本文關(guān)鍵詞：厚度對TiN薄膜力學(xué)性能的影響

  更多相關(guān)文章： 硬質(zhì)薄膜 力學(xué)性能 薄膜厚度 TiN 殘余應(yīng)力

【摘要】：采用電弧離子鍍方法制備了不同厚度TiN薄膜,并對其硬度、結(jié)合力、殘余應(yīng)力、摩擦磨損特性等力學(xué)性能進(jìn)行了系統(tǒng)性研究,以揭示硬質(zhì)薄膜厚度對其力學(xué)性能的影響規(guī)律。結(jié)果表明,隨著厚度增加,薄膜表面大顆粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜硬度逐漸增加,結(jié)合力逐漸下降,摩擦系數(shù)略有下降;而薄膜應(yīng)力沿層深分布趨勢基本一致,都呈鐘罩形分布;磨損率隨薄膜厚度變化不大,即薄膜越厚越耐磨。
【作者單位】： 華南理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院深圳現(xiàn)代設(shè)計(jì)與制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;廣東正德材料表面科技有限公司華南理工大學(xué)中山材料表面工程與薄膜技術(shù)創(chuàng)新研發(fā)中心;
【關(guān)鍵詞】： 硬質(zhì)薄膜 力學(xué)性能 薄膜厚度 TiN 殘余應(yīng)力
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.51401128) 深圳市科技計(jì)劃項(xiàng)目(No.JCYJ20140508155916426) 中山市科技計(jì)劃與創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)項(xiàng)目
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： Ti N硬質(zhì)薄膜因其具有優(yōu)異的物理及化學(xué)性能,是目前工業(yè)上研究和應(yīng)用最為廣泛的薄膜材料之一[1-3]。電弧離子鍍技術(shù)是制備Ti N薄膜的主要方法之一,它具有離化率高、沉積速率快、粒子能量大、成膜附著力高等優(yōu)點(diǎn);但由于靶材表面在蒸發(fā)離化時(shí)容易產(chǎn)生大顆粒,這會(huì)導(dǎo)致薄膜形成很

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 烏云其其格;氯代四官能耐熱環(huán)氧樹脂復(fù)合材料性能研究[J];熱固性樹脂;2002年04期

2 翁文達(dá);金屬薄板杯突值與力學(xué)性能的多元回歸分析[J];理化檢驗(yàn)(物理分冊);2003年01期

3 張俊秋,賴倩茜,李戈揚(yáng),虞偉良,郭飚;力學(xué)探針在材料選區(qū)力學(xué)性能測量上的應(yīng)用[J];上海金屬;2003年02期

4 梁艷;趙杰;王來;李鳳敏;;貝殼的力學(xué)性能和增韌機(jī)制[J];機(jī)械強(qiáng)度;2007年03期

5 肖代紅;黃伯云;;SiC_p/AlCuMgAgCe復(fù)合材料的顯微組織與力學(xué)性能[J];鑄造;2007年12期

6 鄭麗璇;趙翔;李寧;;Ni-Ti-Nb合金低溫力學(xué)性能及約束行為對其力學(xué)性能的影響[J];金屬熱處理;2008年05期

7 李巖;羅業(yè);;天然纖維增強(qiáng)復(fù)合材料力學(xué)性能及其應(yīng)用[J];固體力學(xué)學(xué)報(bào);2010年06期

8 趙書言;;聚乳酸碳酸鈣復(fù)合材料的力學(xué)性能認(rèn)識(shí)[J];北京農(nóng)業(yè);2011年06期

9 周小華;宋長久;姚堯平;費(fèi)其鋒;張燕;;纏繞用直接紗力學(xué)性能表征方法的研究及應(yīng)用[J];玻璃纖維;2011年04期

10 蔣佳春;呂國玉;嚴(yán)永剛;伍登學(xué);劉少英;;生物活性羥基磷灰石/二元氨基酸共聚物復(fù)合材料的制備和性能[J];材料工程;2013年04期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 包亦望;;陶瓷及玻璃力學(xué)性能評價(jià)的一些非常規(guī)技術(shù)[A];《硅酸鹽學(xué)報(bào)》創(chuàng)刊50周年暨中國硅酸鹽學(xué)會(huì)2007年學(xué)術(shù)年會(huì)論文集（二）[C];2007年

2 包亦望;;玻璃的厚度效應(yīng)與超薄玻璃的力學(xué)性能評價(jià)[A];2013全國玻璃科學(xué)技術(shù)年會(huì)論文集[C];2013年

