;張廣安;袁鎮(zhèn)海;張莎莎;;幾類硬質(zhì)薄膜的摩擦磨損性能測試[A];薄膜技術(shù)高峰論壇暨廣東省真空學(xué)會(huì)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2009年

4 呂鵬輝;劉慶;倪浩明;;納米復(fù)合Mo-Si-N硬質(zhì)薄膜的制備與性能研究[A];2009年全國青年摩擦學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2009年

5 陳軍;高玉周;林國強(qiáng);王富崗;;電弧離子鍍(Ti,Nb)N硬質(zhì)薄膜斷裂韌性對摩擦學(xué)性能的影響[A];第六屆全國表面工程學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2006年

6 陳軍;高玉周;林國強(qiáng);王富崗;;電弧離子鍍(Ti,Nb)N硬質(zhì)薄膜斷裂韌性對摩擦學(xué)性能的影響[A];第六屆全國表面工程學(xué)術(shù)會(huì)議暨首屆青年表面工程學(xué)術(shù)論壇論文集[C];2006年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 陸靜娟;有機(jī)/無機(jī)復(fù)合透明硬質(zhì)薄膜的制備、性能及應(yīng)用[D];浙江大學(xué);2007年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前6條

1 李奔;磁控濺射法制備TiN硬質(zhì)薄膜以及退除薄膜工藝研究[D];遼寧科技大學(xué);2015年

2 王健;硬質(zhì)薄膜性能研究及工業(yè)化應(yīng)用[D];蘭州理工大學(xué);2016年

3 周英強(qiáng);基于內(nèi)聚力模型的接觸載荷下硬質(zhì)薄膜/韌性基底破壞機(jī)制分析[D];浙江工業(yè)大學(xué);2011年

4 王慶;直流磁控濺射法制備Ti-Si-N硬質(zhì)薄膜及其性能研究[D];東北大學(xué);2012年

5 張啟沛;TiN系硬質(zhì)薄膜的制備及性能研究[D];華南理工大學(xué);2014年

6 徐世友;化學(xué)氣相沉積法制備寬帶硬質(zhì)薄膜材料[D];浙江大學(xué);2005年

，

本文編號(hào)：1628712