本文關(guān)鍵詞：硅表面化學(xué)鍍鎳研究　出處：《電鍍與精飾》2017年10期 　論文類(lèi)型：期刊論文

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【摘要】：化學(xué)鍍鎳具有優(yōu)異的特性,廣泛應(yīng)用于塑料、半導(dǎo)體和金屬的表面保護(hù)涂層,其中半導(dǎo)體硅表面化學(xué)鍍鎳已有深入的研究。針對(duì)硅基體表面化學(xué)鍍鎳的研究進(jìn)展和成果進(jìn)行了詳細(xì)介紹,主要包括硅基體表面的預(yù)處理方法、化學(xué)鍍鎳工藝,硅基體表面化學(xué)鍍鎳的反應(yīng)機(jī)理和添加劑對(duì)化學(xué)鍍鎳的影響研究,并總結(jié)展望了硅基體表面化學(xué)鍍鎳的發(fā)展趨勢(shì)。
[Abstract]:Electroless nickel plating is widely used in the surface protection coatings of plastics , semiconductors and metals . The research progress and results of chemical nickel plating on the surface of silicon substrates are described in detail .

【作者單位】： 常州大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;常州大學(xué)江蘇省綠色過(guò)程裝備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中航工業(yè)天津航空機(jī)電有限公司;
【基金】：江蘇省高校自然科研面上項(xiàng)目 江蘇省青年自然科學(xué)基金項(xiàng)目(BK20150260)
【分類(lèi)號(hào)】：TB306
【正文快照】： 引言硅在半導(dǎo)體材料的領(lǐng)域占有非常重要的位置,可應(yīng)用于光纖通信、航空和航天領(lǐng)域等。近些年來(lái),硅表面制作金屬結(jié)構(gòu)的晶片成為了發(fā)展納米設(shè)備的關(guān)鍵核心技術(shù)。化學(xué)鍍可實(shí)現(xiàn)各種材質(zhì)表面的金屬鍍層,且鍍層因種類(lèi)與成分的不同而使其能滿(mǎn)足各種不同性能的要求。其中化學(xué)鍍鎳可以

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本文編號(hào)：1380233