發(fā)布時間：2017-10-17 15:32

  本文關(guān)鍵詞：多層金剛石薄膜的制備研究

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【摘要】：利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法,以H_2/CH_4/CO_2為混合氣源,在Si基底上分別沉積了單層微米、納米以及三層(膜層結(jié)構(gòu)為微米層(MCD)/納米層(NCD)/微米層(MCD))金剛石薄膜。利用Raman光譜、掃描電子顯微鏡(SEM)和X射線衍射(XRD)表征金剛石膜,以得到樣品質(zhì)量、表面形貌、晶粒尺寸等信息。結(jié)果表明:微米金剛石晶薄膜粒粗大,表面粗糙,納米金剛石薄膜晶粒細小,表面平整,生長過程中控制反應(yīng)參數(shù),可以制備出多層金剛石膜,三層結(jié)構(gòu)的引入,可以明顯降低表面粗糙度。
【作者單位】： 武漢工程大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院湖北省等離子體化學(xué)與新材料重點實驗室;中國科學(xué)院等離子體物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 微波等離子體 化學(xué)氣相沉積 金剛石膜
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(11175137) 湖北省教育廳科學(xué)技術(shù)研究計劃優(yōu)秀中青年人才項目(Q20151517) 武漢工程大學(xué)科學(xué)研究基金項目(K201506)
【分類號】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 0引言眾所周知,金剛石具有許多優(yōu)異的物理、化學(xué)性能,如極高的硬度、彈性模量、熱導(dǎo)率、光透過率、聲傳播率,寬的禁帶寬度,低的介電常數(shù)、摩擦系數(shù),高的載流子遷移率、化學(xué)穩(wěn)定性以及良好生物兼容性等特性[1-5]。由于天然金剛石數(shù)量少,價格昂貴,且形狀一定,不能直接應(yīng)用于很多

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