發(fā)布時(shí)間：2018-03-03 14:14

  本文選題：納米科學(xué)中心　切入點(diǎn)：微加工技術(shù)　出處：《化工新型材料》2017年01期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：正表面微納結(jié)構(gòu)已經(jīng)在微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池、發(fā)光二極管、等離子基元、仿生材料、超材料、細(xì)胞生物學(xué)等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,極大地推動(dòng)了表面科學(xué)與工程的進(jìn)展。隨著人們對(duì)各種表面新奇特性研究的深入,各種新型表面結(jié)構(gòu)不斷被提出。這些新型的結(jié)構(gòu),特別是復(fù)雜的多級(jí)次表面結(jié)構(gòu)對(duì)微加工技術(shù)在成本、工藝、批量生產(chǎn)、精準(zhǔn)設(shè)計(jì)和可控加工等方面提出了許多新的挑戰(zhàn),目前的常規(guī)微納加工方法已經(jīng)難以滿足復(fù)雜結(jié)構(gòu)的加工需要。近十多年來(lái),新型微加工
[Abstract]:Positive surface microstructures have been widely used in the fields of microelectronics, semiconductors, solar cells, light-emitting diodes, plasma primitives, biomimetic materials, metamaterials, cell biology, etc. It has greatly promoted the progress of surface science and engineering. With the further study of novel surface properties, new types of surface structures have been proposed. In particular, complex multilevel subsurface structures pose many new challenges to micromachining technologies in terms of cost, process, mass production, precision design and controllable processing. It is difficult to meet the needs of complex structures by conventional micro-nano machining methods. In the last decade, new micro-machining methods have been developed.
【作者單位】： 新型;
【分類(lèi)號(hào)】：TB306

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 ;國(guó)家納米科學(xué)中心[J];中國(guó)科學(xué)院院刊;2004年04期

2 潘雄;;國(guó)家納米科學(xué)中心組成首席科學(xué)家團(tuán)隊(duì)[J];功能材料信息;2004年02期

3 ;國(guó)家納米科學(xué)中心協(xié)作實(shí)驗(yàn)室多相反應(yīng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室成立[J];機(jī)械工程材料;2006年03期

4 ;國(guó)家納米科學(xué)中心建設(shè)項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收[J];硅谷;2010年20期

5 耀星;;國(guó)家納米科學(xué)中心正式建成[J];粉末冶金工業(yè);2011年01期

6 ;國(guó)家納米科學(xué)中心[J];物理;2011年09期

7 ;《德國(guó)應(yīng)用化學(xué)》發(fā)表國(guó)家納米科學(xué)中心新成果[J];中國(guó)高新技術(shù)企業(yè);2007年02期

8 ;國(guó)家納米科學(xué)中心首次聘用首席科學(xué)家[J];中國(guó)粉體技術(shù);2004年03期

9 鄭千里;匯零為整 整合資源 國(guó)家納米科學(xué)中心掛牌[J];表面工程資訊;2003年02期

10 ;國(guó)家計(jì)委著手安排國(guó)家納米科學(xué)中心和納米技術(shù)及應(yīng)用國(guó)家研究中心建設(shè)[J];材料導(dǎo)報(bào);2001年07期

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前7條

1 記者 齊芳;國(guó)家納米科學(xué)中心建設(shè)項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收[N];光明日?qǐng)?bào);2010年

2 記者 李大慶;國(guó)家納米科學(xué)中心建設(shè)項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收[N];科技日?qǐng)?bào);2010年

3 石磊;國(guó)家納米科學(xué)中心首次聘用首席科學(xué)家[N];人民日?qǐng)?bào);2004年

4 記者　薛冬;國(guó)家納米科學(xué)中心揭牌[N];光明日?qǐng)?bào);2003年

5 記者 趙樂(lè)琴;國(guó)家納米科學(xué)中心將落戶中關(guān)村[N];北京科技報(bào);2003年

6 記者 黃基堯;莞企與中科院簽21個(gè)產(chǎn)學(xué)研項(xiàng)目[N];東莞日?qǐng)?bào);2009年

7 本報(bào)記者 王建新;勇攀科技競(jìng)爭(zhēng)制高點(diǎn)[N];人民日?qǐng)?bào);2005年

，

本文編號(hào)：1561374