本文關(guān)鍵詞： 薄膜傳感器 濺射速率 響應(yīng)曲面法 參數(shù)優(yōu)化　出處：《工具技術(shù)》2017年07期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為了研制出適用于高溫等惡劣環(huán)境且性能優(yōu)良的用于切削力測量的合金薄膜傳感器,結(jié)合新型合金薄膜材料的基本性能和離子束、磁控濺射技術(shù),研究了新型薄膜傳感器的制作工藝,建立了影響薄膜濺射速率的試驗分析模型,研究了氬氣流量、氬氣工作壓強及濺射功率三個因素對薄膜濺射速率的影響,應(yīng)用響應(yīng)曲面法對模型進行了優(yōu)化,并運用方差分析檢驗了該預(yù)測模型的擬合度,建立了濺射速率的等值線和響應(yīng)面,從而確定了各因素的最佳水平范圍,實現(xiàn)了工藝參數(shù)的優(yōu)化。
[Abstract]:In order to develop the alloy thin film sensor which is suitable for high temperature and other harsh environment and has good performance for cutting force measurement, combined with the basic properties of the new alloy thin film material and ion beam, magnetron sputtering technology. The fabrication process of the new thin film sensor was studied, and the experimental analysis model of the film sputtering rate was established. The effects of argon flow rate, argon working pressure and sputtering power on the film sputtering rate were studied. The response surface method is used to optimize the model, and the fitting degree of the prediction model is tested by variance analysis. The isoline and response surface of sputtering rate are established, and the optimum horizontal range of each factor is determined. The process parameters are optimized.
【作者單位】： 中北大學(xué);
【基金】：山西省國際科技合作項目(2015081018)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 1引言切削力測量系統(tǒng)正向微小化、高精度和高響應(yīng)的方向不斷發(fā)展,微型傳感器的廣泛使用為刀具測力系統(tǒng)的發(fā)展提供了新的研究領(lǐng)域。金屬或合金薄膜測力傳感器尺寸小、應(yīng)變靈敏度高,能在高溫、高壓等惡劣環(huán)境下使用[1]。每個薄膜傳感器單元各自連接成惠斯通電橋電路,根據(jù)基體受

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：1471407