本文關(guān)鍵詞：超精密機械加工技術(shù)與發(fā)展

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【摘要】：隨著工業(yè)行業(yè)的發(fā)展,其中針對機械技術(shù)的使用范圍越來越廣,工業(yè)行業(yè)所需要的機械制作要達到的精密度也越來越高,因為機械的精密度關(guān)乎到工程的質(zhì)量問題,而超精密機械加工技術(shù)的應(yīng)用將使加工出來的產(chǎn)品質(zhì)量得到最大的保障,所以本文就從超精密機械加工技術(shù)的原理、特點及其發(fā)展的方向進行研究。
【作者單位】： 沈陽理工大學;
【關(guān)鍵詞】： 超精密 機械加工技術(shù) 發(fā)展
【分類號】：TH16
【正文快照】： 隨著科技的發(fā)展,各個行業(yè)對機械加工技術(shù)的精密度的要求也越來越高,就如今天的集成電路的發(fā)展所要求的在1mm2的平面上集成的元件就達到幾十萬個之多,它所要求的線條寬度和位置誤差更是非常之小的,微末的距離誤差都有可能造成出產(chǎn)產(chǎn)品的失敗,所以以往的機床加工的精密度就不能

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本文編號：993800