本文關(guān)鍵詞：靜電驅(qū)動(dòng)組合柔性結(jié)構(gòu)的變形分析與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證

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【摘要】：針對靜電驅(qū)動(dòng)組合柔性結(jié)構(gòu)的變形進(jìn)行分析,考慮靜電力分布載荷的基本特征、靜電力與組合柔性結(jié)構(gòu)變形之間的耦合作用,依據(jù)靜電場理論、偽剛體理論以及非線性柔性模型,給出分析不同電壓下求解組合柔性結(jié)構(gòu)變形的一般方法,同時(shí)給出靜電吸合電壓的計(jì)算式。設(shè)計(jì)加工了MEMS組合柔性結(jié)構(gòu),采用文中方法分析靜電驅(qū)動(dòng)中組合柔性結(jié)構(gòu)的變形,同時(shí)搭建實(shí)驗(yàn)測試系統(tǒng),確定電壓加載范圍,完成組合柔性結(jié)構(gòu)的變形測試。將實(shí)驗(yàn)測試結(jié)果與理論計(jì)算結(jié)果進(jìn)行對比分析,驗(yàn)證文中分析方法的正確性。
【作者單位】： 廊坊師范學(xué)院數(shù)學(xué)與信息科學(xué)學(xué)院;燕山大學(xué)環(huán)境與化學(xué)工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 靜電驅(qū)動(dòng) 組合柔性結(jié)構(gòu) 變形 靜電吸合 實(shí)驗(yàn)測試
【基金】：河北省教育廳重點(diǎn)課題(ZD2015108) 廊坊師范學(xué)院博士基金項(xiàng)目(LSLB201501)
【分類號】：TH-39
【正文快照】： 0引言MEMS柔性結(jié)構(gòu)主要用于定位精度要求較高的小范圍運(yùn)動(dòng)[1]。柔性鉸鏈、柔性梁(桿)是兩種最基本的柔性結(jié)構(gòu)類型,二者組合構(gòu)成組合柔性結(jié)構(gòu)[2],是微致動(dòng)器、微傳感器等微器件中最常采用的一種結(jié)構(gòu)類型。MEMS柔性結(jié)構(gòu),由于尺度效應(yīng)和表面效應(yīng)的影響,常規(guī)的驅(qū)動(dòng)加載方式不宜直

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