3 段東明;任池錦;;高性能高層建筑結(jié)構(gòu)用鋼力學(xué)性能與組織研究[A];第5屆中國金屬學(xué)會(huì)青年學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2010年

4 裴家明;謝劍;;超低溫環(huán)境下鋼的力學(xué)性能研究[A];第20屆全國結(jié)構(gòu)工程學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（第Ⅰ冊）[C];2011年

5 溫茂萍;張葵陽;李明軍;朱風(fēng)云;陶磊;;墊層材料的力學(xué)性能測試[A];中國工程物理研究院科技年報(bào)（1998）[C];1998年

6 陸琪;羅月新;計(jì)波;;熱處理對7715D高溫鈦合金組織及力學(xué)性能的影響[A];第十四屆全國鈦及鈦合金學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集（下冊）[C];2010年

7 李志君;李學(xué)成;包建文;陳祥寶;;M40J／EC復(fù)合材料的濕熱性能研究[A];第十三屆玻璃鋼/復(fù)合材料學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];1999年

8 馬興濤;王德龍;;錳含量和工藝參數(shù)對低碳鋼力學(xué)性能的影響[A];山東省金屬學(xué)會(huì)理化檢驗(yàn)學(xué)術(shù)委員會(huì)理化檢驗(yàn)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2009年

9 李涇;孫洪剛;趙憲明;;特殊鋼軋制過程力學(xué)性能預(yù)報(bào)[A];2006年全國軋鋼生產(chǎn)技術(shù)會(huì)議文集[C];2006年

10 王寶珍;胡時(shí)勝;;肌肉的動(dòng)態(tài)壓縮力學(xué)性能研究[A];第五屆全國爆炸力學(xué)實(shí)驗(yàn)技術(shù)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2008年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 ;熱軋帶鋼力學(xué)性能在線監(jiān)控系統(tǒng)（待續(xù)）[N];世界金屬導(dǎo)報(bào);2001年

2 王華;大厚度海洋平臺(tái)用鋼的組織和力學(xué)性能[N];世界金屬導(dǎo)報(bào);2013年

3 余萬華;CQE-熱軋鋼卷的力學(xué)性能控制模型[N];世界金屬導(dǎo)報(bào);2009年

4 本報(bào)記者 朱祝何;技術(shù)規(guī)范更接“地氣”[N];中國質(zhì)量報(bào);2013年

5 韓利雄 曾慶文;高強(qiáng)度高模量玻璃纖維應(yīng)運(yùn)而生[N];中國建材報(bào);2012年

6 李家科 周健兒 劉欣 張小珍;微晶陶瓷的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢[N];廣東建設(shè)報(bào);2006年

7 劉娜;首鋼200噸碳纖維項(xiàng)目在皖投產(chǎn)[N];中國冶金報(bào);2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 呂孝永;生物陶瓷/鎂復(fù)合材料的制備及性能表征[D];天津大學(xué);2010年

2 吳鳳秋;炭/炭復(fù)合材料的力學(xué)性能及其斷裂機(jī)理的研究[D];中南大學(xué);2002年

3 車延科;親水性聚合物基金屬梯度復(fù)合材料形態(tài)結(jié)構(gòu)及力學(xué)性能的研究[D];青島大學(xué);2003年

4 蔣競;玻璃鋼在鹽霧環(huán)境中腐蝕機(jī)制和性能演變規(guī)律的試驗(yàn)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

5 蔣建國;γ’相增強(qiáng)鎳基復(fù)合材料的制備及力學(xué)性能研究[D];蘭州大學(xué);2008年

6 賈換;Ti_3SiC_2基復(fù)合材料的制備、結(jié)構(gòu)與性能的研究[D];西安建筑科技大學(xué);2013年

7 謝婕蕓;SiAlON/LES復(fù)合材料的力學(xué)性能與高溫?fù)p傷[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2008年

8 卜曉雪;相對法及其在脆性材料力學(xué)性能評價(jià)中的應(yīng)用[D];中國建筑材料科學(xué)研究總院;2007年

9 步奇峰;交變磁場下合金元素對Al-Mg_2Si復(fù)合材料組織與性能的影響[D];沈陽工業(yè)大學(xué);2013年

10 謝建雄;顆粒增強(qiáng)復(fù)合材料集料級配及其力學(xué)性能研究[D];武漢理工大學(xué);2006年

，

本文編號：1057343