微納甲烷傳感技術(shù)的研究
本文關(guān)鍵詞:微納甲烷傳感技術(shù)的研究
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【摘要】:針對礦山物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展對甲烷傳感器低功耗、微型化、低成本的設(shè)計要求,對一種基于微納米技術(shù)的載體催化燃燒式甲烷傳感器展開研究,著重介紹了該種甲烷傳感器的微加熱器及低維甲烷傳感方面的研究現(xiàn)狀及相應(yīng)成果,并介紹了一種新型金屬-絕緣體-金屬結(jié)構(gòu)的金屬氧化物半導(dǎo)體甲烷傳感器。該種甲烷傳感器具有功耗低、體積小等特點,符合礦山物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展需求。
【作者單位】: 中國礦業(yè)大學(xué)物聯(lián)網(wǎng)(感知礦山)研究中心;中國礦業(yè)大學(xué)感知礦山國家地方聯(lián)合工程實驗室;
【關(guān)鍵詞】: 甲烷傳感器 微納米技術(shù) 微加熱器
【基金】:“十二五”國家科技支撐計劃資助項目(2012BAH12B01)
【分類號】:TD712
【正文快照】: 0引言瓦斯是煤礦生產(chǎn)中的重大危險源。甲烷是瓦斯氣體的主要成分,占90%以上。檢測煤礦瓦斯?jié)舛韧ǔV笝z測甲烷的濃度。甲烷傳感器在煤礦瓦斯防治、災(zāi)害預(yù)警、保障安全生產(chǎn)和事故調(diào)查中用于檢測煤礦瓦斯?jié)舛?具有重要作用。成熟的甲烷檢測方法主要有催化燃燒法、半導(dǎo)體氣敏法、
【相似文獻(xiàn)】
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,本文編號:1097734
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